【技术实现步骤摘要】
一种高纯氮气净化装置
本技术涉及气体净化设备
,具体涉及一种高纯氮气净化装置。
技术介绍
在半导体工业过程中,经常需要氢气、氮气、惰性气体等作为辅料,并且需要这些气体具有超高纯度。目前,从高纯氮气的生产工艺中,不可避免的会带入氧气,导致氮气的纯度达不到超高标准,导致高纯试剂产品质量不合格。因此,亟需设计一种高纯氮气纯化装置来解决上述问题。
技术实现思路
为解决现有技术中存在的问题,本技术提供了一种高纯氮气净化装置,具体的技术方案如下所述:一种高纯氮气净化装置,包括罐体(1),罐体(1)内安装有催化剂网(2),所述的罐体(1)的底端设置有气体进口(101),顶端设置有气体出口(102),所述的气体出口(102)通过管道与干燥器(3)连接,所述的气体进口(101)与管道连接,管道上的支路管道(4)与氢气罐(5)连接,所述的支路管道(4)上设置有自动开关阀(6),自动开关阀(6)与在线控制装置(7)电连接;所述的干燥器(3)的出口通过管道与液化分离器(8)连接,所述的液化分离器(8)上设置有进气口和出气口,所述的液化分离器(8)的出气口通过高纯氮气输出管道(9)将高纯氮气输出。设置有两个干燥器(3),根据实际应用,定时更换吸水物质,保证将氮气中的水汽出去。当更换其中一个干燥器(3)中的吸水物质时,自动开启另一个干燥器(3),保证整个装置的正常运转。进一步地,所述的高纯氮气输出管道(9)上安装有自动开关阀(6),所述的自动开关阀(6)的上游设置有支管(10),支管(10) ...
【技术保护点】
1.一种高纯氮气净化装置,其特征在于,包括罐体(1),罐体(1)内安装有催化剂网(2),所述的罐体(1)的底端设置有气体进口(101),顶端设置有气体出口(102),所述的气体出口(102)通过管道与干燥器(3)连接,/n所述的气体进口(101)与管道连接,管道上的支路管道(4)与氢气罐(5)连接,所述的支路管道(4)上设置有自动开关阀(6),自动开关阀(6)与在线控制装置(7)电连接;/n所述的干燥器(3)的出口通过管道与液化分离器(8)连接,所述的液化分离器(8)上设置有进气口和出气口,所述的液化分离器(8)的出气口通过高纯氮气输出管道(9)将高纯氮气输出。/n
【技术特征摘要】
1.一种高纯氮气净化装置,其特征在于,包括罐体(1),罐体(1)内安装有催化剂网(2),所述的罐体(1)的底端设置有气体进口(101),顶端设置有气体出口(102),所述的气体出口(102)通过管道与干燥器(3)连接,
所述的气体进口(101)与管道连接,管道上的支路管道(4)与氢气罐(5)连接,所述的支路管道(4)上设置有自动开关阀(6),自动开关阀(6)与在线控制装置(7)电连接;
所述的干燥器(3)的出口通过管道与液化分离器(8)连接,所述的液化分离器(8)上设置有进气口和出气口,所述的液化分离器(8)的出气口通过高纯氮气输出管道(9)将高纯氮气输出。
2.根据权利要求1所述的高纯氮气净化装置,其特征在于,所述的高纯氮气输出管道(9)上安装有自动开关阀(6)...
【专利技术属性】
技术研发人员:夏文炯,李春江,余剑立,周燕,陈远鹏,
申请(专利权)人:南京宝雅气体有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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