振动器件制造技术

压电元件(10)具有压电素体(11)、配置于压电素体的第一主面(11a)的第一外部电极(13)、配置于压电素体的第二主面(11b)的第二外部电极(15)。振动部件(20)具有：第三主面(20a)，其具有导电性；第四主面(20b)，其与第三主面相对。振动部件配置为第三主面与第一外部电极相对。保护层(30)被配置为覆盖压电元件。保护层具有第一树脂层(31)及第二树脂层(32)。第一树脂层配置为覆盖压电素体及第二外部电极。第二树脂层配置于第一外部电极和第三主面之间，并且将第一外部电极和第三主面接合。第一树脂层的硬度比第二树脂层的硬度小。的硬度比第二树脂层的硬度小。的硬度比第二树脂层的硬度小。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】振动器件


[0001]本专利技术涉及一种振动器件。

技术介绍

[0002]已知的压电器件具备压电元件和振动部件(例如，参照专利文献1)。压电元件具有压电素体、第一外部电极、第二外部电极。压电素体具有相互相对的第一主面和第二主面。第一外部电极配置于第一主面。第二外部电极配置于第二主面。振动部件具有第三主面和与第三主面相对的第四主面，第三主面具有导电性。振动部件配置为第三主面与第一外部电极相对。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开平04
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070100号公报

技术实现思路

[0006]专利技术所要解决的问题
[0007]在专利文献1所记载的振动器件中，如下所述，压电元件的电特性可能劣化。在水分浸入压电素体的情况下，构成压电素体的压电陶瓷材料中所含的金属元素可能溶出。例如，可能产生压电特性的劣化、压电元件的电阻或静电容量的变化、或电极的短路。在压电陶瓷材料中所含的金属元素溶出的情况下，压电元件的电特性可能劣化。压电元件的电特性的劣化可能对振动器件的振动特性造成影响。
[0008]本专利技术的一个方式的目的在于，提供可抑制压电元件的电特性的劣化的振动器件。
[0009]解决问题的技术手段
[0010]本专利技术的一方式所涉及的振动器件具备压电元件、振动部件、保护层。压电元件具有压电素体、第一外部电极、第二外部电极。压电素体具有相互相对的第一主面和第二主面。第一外部电极配置于第一主面。第二外部电极配置于第二主面。振动部件具有第三主面和与第三主面相对的第四主面，第三主面具有导电性。振动部件配置为第三主面与所述第一外部电极相对。保护层被配置为覆盖压电元件。第一外部电极和第三主面被电连接。保护层具有第一树脂层和第二树脂层。第一树脂层被配置为覆盖压电素体及第二外部电极。第二树脂层配置于第一外部电极和第三主面之间，并且将第一外部电极和第三主面接合。第一树脂层的硬度比第二树脂层的硬度小。
[0011]上述一个方式中，保护层配置为覆盖压电元件，因此，保护层抑制水分向压电素体内的浸入。因此，上述一个方式抑制压电元件的电特性的劣化。
[0012]在压电元件被保护层覆盖的结构中，保护层可能阻碍压电元件的位移，并且保护层可能阻碍从压电元件向振动部件的位移的传输。
[0013]第一树脂层的硬度比第二树脂层的硬度小。因此，在上述一个方式中，与第一树脂
层的硬度为第二树脂层的硬度以上的结构相比，第一树脂层难以阻碍压电元件的位移。第二树脂层的硬度比第一树脂层的硬度大。因此，上述一个方式中，与第二树脂层的硬度为第一树脂层的硬度以下的结构相比，第二树脂层难以阻碍从压电元件向振动部件的位移的传输。其结果，保护层难以阻碍压电元件的位移，且难以阻碍从压电元件向振动部件的位移的传输。
[0014]在上述一个方式中，第二外部电极的表面也可以具有由第一树脂层覆盖的第一区域和从第一树脂层露出的第二区域。在该情况下，到达第二外部电极的电连接路径通过经由第二区域而被实现。因此，本结构简化实现到达第二外部电极的电连接路径的结构。
[0015]在上述一个方式中，从与第二主面正交的方向观察，压电元件也可以位于振动部件的第三主面的大致中央。从与第二主面正交的方向观察，第二区域也可以位于第二外部电极的表面的大致中央。
[0016]有时振动器件被利用于例如检测相对于操作面的挤压的挤压传感器。在振动器件被利用于挤压传感器的情况下，振动器件通常配置为振动器件的大致中央与操作面上的挤压位置对应。在该情况下，主要是压电素体的、与第二区域对应的部分位移，而产生电位。从与第二主面正交的方向观察，压电元件位于第三主面的大致中央，并且第二区域位于第二外部电极的表面的大致中央的结构中，通过挤压而产生的电位通过第二区域被高效地取出。因此，振动器件适当地检测挤压。
[0017]在上述一个方式中，从与第二主面正交的方向观察，第二区域也可以定位成被第一区域包围。也可以在第一树脂层，沿着规定第二区域的第一树脂层的内缘设置突部。
[0018]搭载振动器件的电子设备的配线和第二区域的电连接中有时使用具有导电性的膏材料。在该情况下，膏材料被赋予给第二区域。在第一树脂层沿着第一树脂层的内缘设置有突部的结构中，与不在第一树脂层沿着第一树脂层的内缘设置突部的结构相比，膏材料容易保持于第二区域。因此，在本结构中，第二区域与上述电子设备的配线可靠地电连接。
[0019]在上述一个方式中，也可以在第一树脂层，在从与第二主面正交的方向观察比压电元件更靠近外侧的位置，沿着第一树脂层的外缘设置突部。在本结构中，与不在第一树脂层沿着该第一树脂层的外缘设置突部的结构相比，从与第二主面正交的方向观察比压电元件更靠近外侧的位置上的第一树脂层的厚度大设置有突部的量。因此，第一树脂层可靠地覆盖压电素体的端部，并可靠地抑制水分向压电素体内的浸入。
[0020]与第一树脂层的厚度较小的结构相比，在第一树脂层的厚度较大的结构中，处于阻碍压电元件的位移的倾向。与之相对，在本结构中，第一树脂层的厚度较大的位置为从与第二主面正交的方向观察比压电元件更靠近外侧。因此，本结构难以阻碍压电元件的位移。
[0021]在上述一个方式中，第一外部电极也可以具有与第三主面物理性地接触的多个突部。第二树脂层也可以位于第一外部电极的多个突部之间。在该情况下，第一外部电极的多个突部通过与第三主面的物理性的接触，而与第三主面电连接。因此，在本结构中，到达第一外部电极的电连接路径通过经由第三主面及多个突部而被实现。第一外部电极和第三主面通过设置于多个突部之间的第二树脂层而接合。因此，本结构确保振动部件和压电元件的接合强度。
[0022]在上述一个方式中，从与第二主面正交的方向观察，第二树脂层也可以具有位于比压电元件更靠近外侧的位置的外侧区域。第一树脂层也可以设置为从与第二主面正交的
方向观察与第二树脂层的外侧区域重叠，并且与第二树脂层的外侧区域相接。在该情况下，压电元件被第一树脂层和第二树脂层可靠地覆盖。因此，第一树脂层和第二树脂层可靠地抑制水分向压电素体内的浸入。
[0023]专利技术的效果
[0024]本专利技术的一个方式提供抑制了压电元件的电特性的劣化的振动器件。
附图说明
[0025]图1是表示一实施方式的振动器件的立体图。
[0026]图2是表示本实施方式的振动器件的俯视图。
[0027]图3是表示本实施方式的振动器件的截面结构的图。
[0028]图4是表示本实施方式的振动器件的截面结构的图。
[0029]图5是表示本实施方式的振动器件的截面结构的图。
[0030]图6是表示本实施方式的振动器件的截面结构的图。
[0031]图7是表示本实施方式的变形例的振动器件的俯视图。
[0032]图8是表示本实施方式的变形例的振动器件的截面结构的图。
[0033]图9是表示本实施方式的变形例的振动器件的截面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种振动器件，其中，具备：压电元件，其具有包括相互相对的第一主面和第二主面的压电素体、配置于所述第一主面的第一外部电极、以及配置于所述第二主面的第二外部电极；振动部件，其具有具备导电性的第三主面和与所述第三主面相对的第四主面，并且配置为所述第三主面与所述第一外部电极相对；保护层，其配置为覆盖所述压电元件，所述第一外部电极和所述第三主面被电连接，所述保护层具有：第一树脂层，其配置为覆盖所述压电素体及所述第二外部电极；第二树脂层，其配置于所述第一外部电极和所述第三主面之间，并且将所述第一外部电极和所述第三主面接合，所述第一树脂层的硬度比所述第二树脂层的硬度小。2.根据权利要求1所述的振动器件，其中，所述第二外部电极的表面具有被所述第一树脂层覆盖的第一区域和从所述第一树脂层露出的第二区域。3.根据权利要求2所述的振动器件，其中，从与所述第二主面正交的方向观察，所述压电元件位于所述振动部件的所述第三主面的大致中央，从与所述第二主面正交的方向观察，所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：斋藤和树，木嶋薰，
申请(专利权)人：TDK株式会社，
类型：发明
国别省市：