【技术实现步骤摘要】
一种硅片氧化测试工具
[0001]本专利技术属于太阳能电池制造领域,尤其涉及一种硅片氧化测试工具。
技术介绍
[0002]目前行业中测试硅片氧化性能是否合格达标应用的是水滴测试法,具体为选取烧杯、测试平台和滴液吸管,烧杯里面盛少量纯水放测试平台上,用滴液吸管吸少量水,把从氧化机台氧化完成取出来的硅片放到烧杯上面,然后把纯水滴到硅片的四周和中间,过5分钟左右用尺测量纯水在硅片上面的扩散面积,若纯水扩散直径达到3厘米则判定硅片氧化合格。很明显此测试方法繁琐且测量不准确,而且在用尺测量的时候还会存在对硅片造成表面磨损的情况。
技术实现思路
[0003]鉴于以上,本专利技术提供一种硅片氧化测试工具,使用该工具测试硅片氧化是否达标不需要用尺测量,直接观察孔洞内水滴扩散情况即可判定,更直观方便,更准确,而且测试过程硅片位于测试工具内部,进一步确保硅片不会因外界误碰等因素导致损坏的的风险,使整个测试过程更规范、更安全。
[0004]本专利技术具体技术方案如下:
[0005]一种硅片氧化测试工具,其特征在于:包括工具主体,所述工具主体为矩形双层框架,上层框架为中空结构,所述上层框架的顶部开有五个直径3厘米的孔洞,所述孔洞呈梅花形五点排布;下层框架与上层框架的接触面相对的两边上对应的各开有一个凹槽;所述工具主体整体采用透明材质。
[0006]本专利技术附加的方面和优点将在下面的描述中进一步给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0007]图1为 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种硅片氧化测试工具,其特征在于:包括工具主体,所述工具主体为矩形双层框架,上层框架为中空结构,所述上层框架的顶部开有五个直径3厘米...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈文建,
申请(专利权)人:江苏润阳光伏科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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