一种电弧法石英坩埚上料成型用工装制造技术

技术编号:27411875 阅读:23 留言:0更新日期:2021-02-21 14:27
本实用新型专利技术公开了一种电弧法石英坩埚上料成型用工装,包括棒体,棒体的形状和石英坩埚的内壁形状相适应,棒体上可滑动地连接有调节件,调节件上连接有挡针,棒体底部可拆卸地连接有定位棒尖。本实用新型专利技术能够有效提高料层厚度的控制精准度,并可进行棒尖的及时调整,大大提高了提升了石英坩埚成型品质。大大提高了提升了石英坩埚成型品质。大大提高了提升了石英坩埚成型品质。

【技术实现步骤摘要】
一种电弧法石英坩埚上料成型用工装


[0001]本技术涉及单晶硅加工
,具体涉及一种电弧法石英坩埚上料成型用工装。

技术介绍

[0002]石英坩埚是单晶硅加工中的辅料或容器,利用电弧法生产石英坩埚是坩埚成型加工的常用方式,加工石英坩埚的毛坯时,先将高纯石英砂装入旋转成型模具内,利用离心力作用和成型棒手工成型,再使用电极棒起弧,熔制过程中电极棒会下降至模具内,从而快速对坩埚形状的成型砂料进行熔制,经冷却后取出即可得到石英坩埚的毛坯。在上述石英坩埚的上料成型过程中所采用的成型棒存在以下缺点:一、上料时,石英砂的料层厚度完全凭人工上料经验来控制,易出现厚度偏差;二、成型棒的棒尖是焊接在棒体上的,上料时,成型棒的棒尖需与模具中心眼接触,长期使用棒尖会逐渐磨损变短,导致上料后的石英坩埚底部料层薄而影响坩埚的尺寸精度;三、成型棒的棒尖的焊接处容易掉落杂质而最终影响石英坩埚的品质。综上所述,现有的石英坩埚上料成型用工装-成型棒,无法满足石英坩埚的加工需求。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是提供一种电弧法石英坩埚上料成型用工装,能够有效提高料层厚度的控制精准度,并可进行棒尖的及时更换和调整,利于提升石英坩埚品质。
[0004]为了解决上述技术问题,本技术提供的技术方案如下:
[0005]一种电弧法石英坩埚上料成型用工装,包括棒体,所述棒体的形状和所述石英坩埚的内壁形状相适应,所述棒体上可滑动地连接有调节件,所述调节件上连接有挡针,所述棒体底部可拆卸地连接有定位棒尖。
[0006]在其中一个实施方式中,所述挡针穿设在所述调节件上并可沿所述调节件移动。
[0007]在其中一个实施方式中,所述调节件上连接有用于将所述挡针锁紧在所述调节件上的第一锁紧件。
[0008]在其中一个实施方式中,所述第一锁紧件采用第一螺栓,锁紧时,所述第一螺栓穿过所述调节件而将所述挡针抵顶在所述调节件上。
[0009]在其中一个实施方式中,所述调节件上连接有用于将所述调节件锁紧在所述棒体上的第二锁紧件。
[0010]在其中一个实施方式中,所述挡针采用可伸缩杆。
[0011]在其中一个实施方式中,所述调节件上设置有通孔,所述棒体穿设在所述通孔中。
[0012]在其中一个实施方式中,所述定位棒尖和所述棒体通过螺纹连接。
[0013]在其中一个实施方式中,所述定位棒尖的底端设置有锥形部。
[0014]在其中一个实施方式中,所述棒体的上部连接有手柄。
[0015]本技术具有以下有益效果:本技术的电弧法石英坩埚上料成型用工装,通过调节件和挡针的设置,能够较好的匹配坩埚模具的高度,并可以有效测定料层的厚度,提高了料层厚度的控制精准度;通过将定位棒尖可拆卸地连接在棒体上,能够更便于定位棒尖的及时更换和调整,大大提升了石英坩埚成品的尺寸精度。
附图说明
[0016]图1是本技术的石英坩埚上料成型用工装的一实施例的结构示意图;
[0017]图2是图1所示的调节件和挡针的装配结构示意图;
[0018]图3是图2所示装配结构的侧视图;
[0019]图4是图1中A处的局部放大结构示意图;
[0020]图5是图4所示结构的俯视图;
[0021]图6是图1所示的工装的使用状态示意图;
[0022]图中:1、棒体,2、调节件,21、通孔,22、第一锁紧件,23、第二锁紧件,3、挡针,4、定位棒尖,41、锥形部,5、紧固螺母,6、手柄,7、模具,71、上口法兰面,72、中心眼,8、石英砂料层。
具体实施方式
[0023]下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明,以使本领域的技术人员可以更好地理解本技术并能予以实施,但所举实施例不作为对本技术的限定。
[0024]实施例一:
[0025]如图1所示,本实施例公开了一种电弧法石英坩埚上料成型用工装,包括棒体1,棒体1的形状和石英坩埚的内壁形状相适应,棒体1上可滑动地连接有调节件2,调节件2上连接有挡针3,棒体1的底部可拆卸地连接有定位棒尖4。
[0026]通过挡针3的设置,可以有效测定石英砂料层8的料层厚度,使石英砂料层8的料层厚度可视可控,提高了料层厚度的控制精准度,降低产品尺寸不良率,且挡针3的位置可调节,能够较好地匹配坩埚模具7的高度,从而保证产品品质;
[0027]通过将定位棒尖4可拆卸地连接在棒体1上,能够更便于定位棒尖4的及时更换或调整,避免了因棒尖磨损不便更换所造成的石英坩埚底部料层变薄而影响坩埚的尺寸精度的问题,同时也避免了棒尖焊接易出现杂质掉落而最终影响石英坩埚的品质的问题。另外,现有技术中成型棒的棒尖是焊接固定,若更换棒尖,需要将原来的棒尖割除后再重新由专业人员焊接,耗费时间也较长,而本实施例的定位棒尖4采用可拆卸连接方式,则可有效避免上述问题,有效缩短更换调整时间。
[0028]在其中一个实施方式中,如图2-图3所示,挡针3穿设在调节件2上并可沿调节件移动,以使得挡针3伸出调节件2的长度可调,从而可根据不同的料层厚度来调节挡针3的伸出长度,提高了挡针3的适用范围。
[0029]在其中一个实施方式中,调节件2上连接有用于将挡针3锁紧在调节件2上的第一锁紧件22,以在挡针长度调节完毕后固定挡针3。
[0030]进一步地,第一锁紧件22采用第一螺栓,锁紧挡针3时,第一螺栓穿过调节件而将挡针3抵顶在调节件2上。
[0031]在其中一个实施方式中,调节件2上连接有用于将调节件2锁紧在棒体1上的第二锁紧件23,以在调节件高度调节完毕后固定调节件2。
[0032]进一步地,第二锁紧件23采用第二螺栓,锁紧调节件时,第二螺栓穿过调节件2而将调节件2抵接在棒体1上。
[0033]在其中一个实施方式中,调节件2上设置有通孔21,棒体1穿设在通孔21中,结构简单可靠,更便于调节件2的稳定滑移。
[0034]在其中一个实施方式中,如图4-图5所示,定位棒尖4和棒体1通过螺纹连接,以便于通过旋拧调节定位棒尖4的伸出长度,便于及时校正调整定位棒尖4的长度,且便于操作,利于减少校正时间。
[0035]在其中一个实施方式中,定位棒尖4采用全螺纹杆。
[0036]进一步地,定位棒尖4伸出棒体1的两端均连接有紧固螺母5,以在定位棒尖4伸出长度调整完毕后,锁紧定位棒尖4。
[0037]在其中一个实施方式中,定位棒尖4的底端设置有锥形部41,以更便于在刮料时对准模具中心眼72。
[0038]在其中一个实施方式中,棒体1的上部连接有手柄6,以便于握持。
[0039]在其中一个实施方式中,挡针3可采用具有高弹性形变和低磨损率的材质制成,以避免挡针3接触到模具上口法兰面71时,挡针3和上口法兰面71发生刚性触碰而造成上口法兰面71损伤。
[0040]在其中一个实施方式中,挡针3上可设置刻度,以便于更好地测定料层的厚度;本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电弧法石英坩埚上料成型用工装,其特征在于,包括棒体,所述棒体的形状和所述石英坩埚的内壁形状相适应,所述棒体上可滑动地连接有调节件,所述调节件上连接有挡针,所述棒体底部可拆卸地连接有定位棒尖。2.如权利要求1所述的电弧法石英坩埚上料成型用工装,其特征在于,所述挡针穿设在所述调节件上并可沿所述调节件移动。3.如权利要求2所述的电弧法石英坩埚上料成型用工装,其特征在于,所述调节件上连接有用于将所述挡针锁紧在所述调节件上的第一锁紧件。4.如权利要求3所述的电弧法石英坩埚上料成型用工装,其特征在于,所述第一锁紧件采用第一螺栓,锁紧时,所述第一螺栓穿过所述调节件而将所述挡针抵顶在所述调节件上。5.如权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员:晏美仁陈永康王文元张桥清杨雪花张从桢段慧芳
申请(专利权)人:保山隆基硅材料有限公司
类型:新型
国别省市:

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