S型半切膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了S型半切膜设备，包括固定架：所述固定架的竖直端设置有平行分布的底膜放卷辊、废料收卷辊、蓝膜放卷辊和压合辊，所述切膜架的外壁设置有电机，且电机的输出端联接有延伸至切膜架内的S切刀辊，所述固定架的竖直端设置有成品收卷辊，所述固定架的竖直端设置有驱动组件，且驱动组件上设置有张力配重辊，并驱动张力配重辊竖直升降移动。本实用新型专利技术中，该半切膜设备采用可升降移动调节结构的张力配重辊，可以根据实际成品膜收卷的张力大小，自由的检测并调节张力配重辊的高低位置，从而改变张力配重辊对成品膜的挤压力大小，实现成品膜的张力浮动调节效果，确保成品膜的张力处于稳定状态，便于成品膜的收卷操作。

【技术实现步骤摘要】
S型半切膜设备
本技术涉及蓝膜加工
，尤其涉及S型半切膜设备。
技术介绍
蓝膜是半导体晶圆厂做晶圆切割或基板切割、背面研磨、减薄制程中所使用保护表面回路的保护膜，PVC材质，可在无尘室内使用，是晶圆加工过程中所用到的特殊胶带，其至少包括一基材膜及一黏着剂层，该基材膜为聚合物薄膜，而在蓝膜的加工当中，需要将蓝膜复合在底膜上，并对其进行半切处理，以获得符合需求的成品膜。然而现有的切膜设备在半切蓝膜之后，对于半切后的蓝膜没有配置浮动的配重辊，使得成品膜在运动过程中张力控制不够均衡，导致产品容易发破裂的现象，降低了成品膜的收卷效率。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出采用可升降移动的张力配重辊，灵活调节成品膜收卷张力的S型半切膜设备。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：S型半切膜设备，包括固定架：所述固定架的竖直端设置有平行分布的底膜放卷辊、废料收卷辊、蓝膜放卷辊和压合辊；所述固定架的水平端设置有切膜架，所述切膜架的外壁设置有电机，且电机的输出端联接有延伸至切膜本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.S型半切膜设备，包括固定架(4)，其特征在于：/n所述固定架(4)的竖直端设置有平行分布的底膜放卷辊(1)、废料收卷辊(2)、蓝膜放卷辊(3)和压合辊(12)；/n所述固定架(4)的水平端设置有切膜架(6)，所述切膜架(6)的外壁设置有电机(63)，且电机(63)的输出端联接有延伸至切膜架(6)内的S切刀辊(62)；/n所述固定架(4)的竖直端设置有成品收卷辊(8)，所述固定架(4)的竖直端设置有一驱动组件，且驱动组件上设置有张力配重辊(10)，并驱动张力配重辊(10)竖直升降移动。/n

【技术特征摘要】
1.S型半切膜设备，包括固定架(4)，其特征在于：
所述固定架(4)的竖直端设置有平行分布的底膜放卷辊(1)、废料收卷辊(2)、蓝膜放卷辊(3)和压合辊(12)；
所述固定架(4)的水平端设置有切膜架(6)，所述切膜架(6)的外壁设置有电机(63)，且电机(63)的输出端联接有延伸至切膜架(6)内的S切刀辊(62)；
所述固定架(4)的竖直端设置有成品收卷辊(8)，所述固定架(4)的竖直端设置有一驱动组件，且驱动组件上设置有张力配重辊(10)，并驱动张力配重辊(10)竖直升降移动。


2.根据权利要求1所述的S型半切膜设备，其特征在于：所述驱动组件包括一设置在固定架(4)竖直端的位移传感器(9)，位移传感器(9)的输出端通过转轴(42)与传动板(41)的中端连接，且传动板(41)的一端通过转轴(42)与固定架(4)连接，另一端与张力配重辊(10)连接。


3.根据权利要求1所述的S型半切膜设备，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：董航炯，鲁建国，
申请(专利权)人：振德医疗用品股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33