一种洁净厌氧高温气氛炉制造技术

本实用新型专利技术公布了一种洁净厌氧高温气氛炉，包括外箱体和嵌设在所述外箱体内的内箱体，所述内箱体包括动力腔、过滤腔和干燥腔，所述动力腔内设有循环风机和氮气输送装置，所述过滤腔内设有过滤器；所述动力腔、过滤腔和干燥腔依次相互连通形成内循环风道。本实用新型专利技术将内箱体分隔成依次相互连通的动力腔、过滤腔和干燥腔，形成内循环风道，通过动力腔内设置的氮气输送装置和循环风机置换内箱体内的空气，并利用过滤腔内的设置的过滤器对经过的气流进行过滤并排离废气，在内箱体内形成洁净的低氧浓度环境；氮气充斥在内箱体内，通过进氮气和排氮气平衡的方式，使内箱体内处于微正压状态，防止环境空气进入内箱体，保证了成品的高品质加工生产。

【技术实现步骤摘要】
一种洁净厌氧高温气氛炉
本技术涉及气氛炉
，特别是涉及一种洁净厌氧高温气氛炉。
技术介绍
气氛炉，是在某一既定温度下，向炉内通入一定成分的人工制备气氛，以达到某种热处理的目的，如气体渗碳，碳氮共渗及光亮淬火等等。随着社会的进步和科学的发展，为满足各种高精器件的生产要求，如半导体晶圆光刻胶的固化、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等，需要对气氛炉进行改进，使其可以在相应生产工序上得到应用。如半导体晶圆光刻胶的加热固化过程中，为防止半导体材料受到污染并避免半导体材料表面氧化，需要保持气氛炉内的高洁净度和低氧浓度条件，而目前的现有技术中缺乏这样一种气氛炉。
技术实现思路
基于此，有必要针对上述问题，提供一种洁净厌氧高温气氛炉，能够保持炉内的高洁净度，并有效防止材料氧化，保证工件成品品质。一种洁净厌氧高温气氛炉，包括外箱体和嵌设在外箱体内的内箱体，内箱体包括动力腔、过滤腔和干燥腔，动力腔内设有循环风机和氮气输送装置，过滤腔内设有过滤器；动力腔、过滤腔和干燥腔依次相互连通形成内循环风道。在其中一个实施例中，还包括箱本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种洁净厌氧高温气氛炉，其特征在于，包括外箱体和嵌设在所述外箱体内的内箱体，所述内箱体包括动力腔、过滤腔和干燥腔，所述动力腔内设有循环风机和氮气输送装置，所述过滤腔内设有过滤器；所述动力腔、过滤腔和干燥腔依次相互连通形成内循环风道。/n

【技术特征摘要】
1.一种洁净厌氧高温气氛炉，其特征在于，包括外箱体和嵌设在所述外箱体内的内箱体，所述内箱体包括动力腔、过滤腔和干燥腔，所述动力腔内设有循环风机和氮气输送装置，所述过滤腔内设有过滤器；所述动力腔、过滤腔和干燥腔依次相互连通形成内循环风道。


2.根据权利要求1所述的一种洁净厌氧高温气氛炉，其特征在于，还包括箱门，所述箱门包括门板和设置在门板上用于封闭内箱体的密封腔；所述门板与外箱体活动连接，所述密封腔内和/或所述密封腔周围设置有冷却管。


3.根据权利要求2所述的一种洁净厌氧高温气氛炉，其特征在于，所述密封腔设有若干进气孔和若干出气孔，所述干燥腔与所述密封腔通过若干所述进气孔连通，所述动力腔与所述密封腔通过若干所述出气孔连通。


4.根据权利要求3所述的一种洁净厌氧高温气氛炉，其特征在于，所述内箱体还包括冷却腔，所述冷却腔内设有冷却装置；所述动力腔与所述过滤腔通过所述冷却腔连通。


5.根据权利要求1-4任一所述的一种洁净厌氧高温气氛炉，其特征在于，所述动力腔内还设...

【专利技术属性】
技术研发人员：韦毅，
申请(专利权)人：重庆雅马拓科技有限公司，
类型：新型
国别省市：重庆;50