一种晶圆包装盒的缠胶带装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种晶圆包装盒的缠胶带装置，包括整体机架、工件支撑旋转传输装置、胶带固定装置、胶带旋转驱动装置、压紧装置、活动机架、升降装置、悬臂装置和胶带取头贴胶装置，升降装置固定在整体机架上，活动机架安装在升降装置的活动端，升降装置驱动活动机架在竖直方向做直线运动；工件支撑旋转传输装置用于固定支撑晶圆包装盒并带动晶圆包装盒的旋转，工件支撑旋转传输装置固定在整体机架上；胶带固定装置、胶带旋转驱动装置、压紧装置、悬臂装置均安装在活动机架上，胶带取头贴胶装置安装在悬臂装置上；本发明专利技术能够实现晶圆包装盒包装袋的自动缠绕胶带的工作，缠胶带效率高，整个过程全自动化进行，降低了人工成本。降低了人工成本。降低了人工成本。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆包装盒的缠胶带装置


[0001]本专利技术涉及晶圆包装盒包装领域，更具体的说，尤其涉及一种晶圆包装盒的缠胶带装置。

技术介绍

[0002]晶圆指的是硅半导体集成电路所制成的硅芯片，由于其形状为圆形，故被称为晶圆，晶圆是生产集成电路所用的载体，一般意义上的晶圆基本上指的是单晶硅圆片，单晶归元片由普通硅砂垃制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一些列错失后支撑单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后就成了晶圆。随着集成电路制造技术的不断发展，芯片特征尺寸越来越小，互连层数越来越多，晶圆直径也不断增加，要实现多层布线，晶圆表面必须具有极高的平整度、光滑度和清洁度，而为了实现晶圆表面的平整度、光滑度和清洁度，其运输过程中必然不能像普通设备一样随意包装，因此采用专用的晶圆包装盒就显得尤为必要。
[0003]晶圆包装盒，又被称为FOSB(Front Opening Shipping Box)，全称前开式晶圆包装盒，可保护、运输并存储晶圆，防止晶圆在运输的过程中发生摩擦或碰撞，为晶圆运输传输及储存时提供安全防护。晶圆包装盒的气密度很好，能够有效防止物质的产生。
[0004]现有的晶圆包装盒在存储运输前都需要进行包装操作，目前的晶圆包装基本都采用人工包装，整个包装过程包括包装袋整形并放入晶圆包装盒、对包装袋进行热真空热封、包装袋再整形、包装袋表面缠绕胶带和贴标签这五个步骤，这些步骤若是人工手动包装效率十分缓慢，且包装精度不一样，其中包装袋表面缠绕胶带是其中一个尤为耗时的步骤，且缠胶带操作由于晶圆包装盒侧面的形状比较复杂，难以采用自动化的方式进行包装，这一步骤现阶段基本采用人工手动完成，生产效率低，自动化程度低，无法适应如今自动化生产的需求。
[0005]针对晶圆包装盒的包装袋表面缠绕胶带工序自动化程度不高的主要原因就在于胶带的胶带头太难找，胶带往往仅在开头时具有一个胶带头，而在用过一段时间后，则需要手动找胶带头，这一过程非常困难，很难通过自动化设备来实现，而若是通过人工来实现又非常耗时，每次进行包装都要重新找胶带头，给自动化包装带来极大的麻烦。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的在于解决现有的晶圆包装盒的包装袋表面缠绕胶带工序自动化程度不高，胶带头难找的问题，提出了一种晶圆包装盒的缠胶带装置，能够自动实现晶圆包装盒的包装袋表面的胶带缠绕工作，工作效率高，且能够自动找胶带头，方便整个胶带缠绕工作的进行。
[0007]本专利技术通过以下技术方案来实现上述目的：一种晶圆包装盒的缠胶带装置，包括整体机架、工件支撑旋转传输装置、胶带固定装置、胶带旋转驱动装置、压紧装置、活动机架、升降装置、悬臂装置和胶带取头贴胶装置，所述升降装置固定在整体机架上，活动机架安装在升降装置的活动端，升降装置驱动活动机架在竖直方向做直线运动；所述工件支撑
旋转传输装置用于固定支撑套袋整形后的晶圆包装盒并带动晶圆包装盒的旋转，工件支撑旋转传输装置固定在活动机架旁的整体机架上；所述胶带固定装置、胶带旋转驱动装置、压紧装置、悬臂装置均安装在活动机架上，胶带取头贴胶装置安装在悬臂装置上；
[0008]所述悬臂装置包括悬臂梁底座、悬臂梁轴承座、悬臂梁旋转轴、悬臂直线模组、悬臂转动气缸和悬臂气缸座，所述悬臂梁旋转轴竖直设置，悬臂梁旋转轴的下端通过悬臂梁轴承座安装在活动机架上，悬臂梁旋转轴的上端通过另一个悬臂梁轴承座安装在悬臂梁底座的一端，悬臂直线模组水平安装在悬臂梁底座上；所述悬臂转动气缸水平设置，悬臂转动气缸的固定端通过悬臂气缸座固定在活动机架上，悬臂转动气缸的固定端铰接在悬臂气缸座上，悬臂转动气缸的活动端铰接在所述悬臂梁底座的中部；所述悬臂转动气缸工作时带动悬臂梁底座和悬臂梁轴承座组成的整体绕着悬臂梁旋转轴在水平方向上转动；
[0009]所述胶带取头贴胶装置安装在悬臂装置的悬臂直线模组的滑块上；所述胶带取头贴胶装置包括旋转底座、底座旋转驱动电机、半圆导向侧板、底部支撑板、压块气缸、胶带压块、取胶头气缸、第一胶头连接块、第二胶头连接块、胶头推板、刀片气缸、剪刀刀片、光电传感器和胶带限位滚轮，所述底座旋转驱动电机竖直设置且底座旋转驱动电机固定在悬臂装置的悬臂直线模组的滑块上，旋转底座设置在底座旋转驱动电机正上方且旋转底座底部与底座旋转驱动电机的输出轴固定连接，底座旋转驱动电机转动时驱动旋转底座的转动；所述旋转底座上表面的一侧固定整体呈半圆形环绕的半圆导向侧板，旋转底座上表面的另一侧固定底部支撑板，所述刀片气缸、取胶头气缸和压块气缸并列安装在底部支撑板上且取胶头气缸和半圆导向侧板分别设置在压块气缸的左右两侧，剪刀刀片连接在刀片气缸的输出端，胶带压块连接在压块气缸的输出端，胶头推板设置在取胶头气缸的输出端；所述胶带限位滚轮和第一胶头连接块均固定在底部支撑板上，刀片气缸推动剪刀刀片伸出时胶带限位滚轮和第一胶头连接块分别位于剪刀刀片的两侧；所述第一胶头连接块设置在胶头推板的正前方，所述第二胶头连接块包括连接背板、两块胶带挡板和两块连接侧板，连接背板与两块胶带挡板平行设置，两块胶带挡板通过两块连接侧板固定在连接背板上；所述第二胶头连接块的连接背板固定在第一胶头连接块上，第一胶头连接块和第二胶头连接块的连接背板上均设置有供胶头推板通过的横向通孔，第二胶头连接块的连接背板与胶带挡板间设置有容纳胶带穿过的穿胶带通道；两块胶带挡板中部设置有中部窄两端宽的夹缝，夹缝的最大宽度大于胶带宽度且夹缝的最小宽度小于胶带宽度，胶带进入第二胶头连接块的穿胶带通道后，取胶头气缸推动胶头推板穿过第一胶头连接块和第二胶头连接块上的横向通孔并将胶带压紧在第二胶头连接块的胶带挡板内侧；所述光电传感器安装在刀片气缸和取胶头气缸之间且光电传感器正对的方向为刀片气缸和取胶头气缸的活塞杆伸出方向；
[0010]所述压紧装置包括压紧底座、压紧导轨、压紧滑板、压紧气缸、压紧上盖板、压紧轮、压紧限位块和压紧定位片，所述压紧底座固定在活动机架上，压紧上盖板固定在压紧底座上；所述压紧导轨固定在压紧底座上且压紧导轨的轴线垂直于晶圆包装盒的正面，压紧滑板底部设置有与压紧导轨相配合的导向槽，压紧滑板通过底部的导向槽套装在压紧导轨上；所述压紧轮的轴线竖直设置且压紧轮固定在压紧滑板靠近晶圆包装盒的一端，压紧定位片固定在靠近压紧轮的压紧滑板上，所述压紧定位片上设置有供压紧气缸的活塞杆穿过的槽孔；所述压紧气缸平行于压紧导轨设置且压紧气缸固定在压紧上盖板上，压紧气缸的活塞杆上设置有压紧限位块，压紧气缸的活塞杆穿过压紧定位片上的槽孔后通过压紧限位
块推动压紧定位片的运动进而带动压紧滑板和压紧轮组成的整体向晶圆包装盒方向运动；
[0011]所述胶带固定装置包括气动三爪卡盘、卡盘驱动气缸、旋转进气轴、胶带旋转从动轮、从动轮安装座和集气环，所述气动三抓卡盘固定在卡盘驱动气缸的输出端，卡盘驱动气缸底部固定在竖直设置的旋转进气轴的顶端，所述旋转进气轴通过两个轴承座安装在从动轮安装座上，胶带旋转从动轮固定在旋转进气轴上且胶带旋转从动轮设置在支撑旋转进气轴的两个轴承座之间；所述从动轮安装座固定在活动机架上，所述集气本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆包装盒的缠胶带装置，其特征在于：包括整体机架(2)、工件支撑旋转传输装置(3)、胶带固定装置(4)、胶带旋转驱动装置(5)、压紧装置(6)、活动机架(7)、升降装置(8)、悬臂装置(9)和胶带取头贴胶装置(10)，所述升降装置(8)固定在整体机架(2)上，活动机架(7)安装在升降装置(8)的活动端，升降装置(8)驱动活动机架(7)在竖直方向做直线运动；所述工件支撑旋转传输装置(3)用于固定支撑套袋整形后的晶圆包装盒(1)并带动晶圆包装盒(1)的旋转，工件支撑旋转传输装置(3)固定在活动机架(7)旁的整体机架(2)上；所述胶带固定装置(4)、胶带旋转驱动装置(5)、压紧装置(6)、悬臂装置(9)均安装在活动机架(7)上，胶带取头贴胶装置(10)安装在悬臂装置(9)上；所述悬臂装置(9)包括悬臂梁底座(91)、悬臂梁轴承座(92)、悬臂梁旋转轴(93)、悬臂直线模组(94)、悬臂转动气缸(95)和悬臂气缸座(96)，所述悬臂梁旋转轴(93)竖直设置，悬臂梁旋转轴(93)的下端通过悬臂梁轴承座(92)安装在活动机架(7)上，悬臂梁旋转轴(93)的上端通过另一个悬臂梁轴承座(92)安装在悬臂梁底座(91)的一端，悬臂直线模组(94)水平安装在悬臂梁底座(91)上；所述悬臂转动气缸(95)水平设置，悬臂转动气缸(95)的固定端通过悬臂气缸座(96)固定在活动机架(7)上，悬臂转动气缸(95)的固定端铰接在悬臂气缸座(96)上，悬臂转动气缸(95)的活动端铰接在所述悬臂梁底座(91)的中部；所述悬臂转动气缸(95)工作时带动悬臂梁底座(91)和悬臂梁轴承座(92)组成的整体绕着悬臂梁旋转轴(93)在水平方向上转动；所述胶带取头贴胶装置(10)安装在悬臂装置(9)的悬臂直线模组(94)的滑块上；所述胶带取头贴胶装置(10)包括旋转底座(101)、底座旋转驱动电机(102)、半圆导向侧板(103)、底部支撑板(104)、压块气缸(105)、胶带压块(106)、取胶头气缸(107)、第一胶头连接块(108)、第二胶头连接块(109)、胶头推板(110)、刀片气缸(111)、剪刀刀片(112)、光电传感器(114)和胶带限位滚轮(113)，所述底座旋转驱动电机(102)竖直设置且底座旋转驱动电机(102)固定在悬臂装置(9)的悬臂直线模组(94)的滑块上，旋转底座(101)设置在底座旋转驱动电机(102)正上方且旋转底座(101)底部与底座旋转驱动电机(102)的输出轴固定连接，底座旋转驱动电机(102)转动时驱动旋转底座(101)的转动；所述旋转底座(101)上表面的一侧固定整体呈半圆形环绕的半圆导向侧板(103)，旋转底座(101)上表面的另一侧固定底部支撑板(104)，所述刀片气缸(111)、取胶头气缸(107)和压块气缸(105)并列安装在底部支撑板(104)上且取胶头气缸(107)和半圆导向侧板(103)分别设置在压块气缸(105)的左右两侧，剪刀刀片(112)连接在刀片气缸(111)的输出端，胶带压块(106)连接在压块气缸(105)的输出端，胶头推板(110)设置在取胶头气缸(107)的输出端；所述胶带限位滚轮(113)和第一胶头连接块(108)均固定在底部支撑板(104)上，刀片气缸(111)推动剪刀刀片(112)伸出时胶带限位滚轮(113)和第一胶头连接块(108)分别位于剪刀刀片(112)的两侧；所述第一胶头连接块(108)设置在胶头推板(110)的正前方，所述第二胶头连接块(109)包括连接背板、两块胶带挡板和两块连接侧板，连接背板与两块胶带挡板平行设置，两块胶带挡板通过两块连接侧板固定在连接背板上；所述第二胶头连接块(109)的连接背板固定在第一胶头连接块(108)上，第一胶头连接块(108)和第二胶头连接块(109)的连接背板上均设置有供胶头推板(110)通过的横向通孔，第二胶头连接块(109)的连接背板与胶带挡板间设置有容纳胶带穿过的穿胶带通道；两块胶带挡板中部设置有中部窄两端宽的夹缝，夹缝的最大宽度大于胶带宽度且夹缝的最小宽度小于胶带宽度，胶带进入第二胶头连
接块(109)的穿胶带通道后，取胶头气缸(107)推动胶头推板(110)穿过第一胶头连接块(108)和第二胶头连接块(109)上的横向通孔并将胶带压紧在第二胶头连接块(109)的胶带挡板内侧；所述光电传感器(114)安装在刀片气缸(111)和取胶头气缸(107)之间且光电传感器(114)正对的方向为刀片气缸(111)和取胶头气缸(107)的活塞杆伸出方向；所述压紧装置(6)包括压紧底座(61)、压紧导轨(62)、压紧滑板(63)、压紧气缸(64)、压紧上盖板(65)、压紧轮(66)、压紧限位块(67)和压紧定位片(68)，所述压紧底座(61)固定在活动机架(7)上，压紧上盖板(65)固定在压紧底座(61)上；所述压紧导轨(62)固定在压紧底座(61)上且压紧导轨(62)的轴线垂直于晶圆包装盒(1)的正面，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王迪杏，计时鸣，
申请(专利权)人：无锡迪渊特科技有限公司，
类型：发明
国别省市：