一种半导体连接杆工装定位加工夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体连接杆工装定位加工夹具，属于半导体加工领域。本实用新型专利技术包括安装于机床工作台的基座，基座上设有呈四方结构的定位靠山座，定位靠山座左右两侧设有两组背对设置的支撑组件，每组支撑组件包括固定支撑座与限位组件，固定支撑座上从上往下依次通过螺栓固定有若干个用于装夹代加工工件的装夹组件，限位组件用于调整装夹组件的左右活动的自由度，本实用新型专利技术通过装夹组件的设计，一次工序可实现对待加工工件三个侧面的加工，从而保证了工件的形位公差，提高了工件质量。量。量。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体连接杆工装定位加工夹具


[0001]本技术涉及半导体加工领域，具体涉及一种半导体连接杆工装定位加工夹具。

技术介绍

[0002]半导体连接杆是固晶机里常用易损件，市场需求较大。常用加工方法为钻床分序加工两顶端的螺纹孔，再加工安装防错孔。钻床加工后需手工将螺纹攻到尺寸；因此，分序加工不仅效率低下，且由于两顶端的螺纹大小、深度不一样，打防错孔时容易疏忽打错位置，造成工件报废。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种能够提高装夹时间、保证形位公差的半导体连接杆工装定位加工夹具。
[0004]本技术的技术方案是：一种半导体连接杆工装定位加工夹具，包括基座，基座上设有用于与机床工作台固定连接的沉头孔，基座上设有呈四方结构的定位靠山座，定位靠山座左右两侧设有两组背对设置的支撑组件，每组支撑组件包括固定支撑座与限位组件，限位组件呈对角线分布，限位装置包括包括限位杆、设置在限位杆上下两端的限位装置，所述限位装置沿着支撑组件的分布方向设有限位槽，限位杆的顶端设有用于驱动限位杆沿着限位槽移动的气缸，所述固定支撑座上从上往下依次通过螺栓固定有若干个用于装夹代加工工件的装夹组件，所述装夹组件包括设置在同一平面内的左支撑块、两条平行的中心支撑块、右支撑块，所述左支撑块与右支撑块的结构相同；
[0005]进一步的技术方案，左支撑块与右支撑块上设有用于与固定支撑座连接的螺纹孔，螺纹孔分布于待加工工件的上下两侧所述左支撑块与右支撑块的下方设有用于放置待加工工件、中心支撑块的凸台，两个中心支撑块设置于待加工工件的外侧，每个中心支撑块上设有用于与固定支撑座连接的螺纹孔，两个中心支撑块分布于待加工工件的上下端。
[0006]本技术的有益效果：
[0007]1、本技术设有两组背对设置的支撑组件，可同时进行两组工件的加工，在加工一侧支撑组件上的工件时，可对另一侧的工件进行拆卸，节约了装夹时间，提高了效率。
[0008]2、本技术中限位组件用于调整装夹组件的左右活动的自由度，装夹组件用于限制待加工工件的自由度，一次工序可实现对待加工工件三个侧面的加工，从而保证了工件的形位公差，提高了工件质量。
附图说明
[0009]图1为本技术结构示意图主视图，
[0010]图2为本技术结构示意图左视图，
[0011]图3为本技术结构示意图俯视图，
[0012]图4为图3中固定支撑座的结构示意图，
[0013]图5为图3中装夹组件结构示意图，
[0014]其中，1、基座，2、定位靠山座，3、固定支撑座，4、限位组件，41、限位杆，42、限位装置，43、气缸，5、装夹组件，51、左支撑块，52、中心支撑块，53、右支撑块。
具体实施方式
[0015]下面通过非限制性实施例，进一步阐述本技术，理解本技术。
[0016]如图1-5所示，本技术为一种一种半导体连接杆工装定位加工夹具，包括基座1，基座1上设有用于与机床工作台固定连接的沉头孔，基座1上设有呈四方结构的定位靠山座2，定位靠山座2左右两侧设有两组背对设置的支撑组件，每组支撑组件包括固定支撑座3与限位组件4，限位组件4呈对角线分布，限位装置42包括包括限位杆41、设置在限位杆41上下两端的限位装置42，所述限位装置42沿着支撑组件的分布方向设有限位槽，限位杆41的顶端设有用于驱动限位杆41沿着限位槽移动的气缸43，固定支撑座3上从上往下依次通过螺栓固定有若干个用于装夹代加工工件的装夹组件5，所述装夹组件5包括设置在同一平面内的左支撑块51、两条平行的中心支撑块52、右支撑块53，平面度需在0.03mm内；左支撑块51与右支撑块53上避开待加工工件的放置位置设有两排用于与固定支撑座3螺纹孔，螺纹孔呈水平分布，用于卡住工件，限制工件上下活动的自由度；并保证工件装夹压紧后，上表面能平行于机床主轴；
[0017]左支撑块51与右支撑块53的下方设有用于放置待加工工件、中心支撑块52的凸台，左支撑块51与右支撑块53上放置待加工工件后，将两个中心支撑块52避开待加工工件需要加工的部位，然后通过中心支撑块52的螺纹孔固定在固定支撑座3上，从而用于限制工件轴向活动的自由度，保证装夹的稳定。
[0018]将待加工工件固定在装夹组件5上后，将一根定位杆通过在气缸43作用下向前推动；摆放好工件后，另一根定位杆从另一侧通过气缸43向前顶，从而保证装夹组件5完全贴合前面一根定位杆，限制装夹组件5的左右活动的自由度。然后通过气缸43的回拉将两根定位杆向里收缩，保证加工工件时无工装的干涉，方便工件两个侧面的加工。
[0019]通过机床旋转工作台，可实现对不同面固定支撑座3上的工件的加工。加工一侧支撑组件上的工件时，可对另一侧的工件进行拆卸，节约了装夹时间，提高了效率。
[0020]以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，对于本领域的技术人员来说，本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体连接杆工装定位加工夹具，包括基座，基座上设有用于与机床工作台固定连接的沉头孔，其特征在于：所述基座上设有呈四方结构的定位靠山座，所述定位靠山座左右两侧设有两组背对设置的支撑组件，每组支撑组件包括固定支撑座与限位组件，限位组件呈对角线分布，限位装置包括限位杆、设置在限位杆上下两端的限位装置，所述限位装置沿着支撑组件的分布方向设有限位槽，限位杆的顶端设有用于驱动限位杆沿着限位槽移动的气缸，所述固定支撑座上从上往下依次通过螺栓固定有若干个用于装夹待加工工件的装夹组件，...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙彬，赵维，史小园，
申请(专利权)人：靖江佳仁半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：