【技术实现步骤摘要】
自动化探针测试台
本专利技术涉及检测设备
,更具体地说涉及一种具有探针的检测设备。
技术介绍
T-103A型手动探针测试台是中国电子科技集团公司第四十五研究所生产的手动探针测试台,它包括探针台显微镜、承片台、X-Y移动平台,其不足之处是:1、它的X-Y移动平台,采用手动调节,调节精度有限。2、它的承片台不能转动,当物料放置在承片台上后,需要手动调节物料到最佳位置,十分麻烦。3、它的探针定位调节不够方便。
技术实现思路
本专利技术的目的就是针对现有技术之不足,而提供一种自动化探针测试台,它采用步进电机驱动承片台X向和Y移动,承片台还可以转动让物料自动调节到合适的位置,它的探针装置绝缘性好,调节方便。本专利技术的技术解决措施如下:自动化探针测试台,包括承片台、探针台显微镜、CCD摄像头和PC机,底座上固定有Y向直线导轨,承片台支架插套在Y向直线导轨上,Y向电机固定在底座上,Y向电机的转轴上固定有Y向丝杆,承片台支架上固定有Y向螺母,Y向丝杆与Y向螺母螺接在一起;承片台支架上固定有X向直线导轨,承片台支座插套在X向直线导轨上,X向电机固定在承片台支架上,X向电机的转轴上固定有X向丝杆,X向丝杆与承片台支座螺接在一起;旋转电机固定在承片台支座上,旋转电机的转轴上螺接固定有承片台;立柱支座固定在底座上,立柱固定在立柱支座上,立柱有两根,探针台板插套在立柱上且压在立柱台阶面上,显微镜台板固定在立柱的顶端,探针台显微镜固定在显微镜台板上,探针台显微镜的镜头与承片台相 ...
【技术保护点】
1.自动化探针测试台,包括承片台(1)、探针台显微镜(2)、CCD摄像头(3)和PC机(4),其特征在于:底座(5)上固定有Y向直线导轨(6),承片台支架(9)插套在Y向直线导轨(6)上,Y向电机(7)固定在底座(5)上,Y向电机(7)的转轴上固定有Y向丝杆(8),承片台支架(9)上固定有Y向螺母(91),Y向丝杆(8)与Y向螺母(91)螺接在一起;/n承片台支架(9)上固定有X向直线导轨(10),承片台支座(11)插套在X向直线导轨(10)上,X向电机(12)固定在承片台支架(9)上,X向电机(12)的转轴上固定有X向丝杆(13),X向丝杆(13)与承片台支座(11)螺接在一起;/n旋转电机(14)固定在承片台支座(11)上,旋转电机(14)的转轴上螺接固定有承片台(1);/n立柱支座(15)固定在底座(5)上,立柱(16)固定在立柱支座(15)上,立柱(16)有两根,探针台板(17)插套在立柱(16)上且压在立柱台阶面(161)上,显微镜台板(18)固定在立柱(16)的顶端,探针台显微镜(2)固定在显微镜台板(18)上,探针台显微镜(2)的镜头与承片台(1)相对;/n探针台板(17 ...
【技术特征摘要】
1.自动化探针测试台,包括承片台(1)、探针台显微镜(2)、CCD摄像头(3)和PC机(4),其特征在于:底座(5)上固定有Y向直线导轨(6),承片台支架(9)插套在Y向直线导轨(6)上,Y向电机(7)固定在底座(5)上,Y向电机(7)的转轴上固定有Y向丝杆(8),承片台支架(9)上固定有Y向螺母(91),Y向丝杆(8)与Y向螺母(91)螺接在一起;
承片台支架(9)上固定有X向直线导轨(10),承片台支座(11)插套在X向直线导轨(10)上,X向电机(12)固定在承片台支架(9)上,X向电机(12)的转轴上固定有X向丝杆(13),X向丝杆(13)与承片台支座(11)螺接在一起;
旋转电机(14)固定在承片台支座(11)上,旋转电机(14)的转轴上螺接固定有承片台(1);
立柱支座(15)固定在底座(5)上,立柱(16)固定在立柱支座(15)上,立柱(16)有两根,探针台板(17)插套在立柱(16)上且压在立柱台阶面(161)上,显微镜台板(18)固定在立柱(16)的顶端,探针台显微镜(2)固定在显微镜台板(18)上,探针台显微镜(2)的镜头与承片台(1)相对;
探针台板(17)上弧形导轨(21),弧形导轨(21)上成型有T型槽(211),探针装置(20)的结构是:滑架(201)插套在T型槽(211)上,紧固螺钉(202)螺接在滑架(201)上且其前端压在弧形导轨(21)上,平移座(203)置于滑架(201)...
【专利技术属性】
技术研发人员:吴建锋,阮越,许森,尉理哲,叶芳芳,徐振宇,江俊,王金铭,
申请(专利权)人:浙江树人学院浙江树人大学,
类型:发明
国别省市:浙江;33
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