本实用新型专利技术的石英坩埚成型装置包括不锈钢成型棒、石英板、若干螺栓组件、顶针，所述不锈钢成型棒和石英板上设有相配合的通孔，螺栓组件与不锈钢成型棒和石英板上的通孔套设连接，以使不锈钢成型棒和石英板可拆卸，所述不锈钢成型棒和石英板呈L型，不锈钢成型棒和石英板的弯折处呈弧形，且弯折处的弧度与模具的底部的弧度相匹配，以使成型后的坩埚等厚，不锈钢成型棒的末端与顶针垂直固定连接。石英坩埚成型装置在转动过程中，不锈钢成型棒不与石英砂接触，与石英砂接触的为石英板。如此，石英砂不会与不锈钢成型棒产生刮擦，避免引入新的杂质，提升了坩埚质量。同时，石英板不易断裂，因此可以提高成型装置的转速，从而提升成型效率。率。率。
【技术实现步骤摘要】
石英坩埚成型装置
[0001]本技术涉及半导体石英坩埚生产
，尤其涉及一种石英坩埚成型装置。
技术介绍
[0002]石英玻璃坩埚目前主要靠高温电弧法熔制，石英坩埚熔制之前需要将高纯石英砂倒入模具内表面，并且通过一定的成型装置成型，成型装置要保证石英砂在模具内表面的厚度分布有一定的厚度特征，才能保证产品的厚度符合理论设定要求。同时成型装置材料选用要有一定的强度和纯度，避免将杂质元素带入到石英砂的内表面，最后造成产品内表面纯度不合格。目前市场上主要使用不锈钢制成的成型棒，但是该种成型棒成型时，由于和石英砂的刮砂摩擦，容易将不锈钢中的金属元素，Fe、Cr、Ni、Mo、Cu、Ti等杂质元素带入到石英坩埚内表面，造成坩埚内表面纯度下降，产品纯度等级不合格。
[0003]针对上述问题，专利号为201920907959.1，名称为“一种坩埚成型棒”的中国技术专利公开的技术方案为：高纯石英砂制得的陶瓷成型棒，包括：成型棒主体和顶针；成型棒主体的上部分为直棒，成型棒主体的下部分为弯曲棒，弯曲棒依次包括第一弯曲棒和第二弯曲棒，其中，第一弯曲棒的直径小于第二弯曲棒的直径。
[0004]上述方案不会带入杂质，但是陶瓷脆性较高，刮砂不能用力过大，只能慢慢成型，成型效率低。用力过大容易容易在刮砂的过程中断裂。
技术实现思路
[0005]有鉴于此，有必要提供一种保证坩埚表面纯度、提高成型速度、强度较高的石英坩埚成型装置。
[0006]一种石英坩埚成型装置包括不锈钢成型棒、石英板、若干螺栓组件、顶针，所述不锈钢成型棒和石英板上设有相配合的通孔，螺栓组件与不锈钢成型棒和石英板上的通孔套设连接，不锈钢成型棒与石英板通过螺栓组件固定连接，所述不锈钢成型棒和石英板呈L型，不锈钢成型棒和石英板的弯折处呈弧形，且弯折处的弧度与模具的底部的弧度相匹配，以使成型后的坩埚等厚，不锈钢成型棒的末端与顶针垂直固定连接。
[0007]优选的，所述不锈钢成型棒上设有定位平面，定位平面的平面度小于0.2毫米，不锈钢成型棒的通孔位于定位平面上，定位平面与石英板贴合，以提高不锈钢成型棒与石英板装配的稳定性。
[0008]优选的，所述石英板的上端的侧边设有挡板，以防止石英砂越过石英板。
[0009]优选的，所述石英板的上端远离挡板的一侧为圆弧面，圆弧面的表面粗糙度小于或等于1.6微米，以减小坩埚在成型过程中石英板受到的阻力。
[0010]优选的，所述挡板与石英板的连接处为圆角面，以防止坩埚成型过程中，石英砂在挡板与石英板的连接处黏附。
[0011]优选的，所述不锈钢成型棒的顶部设有把手，以便于操作人员握持。
[0012]优选的，所述不锈钢成型棒的末端设有竖向的螺纹孔，相应的顶针上设有外螺纹，不锈钢成型棒与顶针螺纹连接，以通过旋转顶针调节顶针的底部与不锈钢成型棒之间的距离。
[0013]优选的，所述顶针为氧化锆陶瓷顶针，顶针的底部为锥形。
[0014]优选的，所述螺栓组件包括特氟龙材质的螺栓和螺母，所述螺栓和螺母螺纹连接。
[0015]有益效果：本技术的石英坩埚成型装置包括不锈钢成型棒、石英板、若干螺栓组件、顶针，所述不锈钢成型棒和石英板上设有相配合的通孔，螺栓组件与不锈钢成型棒和石英板上的通孔套设连接，以使不锈钢成型棒和石英板可拆卸，所述不锈钢成型棒和石英板呈L型，不锈钢成型棒和石英板的弯折处呈弧形，且弯折处的弧度与模具的底部的弧度相匹配，以使成型后的坩埚等厚，不锈钢成型棒的末端与顶针垂直固定连接。石英坩埚成型装置在转动过程中，不锈钢成型棒不与石英砂接触，与石英砂接触的为石英板。如此，石英砂不会与不锈钢成型棒产生刮擦，避免引入新的杂质，提升了坩埚质量。同时，石英板不易断裂，因此可以提高成型装置的转速，从而提升成型效率。
附图说明
[0016]图1为本技术的石英坩埚成型装置的一较佳角度的结构示意图。
[0017]图2为本技术的石英坩埚成型装置的另一较佳角度的结构示意图。
[0018]图3为本技术的石英坩埚成型装置的使用状态图。
[0019]图4为本技术的石英板的结构示意图。
[0020]图5为图4的局部结构示意图。
[0021]图6为本技术的不锈钢成型棒的结构示意图。
[0022]图7为本技术的顶针的结构示意图。
[0023]图中：石英坩埚成型装置10、不锈钢成型棒20、定位平面201、把手202、石英板30、弯折处301、挡板302、圆弧面303、圆角面304、螺栓组件40、顶针50、模具60。
具体实施方式
[0024]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0025]请参看图1至图7，一种石英坩埚成型装置10包括不锈钢成型棒20、石英板30、若干螺栓组件40、顶针50，所述不锈钢成型棒20和石英板30上设有相配合的通孔，螺栓组件40与不锈钢成型棒20和石英板30上的通孔套设连接，不锈钢成型棒20与石英板30通过螺栓组件40固定连接，所述不锈钢成型棒20和石英板30呈L型，不锈钢成型棒20和石英板30的弯折处301呈弧形，且弯折处301的弧度与模具60的底部的弧度相匹配，以使成型后的坩埚等厚，不锈钢成型棒20的末端与顶针50垂直固定连接。
[0026]进一步的，所述不锈钢成型棒20上设有定位平面201，定位平面201的平面度小于0.2毫米，不锈钢成型棒20的通孔位于定位平面201上，定位平面201与石英板30贴合，以提高不锈钢成型棒20与石英板30装配的稳定性。
[0027]进一步的，所述石英板30的上端的侧边设有挡板302，以防止石英砂越过石英板30。
[0028]石英砂在成型过程中，多余的石英砂会越过石英板30粘附到已经成型的坩埚的表面，后续还需要继续将这部分的多余的石英砂刮掉。设置挡板302后，多余的石英砂就会沿着挡板302掉落到底部，减少了刮砂时间。
[0029]进一步的，所述石英板30的上端远离挡板302的一侧为圆弧面303，圆弧面303的表面粗糙度小于或等于1.6微米，以减小坩埚在成型过程中石英板30受到的阻力。圆弧面303有利于石英砂成型，并且与石英砂的接触面积小。减小了石英砂成型过程中石英板30与石英砂的摩擦力，增加了成型速度，减小了石英砂成型过程中操作人员的劳动强度以及成型装置的抖动问题。
[0030]进一步的，所述挡板302与石英板30的连接处为圆角面304，以防止坩埚成型过程中，石英砂在挡板302与石英板30的连接处黏附。
[0031]如果石英砂在石英板30上黏附，那么后续在用不同的石英砂时，就会与该石英砂混淆，从而影响产品的质量。
[0032]进一步的，所述不锈钢成型棒20的顶部设有把手202本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚成型装置，其特征在于：包括不锈钢成型棒、石英板、若干螺栓组件、顶针，所述不锈钢成型棒和石英板上设有相配合的通孔，螺栓组件与不锈钢成型棒和石英板上的通孔套设连接，不锈钢成型棒与石英板通过螺栓组件固定连接，所述不锈钢成型棒和石英板呈L型，不锈钢成型棒和石英板的弯折处呈弧形，且弯折处的弧度与模具的底部的弧度相匹配，以使成型后的坩埚等厚，不锈钢成型棒的末端与顶针垂直固定连接。2.如权利要求1所述的石英坩埚成型装置，其特征在于：所述不锈钢成型棒上设有定位平面，定位平面的平面度小于0.2毫米，不锈钢成型棒的通孔位于定位平面上，定位平面与石英板贴合，以提高不锈钢成型棒与石英板装配的稳定性。3.如权利要求1所述的石英坩埚成型装置，其特征在于：所述石英板的上端的侧边设有挡板，以防止石英砂越过石英板。4.如权利要求3所述的石英坩埚成型装置，其特征在于：所述石英板的上端...
【专利技术属性】
技术研发人员：何玉鹏，李卫，李常国，王建军，邓红，
申请(专利权)人：宁夏富乐德石英材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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