一种载台平行度检测仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种载台平行度检测仪，属于半导体的制程设备领域。包括：一放置于载台上的支架，支架设置有三个装接端；每一个装接端分别装设有激光发射方向相互平行，并且在激光发射方向上不为一个平面的第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元；支架连接有显示单元，显示单元的面板侧设有操作按键；支架设有电源且电连接三个测距单元和显示单元；利用了三个不在一条直线上的点确定一个平面、平行四边形对边等长且两两平行的几何原理；不需要载台处于水平状态，仅通过三个测距单元的测距数值，就能够快速判断载台和作业面是否相互平行；并且载台平行度检测仪可以适配不同型号载台，通配率高。

【技术实现步骤摘要】
一种载台平行度检测仪
本技术涉及半导体器件的制程设备领域，具体而言，涉及一种载台平行度检测仪。
技术介绍
晶圆生产制程中，设备需要保证承载晶圆的载台与其它作业面平行，如光刻机需要保证载台与放置光罩的平台平行，电性测试机需要保证载台、放置针卡的平台与测试头平行等，现有的载台平行度检查，一般使用如下方法：1、水平尺：精度差，无法直接测量一平面相对另一平面的平行情况，必须以水平面为基准（气泡球中置）先调整载台水平，再调整作业面水平；工序繁冗复杂，效率低下。2、千分表：测量方式复杂，存在因人为操作失误、测量环境差等因素导致的量测异常，也存在因机台结构无法直接测量一平面相对另一平面的平行情况。3、光幕投影：利用激光光幕投射测试面成像，检测图像角度的重合度计算平行度。此方法成本很高且需要较大操作空间，无法在半导体制程设备的机台上使用。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种载台平行度检测仪，其具有一放置于载台上的支架，支架设置有三个装接端；每一个装接端分别装设有激光发射方向相互平行，并且在激光发射方向上不为一个平面的第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元；利用了三个不在一条直线上的点确定一个平面、平行四边形对边等长且两两平行的几何原理；不需要载台处于水平状态，仅通过三个测距单元的测距数值，就能够快速判断载台和作业面是否相互平行。本技术的实施例是这样实现的：本技术实施例的一方面，提供一种载台平行度检测仪，其具有一放置于载台上的支架，支架设置有至少三个装接端；每一个装接端分别装设有激光发射方向相互平行，并且在激光发射方向上不为一个平面的第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元；支架设有显示单元，用于显示第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元的测距数值，测距数值为作业面激光束折返点到测距单元的下表面（即载台）之间的距离；显示单元的面板侧设有操作按键；支架设有电源且电连接第一测距单元、第二测距单元、第三测距单元和显示单元。可选地，第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元为双向激光测距单元，并且，每一个双向激光测距单元的激光发射方向为一条直线或相互平行；支架具有一抵接载台的支撑部，用于支撑第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元在激光发射方向上远离载台一段距离；测距数值为测距单元至作业面上激光束折返点、测距单元长度和测距单元至载台下激光束折返点的距离总和。可选地，支架还具有一信号线连接孔，其通过信号线连接载台设备并输出测距信号。可选地，支架的每一个装接端设置有伸缩组件，其可沿三个装接端在支架俯视视角方向上的投影面的平面方向上，相互靠近或远离的伸缩移动。可选地，第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元的外壳侧壁具有至少一辅助指示灯。可选地，第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元的外壳侧壁具有2至5个辅助指示灯。可选地，第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元的外壳侧壁的辅助指示灯具有第一提醒状态和第二提醒状态。可选地，辅助指示灯的第一提醒状态为常亮，第二提醒状态为闪烁；或者，第一提醒状态与第二提醒状态为常亮且颜色不同。可选地，第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元的外壳以不同颜色标识，显示单元显示不同颜色所对应的距离数值。可选地，支架的三个装接端的几何中心还具有第四装接端，第四装接端装设有激光单元，其激光发射方向与第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元相互平行。本技术实施例的有益效果包括：本技术提供一种载台平行度检测仪，其具有一放置于载台上的支架，支架设置有三个装接端；每一个装接端分别装设有激光发射方向相互平行，并且在激光发射方向上不为一个平面的第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元；利用了三个不在一条直线上的点确定一个平面、平行四边形对边等长且两两平行的几何原理；不需要载台处于水平状态，仅通过三个测距单元的测距数值，就能够快速判断载台和作业面是否相互平行；并且载台平行度检测仪可以适配不同尺寸的载台，通配率高。较佳地，第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元为双向激光测距单元，并且，每一个双向激光测距单元的激光发射方向为一条直线或相互平行；支架具有一抵接所述载台的支撑部，用于支撑所述第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元在激光发射方向上远离所述载台一段距离；这样的设置使得三个测距单元在激光发射方向的垂直面上不需同处于一个平面，仅需保证激光发射方向平行，即可测得载台与作业面的实际距离，对支架和双向激光测距单元的装配精度要求更低；并且，当载台倾斜过大时，可以通过支撑部调节激光发射方向，避免无法发射至作业面测得有效距离。较佳地，支架还具有一信号线连接孔，其通过信号线连接所述载台设备并输出测距信号，支架放置于自动化型载台的预设位置，即可实现自动调节平行度。较佳地，装接端具有伸缩组件，其可沿三个装接端在支架俯视视角方向上的投影面的平面方向上，相互靠近或远离的伸缩移动；在使用过程中，可将三个测距单元尽可能的拉伸至测量物的边沿（载台或作业面中较小的一个），测距数值的差异更大，测量结果更加准确。较佳地，第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元的外壳侧壁装设辅助指示灯，作业人员不需要读数即可通过辅助指示灯对特征数值的反馈，快速进行粗调，提高载台与作业面水平度的工作效率。较佳地，辅助指示灯设置2至5个，给予作业人员倾斜程度的反馈，使粗调操作更为简便。较佳地，辅助指示灯设置为具有常亮、闪烁、全部不同颜色常亮等方式，指示第一提醒状态和第二提醒状态，给予作业人员三个测距单元中两个特征值（如最大值和最小值）的反馈，方便其以单一方向（如全部调节为中位数值）快速调节载台和作业面的平行度，提高工作效率。较佳地，第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元的外壳以不同颜色标识（如红、黄、蓝），显示单元显示不同颜色所对应的距离数值（如红：XX值、黄：XX值、蓝：XX值），方便作业人员快速定位测距单元的位置，提高操作的便利性。较佳地，支架的三个装接端的几何中心还具有第四装接端，第四装接端装设有激光发射方向与其它三个测距单元相同，且相互平行的激光单元，将支架摆放于载台中心，开启激光单元，可辅助作业人员调节作业面与载台的对圆（两平面的圆心中垂线重合）。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1为本技术实施例一正视图；图2为本技术实施例一俯视图；图3为本技术实施例一仰视图；图4为本技术实施例一使用状态图；图5为本技术实施例二正视图；图6为本技术实施例三正视图；图7为本技术实施例三使用状态图一；图8为本技术实施例三使用状态图二本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种载台平行度检测仪，其特征在于：具有一放置于载台上的支架，支架设置有至少三个装接端；每一个装接端分别装设有激光发射方向相互平行，并且在激光发射方向上不为一个平面的第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元；支架设有显示单元，用于显示第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元的测距数值；显示单元设有操作按键；支架设有电源且电连接第一测距单元、第二测距单元、第三测距单元和显示单元。/n

【技术特征摘要】
1.一种载台平行度检测仪，其特征在于：具有一放置于载台上的支架，支架设置有至少三个装接端；每一个装接端分别装设有激光发射方向相互平行，并且在激光发射方向上不为一个平面的第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元；支架设有显示单元，用于显示第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元的测距数值；显示单元设有操作按键；支架设有电源且电连接第一测距单元、第二测距单元、第三测距单元和显示单元。


2.如权利要求1所述的载台平行度检测仪，其特征在于：所述第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元为双向激光测距单元，并且，每一个双向激光测距单元的激光发射方向为一条直线或相互平行；所述支架具有一抵接所述载台的支撑部，用于支撑所述第一测距单元、第二测距单元和第三测距单元在激光发射方向上远离所述载台一段距离。


3.如权利要求1所述的载台平行度检测仪，其特征在于：所述支架还具有一信号线连接孔，其通过信号线连接所述载台设备并输出测距信号。


4.如权利要求1所述的载台平行度检测仪，其特征在于：所述装接端具有伸缩组件，其可沿所述装接端在所述支架俯视视角方向上的投影面...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡文必，林鑫，张灿秋，
申请(专利权)人：厦门市三安集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35