控制规格界限的制定方法技术

本发明专利技术提供了一种统计过程控制（Ｓｔａｔｉｓｔｉｃａｌ　　Ｐｒｏｃｅｓｓ　　Ｃｏｎｔｒｏｌ，ＳＰＣ）的控制规格界限的制定方法，包含下列步骤ａ）提供一个样本群体；ｂ）从该样本群体中，以拔靴重抽样（Ｂｏｏｔｓｔｒａｐ　　Ｒｅｓａｍｐｌｉｎｇ）方式选取出ｋ组拔靴重抽样样本（Ｂｏｏｔｓｔｒａｐ　　Ｓａｍｐｌｅｓ）群体；ｃ）从该ｋ组拔靴重抽样样本群体，分别求出ｋ组样本平均值与相对标准差；以及ｄ）从该ｋ组样本平均值与相对标准差，求出一控制平均值与一控制标准差，其中所述控制规格界限为该控制平均值与该控制标准差的函数。

Method for setting control specification limits

The invention provides a statistical process control (Statistical Process Control, SPC) methods to establish control specification limits, a) includes the steps of providing a sample group; b) from the sample groups, to bootstrap sampling (Bootstrap Resampling) selected from the K group of bootstrap samples (Bootstrap Samples) group; c) from the K group of bootstrap sample groups were obtained in K group sample mean and relative standard deviation; and D) from the K group of sample mean and relative standard deviation, a control mean value and standard deviation of a control, wherein the control specification limits for the control of average value and standard deviation of the control Function.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术有关 一种应用于统计过程控制的方法，尤指 一种应用于统计过程 控制的。
技术介绍
统计质量管理(Statistical Quality Control, SQC)是一项维持与改善产品质 量的技术，而统计过程控制(Statistical Process Control, SPC)则是其中一项主要 的工具，它着重于制造过程中数据的分析，以判定产品发生变异的原因。所 以统计质量管理包含两个主要部分，统计过程控制与抽样允收标准。统计过 程控制SPC是利用过程操作变量对生产变量或产品的质量变量进行预测性监 控。因此，统计过程控制的利用，可谓起于检测过程异常，确实掌握过程状 态，避免异常发生，最终目的是确保产品的质量符合规格。对于极度讲求质量优良率的晶片生产厂而言，统计过程控制的重要性当 然更为重要。然而在当新产品的初期导入及批量生产，若仍需建立异常监控 机制时，却常因初期导入数据量不足，且晶片测试数据(例如优良率或不良率) 的分配不属于常态分配(Normal Distribution),所以不易订立出测试数据的抽 样允收限制条件。另一方面，当统计过程控制中的数据是非常态分配的数据 时，可能以统计所得的四倍标准差(4cj)取代六倍标准差(60)来定义控制 规格界限，但该作法却常将控制规格界限订立得太过严格，而使得依照该控 制规格界限实际进行控制时，产生过度检验(Overkill)的现象，从而增加失控 状态(Out-of-Control,OOC)比率。另外，由此订立的控制规格界限也可能发生 低灵敏度(Lowsensitivity)的现象，即所订立的控制规格界限太过宽松，无法 筛检出异常数据。为了解决上述问题，现有技术曾以博克斯-卡克斯数据转换(Box-Cox transformation method)的方法来区分影响目标值与变异值的噪声。非常态分 布的数据通过博克斯-卡克斯数据转换可以得到常态分布间的对应数据，如 此便可以获得较为合理的控制规格界限。但利用博克斯-卡克斯数据转换，在幂次转换(power transformation)后的逆转换(inverse)所得到的六倍标准差 (6a)可能会超出原数据域(Domain)而得到不合理的控制上限(Upper Control Limit, UCL)。而且合理的控制上限UCL必须花费相当的时间与精力进行错误 尝试(Try and error)才可以获得。并且具有人为判断的风险。因此，如何研发一种应用于订立统计过程控制的控制规格界限的方法， 以最精简的步骤流程就可以订立合理的控制规格界限，同时避免过度检验或 无法筛检出异常数据的现象发生，这的确是目前相关领域所需积极发展研究 的目标。本专利技术的专利技术人等，精心研究，并根据其从事该项研究领域多年的 经验，提出本专利技术的应用于订立统计过程控制的控制规格界限的方法，通过 引入拔靴重抽样(Bootstrap Resampling)手段，可以有效解决现有技术的问题， 是一项不可多得的专利技术。
技术实现思路
本专利技术的主要目的是提供一种应用于制定统计过程控制的控制规格界限 的方法，通过引入拔靴重抽样的手段，以最精简的步骤流程就可以以少量的 样本数，订立出合理的控制规格界限，同时避免了过度检验或无法筛检出异 常数据的现象发生，解决现有技术的问题。为达到上述目的，本专利技术的一个较广义实施形态为提供一种统计过程控 制的，包含下列步骤a)提供一母群体；b)从该母群 体选取出一样本群体；c)从该样本群体，选取多个样本；d)根据该多个样本， 求出一样本平均值与相对标准差；e)重复步骤c)与步骤d)直到获取k组样本 平均值与相对标准差；以及f)分别求出该k组样本平均值与相对标准差的平 均值，以获的一控制平均值与一控制标准差，其中所述控制规格界限为该控 制平均值与该控制标准差的函数。根据本专利技术构想，其中该控制规格界限用于半导体晶片生产过程控制。 根据本专利技术构想，其中该步骤c)以拔靴重抽样的方式进行。根据本专利技术构想，其中该拔靴重抽样由电子表格的VBA应用程序(Visual Basic for Applications)所冗成。根据本专利技术构想，其中所述控制规格界限为该控制平均值加上六倍的该 控制标准差。根据本专利技术构想，其中该样本群体为特定的晶片的测试数据群体。根据本专利技术构想，其中该样本群体是由测试系统模块所得到的数据样本。根据本专利技术构想，其中该母群体为一非常态分配(Non Normal Distribution)群体。根据本专利技术构想，其中该样本群体为一非常态分配群体。 为达到上述目的，本专利技术的另 一个较广义实施形态为提供一种统计过程 控制的，其步骤则至少包含a)提供一样本群体；b) 从该样本群体，以一拔靱重抽样方式选取出n组拔靴重抽样样本(Bootstrap Samples)群体；c)从该n组拔靴重抽样样本群体，分别求出n组样本平均值与 相对标准差；以及d^人该n组样本平均值与相对标准差，求出一控制平均值 与一控制标准差，其中所述控制规格界限为该控制平均值与该控制标准差的 函数。根据本专利技术构想，其中所述控制规格界限用于半导体晶片生产过程控制。 根据本专利技术构想，其中该拔靴重抽样由电子表格的VBA应用程序所完成。根据本专利技术构想，其中所述控制规格界限为该控制平均值加上六倍的该 控制标准差。根据本专利技术构想，其中该样本群体为特定的晶片的测试数据群体。 根据本专利技术构想，其中该样本群体是由测试系统模块所得到的数据样本。 根据本专利技术构想，其中该控制平均值为所述n组样本平均值的平均。 根据本专利技术构想，其中该控制标准差为所述n组相对标准差的平均。 根据本专利技术构想，其中该样本群体取自 一非常态分配的母群体。 根据本专利技术构想，其中该样本群体为一非常态分配群体。 为达到上述目的，本专利技术的另一较广义实施形态为提供一种应用于半导体 统计过程控制的，其步骤包含将测试机测试后所 得到的晶片测试数据储存在数据存储库;通过使用者接口从该数据存储库取 出一样本群体;利用统计分析引擎对该样本群体进行计算，其中该计算包括下 列步骤:a)从该样本群体，以一拔靴重抽样方式选取出n组拔靴重抽样本群体；b) 从该n组拔靴重抽样样本群体，分别求出n组样本平均值与相对标准差；c) 从该n组样本平均值与相对标准差，求出一控制平均值与一控制标准差； 以及将该控制平均值加上六倍的该控制标准差制定为该控制规格界限。根据本专利技术构想，其中该拔靴重抽样由电子表格的VBA应用程序所完成。根据本专利技术构想，其中该样本群体为特定的晶片的测试数据群体。根据本专利技术构想，其中该控制平均值为所述n组样本平均值的平均。 根据本专利技术构想，其中该控制标准差为所述n组相对标准差的平均。附图说明图1揭示了根据本专利技术优选实施例的统计过程控制的控制规格界限的制 定方法的流^E图。图2揭示了根据本专利技术另 一 实施形态的的示意图。图3揭示了根据本专利技术再一实施形态的示意具体实施例方式体现本专利技术特征与优点的一些典型实施例将在后面的说明中详细叙述。 应当理解的是，本专利技术能够在不同的形态上具有各种的变化，其都不脱离本 专利技术的范围，并且其中的说明及图示在本质上是用作说明，而并非用来限制 本专利技术。请参阅图1,揭示了根据本专利技术优选实施例的较广义实施形态为提供一 种本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种统计过程控制的控制规格界限的制定方法，包含下列步骤：ａ）提供一母群体；ｂ）从该母群体选取出一样本群体；ｃ）从该样本群体，选取多个样本；ｄ）根据该多个样本，求出样本平均值与相对标准差；ｅ）重复步骤ｃ ）与步骤ｄ），直到获取ｋ组样本平均值与相对标准差；以及ｆ）分别求出该ｋ组样本平均值与相对标准差的平均值，以获得一控制平均值与一控制标准差，其中所述控制规格界限为该控制平均值与该控制标准差的函数。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吕建辉，林正淇，张惟富，
申请(专利权)人：力晶半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]