液体喷射头以及液体喷射装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种对在振动板上产生裂纹的情况进行抑制从而提高可靠性的液体喷射头以及液体喷射装置。液体喷射头具备形成有压力室(12)的流道形成基板(10)、振动板(50)和压电致动器(300)，压电致动器(300)具备通过第一电极(60)和第二电极(80)而夹持着压电体层(70)的能动部(310)，能动部(310)在俯视观察时与压力室(12)的至少一部分重叠，且被延伸设置至与压力室(12)相比靠外侧，压力室(12)被形成为，与流道形成基板(10)和振动板(50)的层压方向相交叉的方向上的宽度随着在层压方向上越接近压电致动器(300)而变得越窄。压电致动器(300)而变得越窄。压电致动器(300)而变得越窄。

【技术实现步骤摘要】
液体喷射头以及液体喷射装置


[0001]本专利技术涉及一种从喷嘴喷射液体的液体喷射头以及液体喷射装置，特别是涉及一种作为液体而喷射油墨的喷墨式记录头以及喷墨式记录系统。

技术介绍

[0002]关于喷射油墨的喷墨式记录头，已知一种在形成有压力室的流道形成基板上设置振动板，且在振动板上设置了压电致动器的记录头。关于压电致动器，已知一种通过从振动板侧层压第一电极、压电体层以及第二电极而被形成的压电致动器。
[0003]作为压电致动器的一个方式，已知一种在振动板上的与压力室对置的区域(以下，可动区域)内设置压电致动器的能动部，且将该能动部延伸设置至可动区域的外侧(与压力室相比靠外侧)的压电致动器(例如，参照专利文献1)。
[0004]但是，由于上述结构的电致动器在与压力室相比靠外侧处还设置有能动部，因此虽然能够增大振动板的位移量，但是却有可能在振动板的端部产生裂纹。
[0005]另外，这样的问题不仅存在于喷墨式记录头中，也同样存于对除了油墨以外的液体进行喷射的液体喷射头中。
[0006]专利文献1：日本特开2010-20本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液体喷射头，其特征在于，具备：流道形成基板，其形成了与喷嘴连通的压力室；振动板，其被形成在所述流道形成基板的一面侧；压电致动器，其具备被形成在所述振动板的与所述流道形成基板为相反面侧的第一电极、压电体层以及第二电极，所述压电致动器具备能动部，所述能动部通过所述第一电极和所述第二电极而夹持着所述压电体层，在俯视观察时，所述能动部与所述压力室的至少一部分重叠，且被延伸设置至与所述压力室相比靠外侧，所述压力室被形成为，与所述流道形成基板和所述振动板的层压方向相交叉的方向上的宽度随着在所述层压方向上越接近所述压电致动器而变得越窄。2.如权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，所述压力室由被形成于所述流道形成基板上的隔壁和所述振动板而划分形成，在所述压力室的所述振动板与所述隔壁的边界处形成有曲面。3.如权利要求2所述的液体喷射头，其特征在于，所述曲面的曲率半径为10nm以上且1000nm以下。4.如权利要求2或者权利要求3所述的液体喷射头，其特征在于，所述曲面的至少一部分在所述层压方向上被设置在所述隔壁的所述压电致动器侧。5.如权利要求2所述的液体喷射头，其特征在于，所述曲面的至少一部分在所述层压方向上被设置在所述振动板的所述隔壁侧。6.如权利要求5所述的液体喷射头，其特征在于，在所述层压方向上在与所述隔壁重叠的位置处，设置有所述振动板的所述曲面的至少一部分。7.如权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，在所述压力室的内表面上形成有非晶膜，在所述振动板上，...

【专利技术属性】
技术研发人员：古池晴信，中山雅夫，清水稔弘，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：