【技术实现步骤摘要】
一种坩埚模具液压油缸转动装置
本技术属于一种液压油缸转动装置
,尤其涉及一种坩埚模具液压油缸转动装置。
技术介绍
用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料,是作为太阳能、半导体行业切克拉斯基法(cz)拉制单晶硅必不可少的容器。通常在制作石英坩埚时,坩埚模具的操作通过液压齿轮传动来控制,会经常产生漏油的情况。且液压齿轮传动行程小,使坩埚模具在操作过程中,转动角度不容易达到要求,往往导致新成型的石英坩埚从坩埚模具中取出困难,甚至产生石英坩埚在取出时产生破损的情况,造成不必要的经济损失。还有液压齿轮传动不稳定,增加了工人的操作难度,在一定程度上,对石英坩埚的制作质量产生不利影响。
技术实现思路
为了达到上述目的,本技术采用的技术方案为,本技术提供一种坩埚模具液压油缸转动装置,包括支撑板、连接板、内腔以及坩埚模具,所述连接板设置在所述支撑板之间,所述内腔开在所述连接板内,所述坩埚模具与所述支撑板之间设置有摆动结构;所述摆动结构,主要包括:转动轴、摆动杆、推动部以及缓冲部;所述转动轴活动转动连接在所述支撑板之间,所述摆动杆固定套装在所述转动轴上,所述推动部设置在所述内腔内,所述缓冲部设置在所述支撑板以及摆动杆上。优选的,所述推动部,主要包括:齿轮、固定块、滑槽、齿条、连接块以及液压油缸;所述齿轮设置在所述转动轴一端,固定块设置在所述内腔内,所述滑槽开在所述内腔侧表面,所述齿条滑动嵌装在所述滑槽内,所述连接块设置在所述齿条底面,所 ...
【技术保护点】
1.一种坩埚模具液压油缸转动装置,包括支撑板(1)、连接板(2)、内腔(3)以及坩埚模具(4),所述连接板(2)设置在所述支撑板(1)之间,所述内腔(3)开在所述连接板(2)内,其特征在于,所述坩埚模具(4)与所述支撑板(1)之间设置有摆动结构;/n所述摆动结构,主要包括:转动轴(5)、摆动杆(6)、推动部以及缓冲部;/n所述转动轴(5)活动转动连接在所述支撑板(1)之间,所述摆动杆(6)固定套装在所述转动轴(5)上,所述推动部设置在所述内腔(3)内,所述缓冲部设置在所述支撑板(1)以及摆动杆(6)上。/n
【技术特征摘要】
1.一种坩埚模具液压油缸转动装置,包括支撑板(1)、连接板(2)、内腔(3)以及坩埚模具(4),所述连接板(2)设置在所述支撑板(1)之间,所述内腔(3)开在所述连接板(2)内,其特征在于,所述坩埚模具(4)与所述支撑板(1)之间设置有摆动结构;
所述摆动结构,主要包括:转动轴(5)、摆动杆(6)、推动部以及缓冲部;
所述转动轴(5)活动转动连接在所述支撑板(1)之间,所述摆动杆(6)固定套装在所述转动轴(5)上,所述推动部设置在所述内腔(3)内,所述缓冲部设置在所述支撑板(1)以及摆动杆(6)上。
2.根据权利要求1所述的一种坩埚模具液压油缸转动装置,其特征在于,所述推动部,主要包括:齿轮(7)、固定块(8)、滑槽(9)、齿条(10)、连接块(11)以及液压油缸(12);
所述齿轮(7)设置在所述转动轴(5)一端,固定块(8)设置在所述内腔(3)内,所述滑槽(9)...
【专利技术属性】
技术研发人员:高鹏,
申请(专利权)人:天津银鹏发展金属制品有限公司,
类型:新型
国别省市:天津;12
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