一种差压传感器芯体制造技术

本实用新型专利技术公开了一种差压传感器芯体，它涉及传感器技术领域，其包括管座、应变计、波纹膜片及硅油，所述管座包括一弹性膜片，弹性膜片嵌设在管座上，弹性膜片的顶面设置有应变计，所述管座上设置有波纹膜片，管座与波纹膜片形成一密闭腔体，腔体内填充有硅油。采用上述技术方案后，本实用新型专利技术有益效果为：差压传感器芯体采用惠斯通电桥作为检测电路，无需其他电子元器件，工作温度范围较宽；将应变计安装在弹性膜片上，应变计与弹性膜片承受的压力或形变成线性关系，线性度好，精度高。精度高。精度高。

【技术实现步骤摘要】
一种差压传感器芯体


[0001]本技术涉及传感器
，具体涉及一种差压传感器芯体。

技术介绍

[0002]目前差压的测量常采用电容式差压传感器、电感式(磁电式)差压传感器、压阻式差压传感器等进行测量。差压传感器是一种用来测量两个压力之间差值的传感器。差压传感器制作要求较高，特别是用于航空航天领域，对传感器的体积、工作温度、可靠性等有较高的要求。电容式差压传感器由中心测量膜片与固定电极构成两个可变电容，当被测介质的高、低压力分别通入高、低压室，作用在隔离膜片的压力信号传送到中心测量膜片上时，作用在其上的两侧压力差使中心测量膜片产生一个对应于压力差的变形位移量，这个位移量与所测压力差成正比，这个位移使可变电容产生相应的电容变化通过电子线路把电容变化量转化成电压信号输出。
[0003]电容式差压传感器体积较大，同时受电子线路工作温度的影响，传感器工作温度范围较窄，容易受寄生电容影响，影响传感器的稳定性，增加了电子线路，可靠性较差。
[0004]电感式差压传感器对供电要求较高，通常采用交流电，非线性和迟滞性较大，精度低，线圈易发生断本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种差压传感器芯体,其特征在于：其包括管座、应变计、波纹膜片及硅油，所述管座包括一弹性膜片，弹性膜片嵌设在管座上，弹性膜片的顶面设置有应变计，所述管座上设置有波纹膜片，管座与波纹膜片形成一密闭腔体，腔体内填充有硅油。2.根据权利要求1所述的一种差压传感器芯体，其特征在于：所述管座还包括基座、玻璃绝缘子及金属引线，所述弹性膜片的外周设置有多个玻璃绝缘子，基座设置在玻璃绝缘子的外周，金属引线穿过玻璃绝缘子的内部与应变计连接。3.根据权利要求1所述的一种差压传感器芯体，其特征在于：所述应变计为金属应变计或半导体应变计中的一种。4.根据权利要求3所述的一种差压传感器芯...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴志华，蔡春梅，翁新全，许静玲，柯银鸿，
申请(专利权)人：厦门乃尔电子有限公司，
类型：新型
国别省市：