一种坩埚模具液压油缸转动装置制造方法及图纸

技术编号:27750686 阅读:24 留言:0更新日期:2021-03-19 13:46
本实用新型专利技术属于一种坩埚模具液压油缸转动装置,包括支撑板、连接板、内腔以及坩埚模具,所述连接板设置在所述支撑板之间,所述内腔开在所述连接板内,所述坩埚模具与所述支撑板之间设置有摆动结构,所述摆动结构,主要包括:转动轴、摆动杆、推动部以及缓冲部,所述转动轴活动转动连接在所述支撑板之间,所述摆动杆固定套装在所述转动轴上,所述推动部设置在所述内腔内,所述缓冲部设置在所述支撑板以及摆动杆上,本实用新型专利技术产生的行程大,坩埚模具的转动角度完全能达到要求,使新成型的石英坩埚能方便地、完好无损地从坩埚模具中取出,确保了坩埚模具最后的生产质量。

【技术实现步骤摘要】
一种坩埚模具液压油缸转动装置
本技术属于一种液压油缸转动装置
,尤其涉及一种坩埚模具液压油缸转动装置。
技术介绍
用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料,是作为太阳能、半导体行业切克拉斯基法(cz)拉制单晶硅必不可少的容器。通常在制作石英坩埚时,坩埚模具的操作通过液压齿轮传动来控制,会经常产生漏油的情况。且液压齿轮传动行程小,使坩埚模具在操作过程中,转动角度不容易达到要求,往往导致新成型的石英坩埚从坩埚模具中取出困难,甚至产生石英坩埚在取出时产生破损的情况,造成不必要的经济损失。还有液压齿轮传动不稳定,增加了工人的操作难度,在一定程度上,对石英坩埚的制作质量产生不利影响。
技术实现思路
为了达到上述目的,本技术采用的技术方案为,本技术提供一种坩埚模具液压油缸转动装置,包括支撑板、连接板、内腔以及坩埚模具,所述连接板设置在所述支撑板之间,所述内腔开在所述连接板内,所述坩埚模具与所述支撑板之间设置有摆动结构;所述摆动结构,主要包括:转动轴、摆动杆、推动部以及缓冲部;所述转动轴活动转动连接在所述支撑板之间,所述摆动杆固定套装在所述转动轴上,所述推动部设置在所述内腔内,所述缓冲部设置在所述支撑板以及摆动杆上。优选的,所述推动部,主要包括:齿轮、固定块、滑槽、齿条、连接块以及液压油缸;所述齿轮设置在所述转动轴一端,固定块设置在所述内腔内,所述滑槽开在所述内腔侧表面,所述齿条滑动嵌装在所述滑槽内,所述连接块设置在所述齿条底面,所述液压缸销轴转动连接在所述固定块与所述连接块之间。优选的,所述缓冲部,主要包括:弧形槽、夹板以及缓冲弹簧;所述弧形槽开在所述支撑板侧表面,所述夹板设置在所述摆动杆相对两侧表面且一端活动插装连接在所述弧形槽内,所述缓冲弹簧艾琳姐在所述夹板与所述弧形槽之间。优选的,所述摆动杆最大摆动角度为90°。优选的,所述支撑板相对两端面为倾斜过度。与现有技术相比,本技术的优点和积极效果在于,产生的行程大,坩埚模具的转动角度完全能达到要求,使新成型的石英坩埚能方便地、完好无损地从坩埚模具中取出,确保了坩埚模具最后的生产质量。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作一简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本实施例提供的一种坩埚模具液压油缸转动装置的结构示意图;图2为本实施例提供的一种坩埚模具液压油缸转动装置的侧视剖图;图3为本实施例提供的一种坩埚模具液压油缸转动装置的局部放大图;以上各图中,1、支撑板;2、连接板;3、内腔;4、坩埚模具;5、转动轴;6、摆动杆;7、齿轮;8、固定块;9、滑槽;10、齿条;11、连接块;12、液压油缸;13、弧形槽;14、夹板;15、缓冲弹簧。具体实施方式为了能够更清楚地理解本技术的上述目的、特征和优点,下面结合附图和实施例对本技术做进一步说明。需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术,但是,本技术还可以采用不同于在此描述的其他方式来实施,因此,本技术并不限于下面公开说明书的具体实施例的限制。实施例,由说明书附图1-3可知,本方案包括支撑板1、连接板2、内腔3以及坩埚模具4,所述连接板2设置在所述支撑板1之间,所述内腔3开在所述连接板2内,所述坩埚模具4与所述支撑板1之间设置有摆动结构;所述摆动结构,主要包括:转动轴5、摆动杆6、推动部以及缓冲部;所述转动轴5活动转动连接在所述支撑板1之间,所述摆动杆6固定套装在所述转动轴5上,所述推动部设置在所述内腔3内,所述缓冲部设置在所述支撑板1以及摆动杆6上;所述推动部,主要包括:齿轮7、固定块8、滑槽9、齿条10、连接块11以及液压油缸12;所述齿轮7设置在所述转动轴5一端,固定块8设置在所述内腔3内,所述滑槽9开在所述内腔3侧表面,所述齿条10滑动嵌装在所述滑槽9内,所述连接块11设置在所述齿条10底面,所述液压缸销轴转动连接在所述固定块8与所述连接块11之间;所述缓冲部,主要包括:弧形槽13、夹板14以及缓冲弹簧15;所述弧形槽13开在所述支撑板1侧表面,所述夹板14设置在所述摆动杆6相对两侧表面且一端活动插装连接在所述弧形槽13内,所述缓冲弹簧15艾琳姐在所述夹板14与所述弧形槽13之间;所述摆动杆6最大摆动角度为90°,所述支撑板1相对两端面为倾斜过度。具体使用时:液压油缸12推动齿条10,使齿条10在滑槽9内移动,带动齿轮7旋转,使转动轴5带动摆动杆6转动角度,使坩埚模具4来调整角度,摆动杆6通过缓冲弹簧15在弧形槽13内摆动时有缓冲的力,降低齿轮7传动的压力。以上所述,仅是本技术的较佳实施例而已,并非是对本技术作其它形式的限制,任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的
技术实现思路
加以变更或改型为等同变化的等效实施例应用于其它领域,但是凡是未脱离本技术技术方案内容,依据本技术的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型,仍属于本技术技术方案的保护范围。本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种坩埚模具液压油缸转动装置,包括支撑板(1)、连接板(2)、内腔(3)以及坩埚模具(4),所述连接板(2)设置在所述支撑板(1)之间,所述内腔(3)开在所述连接板(2)内,其特征在于,所述坩埚模具(4)与所述支撑板(1)之间设置有摆动结构;/n所述摆动结构,主要包括:转动轴(5)、摆动杆(6)、推动部以及缓冲部;/n所述转动轴(5)活动转动连接在所述支撑板(1)之间,所述摆动杆(6)固定套装在所述转动轴(5)上,所述推动部设置在所述内腔(3)内,所述缓冲部设置在所述支撑板(1)以及摆动杆(6)上。/n

【技术特征摘要】
1.一种坩埚模具液压油缸转动装置,包括支撑板(1)、连接板(2)、内腔(3)以及坩埚模具(4),所述连接板(2)设置在所述支撑板(1)之间,所述内腔(3)开在所述连接板(2)内,其特征在于,所述坩埚模具(4)与所述支撑板(1)之间设置有摆动结构;
所述摆动结构,主要包括:转动轴(5)、摆动杆(6)、推动部以及缓冲部;
所述转动轴(5)活动转动连接在所述支撑板(1)之间,所述摆动杆(6)固定套装在所述转动轴(5)上,所述推动部设置在所述内腔(3)内,所述缓冲部设置在所述支撑板(1)以及摆动杆(6)上。


2.根据权利要求1所述的一种坩埚模具液压油缸转动装置,其特征在于,所述推动部,主要包括:齿轮(7)、固定块(8)、滑槽(9)、齿条(10)、连接块(11)以及液压油缸(12);
所述齿轮(7)设置在所述转动轴(5)一端,固定块(8)设置在所述内腔(3)内,所述滑槽(9)...

【专利技术属性】
技术研发人员:高鹏
申请(专利权)人:天津银鹏发展金属制品有限公司
类型:新型
国别省市:天津;12

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