温控装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及温控技术领域，提供了一种温控装置。该温控装置包括柜体和温控组件，柜体内由上至下依次形成有第一间室、第二间室和第三间室，温控组件均包括设于第一间室内的储液箱、设于第二间室内的液体泵以及设于第三间室内的制冷装置；制冷装置通过第一管道与储液箱的进液口连通，储液箱的出液口通过第二管道与液体泵的进口连通，液体泵的出口与第三管道连通。本实用新型专利技术不仅可利用储液箱对经制冷装置冷却后的液体进行混合，保证液体泵出口温度的稳定性，降低制冷装置瞬时控温的负担，而且结构稳定、可避免第一管道、第二管道和第三管道之间以及这些管道与其他部件之间发生干涉，减少第一管道、第二管道和第三管道的折弯次数，方便后期维护。

【技术实现步骤摘要】
温控装置
本技术涉及温控
，尤其涉及一种温控装置。
技术介绍
在半导体制程工艺中，需要严格控制反应腔的温度。目前的半导体温控设备内各个部件通常为横向布置，内部管路交错无序，部分管路之间甚至还存在干涉，给后期维护造成了很大不便。此外，受到制冷装置内部结构和液体流速的影响，经制冷装置冷却后的液体温度存在小幅波动，而现有的半导体温控设备中水泵将液体泵入制冷装置后，经过制冷装置冷却后的液体直接供给外部，进而导致整个半导体温控设备的出口温度不稳定。而为了提高半导体温控设备出口温度的稳定性，这就需要制冷装置提高瞬时控温的能力。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种结构紧凑、管路整齐的温控装置，以利用储液箱对经制冷装置冷却后的液体进行混合，保证液体泵出口温度的稳定性，降低制冷装置瞬时控温的负担。根据本技术实施例的温控装置，包括柜体和温控组件，所述柜体内由上至下依次形成有第一间室、第二间室和第三间室，所述温控组件均包括设于所述第一间室内的储液箱、设于所述第二间室内的液体泵以及设于所述第三间室内的制冷装置；所述制冷装置通过第一管道与所述储液箱的进液口连通，所述储液箱的出液口通过第二管道与所述液体泵的进口连通，所述液体泵的出口与第三管道连通。根据本技术实施例的温控装置，不仅可利用储液箱对经制冷装置冷却后的液体进行混合，保证液体泵出口温度的稳定性，降低制冷装置瞬时控温的负担，而且结构稳定、可避免第一管道、第二管道和第三管道之间以及这些管道与其他部件之间发生干涉，减少第一管道、第二管道和第三管道的折弯次数，方便后期维护。另外，根据本技术实施例的温控装置，还可以具有如下附加技术特征：根据本技术的一个实施例，所述温控组件的数量为多套，多套所述温控组件沿所述柜体的宽度方向依次设置。根据本技术的一个实施例，所述制冷装置包括首尾依次连通的压缩机、冷凝器、节流阀和蒸发器，所述蒸发器的高温侧的进口与进液管连通，所述蒸发器高温侧的出口通过所述第一管道与所述储液箱连通。根据本技术的一个实施例，所述储液箱的所述进液口和所述出液口均形成于所述储液箱的底部。根据本技术的一个实施例，所述储液箱的上部形成有补液口，所述补液口与补液管连通，所述补液管远离所述补液口的一端向上弯折。根据本技术的一个实施例，所述储液箱的外侧设有沿竖直方向延伸的透明软管，所述透明软管底端与所述储液箱的下部连通，所述透明软管的顶端与所述储液箱的上部连通，所述透明软管上设有液位刻度标识。根据本技术的一个实施例，所述液体泵为离心泵。根据本技术的一个实施例，所述柜体的底部设有多个脚轮。根据本技术的一个实施例，还包括控制器以及与所述储液箱一一对应第一温度传感器，所述第一温度传感器设于对应的所述储液箱的进液口处，所述控制器分别与所述第一温度传感器和所述制冷装置电连接。根据本技术的一个实施例，还包括与所述储液箱一一对应的加热器以及与所述液体泵一一对应的第二温度传感器，所述加热器设置在对应的所述储液箱上，所述第二温度传感器设于对应的所述液体泵的出口，所述第二温度传感器和所述加热器均与所述控制器电连接。本技术实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果之一：本技术结构紧凑、管路整齐，通过在制冷装置与液体泵的连通管路上设置储液箱，便可利用储液箱对经制冷装置冷却后的液体进行混合，保证液体泵出口温度的稳定性，降低制冷装置瞬时控温的负担。此外，该温控装置通过将储液箱、液体泵和制冷装置由上至下依次设置，将质量最大的制冷装置设置在柜体的下部，不仅可以降低整个装置的重心，提高其结构稳定性，而且还可避免第一管道、第二管道和第三管道之间以及这些管道与其他部件之间发生干涉，减少第一管道、第二管道和第三管道的折弯次数，方便后期维护。本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图进行简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术实施例中一种温控装置的正视示意图；图2是本技术实施例中一种温控装置的左视示意图。附图标记：100、柜体；101、第一间室；102、第二间室；103、第三间室；110、立柱；120、顶板；130、第一隔板；140、第二隔板；150、底板；160、脚轮；200、温控组件；210、储液箱；220、液体泵；230、制冷装置；240、第一管道；250、第二管道；260、第三管道；270、补液管；280、加热器。具体实施方式为使技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合技术中的附图，对技术中的技术方案进行清楚地描述，显然，所描述的实施例是技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于技术保护的范围。在本技术实施例的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术实施例中的具体含义。在本技术实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征液平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征液平高度小于第二特征。在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种温控装置，其特征在于，包括柜体和温控组件，所述柜体内由上至下依次形成有第一间室、第二间室和第三间室，所述温控组件均包括设于所述第一间室内的储液箱、设于所述第二间室内的液体泵以及设于所述第三间室内的制冷装置；所述制冷装置通过第一管道与所述储液箱的进液口连通，所述储液箱的出液口通过第二管道与所述液体泵的进口连通，所述液体泵的出口与第三管道连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种温控装置，其特征在于，包括柜体和温控组件，所述柜体内由上至下依次形成有第一间室、第二间室和第三间室，所述温控组件均包括设于所述第一间室内的储液箱、设于所述第二间室内的液体泵以及设于所述第三间室内的制冷装置；所述制冷装置通过第一管道与所述储液箱的进液口连通，所述储液箱的出液口通过第二管道与所述液体泵的进口连通，所述液体泵的出口与第三管道连通。


2.根据权利要求1所述的温控装置，其特征在于，所述温控组件的数量为多套，多套所述温控组件沿所述柜体的宽度方向依次设置。


3.根据权利要求1所述的温控装置，其特征在于，所述制冷装置包括首尾依次连通的压缩机、冷凝器、节流阀和蒸发器，所述蒸发器的高温侧的进口与进液管连通，所述蒸发器高温侧的出口通过所述第一管道与所述储液箱连通。


4.根据权利要求1所述的温控装置，其特征在于，所述储液箱的所述进液口和所述出液口均形成于所述储液箱的底部。


5.根据权利要求1所述的温控装置，其特征在于，所述储液箱的上部形成有补液口，所述补液口与补液管连通，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕志伟，何文明，马健，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11