一种石墨烯掺杂全柔性磁电异质结及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种石墨烯掺杂全柔性磁电异质结及其制备方法，属于功能复合材料制备技术领域。柔性聚酰亚胺衬底、多层石墨烯薄膜、P(VDF‑TrFE)铁电层、金属铁磁层和钽保护层从下至上依次设置；本发明专利技术的CO

【技术实现步骤摘要】
一种石墨烯掺杂全柔性磁电异质结及其制备方法
本专利技术属于柔性电子器件
，具体涉及一种石墨烯掺杂全柔性磁电异质结的制备方法。
技术介绍
随着半导体工艺和微电子技术的迅猛发展，微型化、多功能化与可调节化成为电子元器件的发展趋势。多铁性材料由于同时具备两种或者两种以上的铁序，包括(反)铁电性、(反)铁磁性和(反)铁弹性，并且不同铁序之间可以相互耦合，从而实现不同序参量之间的相互调控。因此，多铁性材料可以实现力、电、磁等多物理场之间的相互耦合，在小尺寸、快响应和低功耗的磁电器件领域中具有重要的应用前景。近年来在应用需求的推动下，以多铁性材料为基础的磁电器件在结构设计、微纳加工和性能优化等方面都取得了持续进展，包括可调谐电感、滤波器、磁电存储器、能量回收器、磁电传感器和磁电天线等。尽管磁电材料在基础研究和原型器件开发等方面都取得了诸多进展。但是目前大多数的块材磁电器件尺寸大、调控电压大且与半导体工艺难以兼容。而薄膜磁电器件由于衬底的夹持效应导致耦合效应低，严重制约了器件的性能。面对薄膜磁电器件研究中的衬底束缚，导致磁电耦合效应受到衬底极大本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石墨烯掺杂全柔性磁电异质结及其制备方法，其特征在于，包括以下步骤：/n步骤1，采用CO

【技术特征摘要】
1.一种石墨烯掺杂全柔性磁电异质结及其制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1，采用CO2红外激光器碳化柔性衬底，以在柔性衬底表面形成石墨烯薄膜；
步骤2，将70/30或80/20mol％配比的P(VDF-TrFE)聚合物粉末分散于二甲基甲酰胺中，得到PVDF溶液；将PVDF溶液，滴至石墨烯薄膜表面；将得到的P(VDF-TrFE)/石墨烯/PI样品进行预烘，135℃退火形成β相P(VDF-TrFE)；
步骤3，以金属钴铁硼为靶材，采用磁控溅射法在P(VDF-TrFE)铁电层表面进行沉积，形成金属层；
步骤4，以金属钽为靶材，采用磁控溅射法在钴铁硼金属层的表面上进行沉积，形成保护层。


2.根据权利要求1所述一种石墨烯掺杂全柔性磁电异质结的制备方法，其特征在于：步骤1所述CO2红外激光器的工艺参数为：激光电流3.5mA，激光扫描速度100mm/s。


3.根据权利要求1所述一种石墨烯掺杂全柔性磁电异质结的制备方法，其特征在于：步骤2所述预烘的条件为：80℃预烘至溶剂完全蒸发。


4.根据权利要求1所述一种石墨烯掺杂全柔性磁电异质结的制备方法，其特征在于：步骤3所述金属钴铁硼为Co40Fe40B20合...

【专利技术属性】
技术研发人员：文丹丹，陈霞，骆大森，黎人溥，崔巍，邸克，刘宇，
申请(专利权)人：重庆邮电大学，
类型：发明
国别省市：重庆;50