一种用于铬钛靶材的CrTiLa合金粉末的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种用于铬钛靶材的CrTiLa合金粉的制备方法，通过气雾化方法制备，包括：按一定量比称取Cr粉（纯度99.99%）、Ti粉（纯度99.95%）、La粉（纯度99.9%）；将混合粉放入中频真空感应炉中，在氩气气氛下进行多次熔炼，得到均匀化的CrTiLa合金液；将CrTiLa合金液导入高温气雾化炉，合金液流入雾化室进行气雾化分散，冷却后得到合金粉末；最后将CrTiLa合金粉末进行超声洗涤、干燥、分级筛分后，得到最终合金粉末。通过本发明专利技术专利方案制的合金粉末，粒径细小，平均粒径能达2～30μm，该粉合金粉成分均匀、杂质少、流动性好，满足磁记录介质靶材制备用粉体要求。

【技术实现步骤摘要】
一种用于铬钛靶材的CrTiLa合金粉末的制备方法
本专利技术涉及粉末冶金
，具体而言，涉及一种用于铬钛靶材的CrTiLa合金粉的制备方法。
技术介绍
目前作为实现高记录密度化的方式，垂直磁记录方式已被实用化并且称为主流。而垂直磁记录介质通常为玻璃基板上具有基底层/软磁性衬底层/籽晶层/Ru中间层/CoPtCr-SiO2磁性层/保护层的多层结构，而所述的基底层的一部分形成有CrTi层。垂直磁记录介质的多层结构（包括CrTi层）是通过磁控溅射法成膜而形成的，而溅射源就是所需薄膜组成的靶材，通常用粉末冶金方法制作。然而制备CrTi合金靶材的原料尺寸、形貌、均匀性等直接制约着靶材的品质，单纯的二元系合金靶材如成分不均匀容易形成TiCr2相颗粒，在成膜过程中，这种颗粒附着于所成膜的记录介质上而导致不良品产生，因此有必要进行对原始靶材原料进行改良，提高成膜质量是很有必要的。专利“CN103119186A”公布了CrTi系合金及溅射用靶材、垂直磁记录介质、以及它们的制造方法，通过CrTi粉末在800～1100℃下热成形，然后以144～3本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于铬钛靶材的CrTiLa合金粉的制备方法，其特征在于，所述包括：/n步骤S1：按一定量比称取Cr粉（纯度99.99%）、Ti粉（纯度99.95%）、La粉（纯度99.9%）；/n步骤S2：将步骤S1的Cr粉、Ti粉、La粉放入中频真空感应炉中，在氩气气氛下进行多次熔炼，得到均匀化的CrTiLa合金液；/n步骤S3：将步骤S2的CrTiLa合金液导入高温气雾化炉，合金液流入雾化室进行气雾化分散，冷却后得到合金粉末；/n步骤S4：将步骤S3的合金粉末进行超声洗涤、干燥、分级筛分后，得到最终合金粉末。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于铬钛靶材的CrTiLa合金粉的制备方法，其特征在于，所述包括：
步骤S1：按一定量比称取Cr粉（纯度99.99%）、Ti粉（纯度99.95%）、La粉（纯度99.9%）；
步骤S2：将步骤S1的Cr粉、Ti粉、La粉放入中频真空感应炉中，在氩气气氛下进行多次熔炼，得到均匀化的CrTiLa合金液；
步骤S3：将步骤S2的CrTiLa合金液导入高温气雾化炉，合金液流入雾化室进行气雾化分散，冷却后得到合金粉末；
步骤S4：将步骤S3的合金粉末进行超声洗涤、干燥、分级筛分后，得到最终合金粉末。


2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述的步骤S1称取Cr粉、Ti粉按x:(10-x)称取，其中x的取值范围...

【专利技术属性】
技术研发人员：王永超，居炎鹏，赵泽良，仝红岩，王留土，郑海强，史豪杰，陈耘田，郭利乐，刘占军，李伟，
申请(专利权)人：河南东微电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：河南;41