一种石英晶片表面污染物识别检测装置制造方法及图纸

技术编号:27566561 阅读:13 留言:0更新日期:2021-03-09 22:11
本实用新型专利技术公开了一种石英晶片表面污染物识别检测装置,涉及生产检测设备技术领域。包括机架、机槽、皮带输送机、图像检测组件及工业机械臂,所述机槽固定安装于机架上,所述皮带输送机固定安装于机槽内,且皮带输送机的输送带上画印有圈定区。该石英晶片表面污染物识别检测装置,将晶片置于皮带输送机输送带上的圈定区内,通过皮带输送机将晶片向图像检测组件的方向输送,当工业高清面阵相机采集到晶片表面污染物的情况时反馈给后台计算机,从后台计算机储存的标准图像进行对比分析,确定晶片是否合格,若判定不合格时,后台计算机反馈信号至PLC电控柜,由PLC电控柜控制工业机械臂将不合格的晶片从皮带输送机的输送带上剔除。不合格的晶片从皮带输送机的输送带上剔除。不合格的晶片从皮带输送机的输送带上剔除。

【技术实现步骤摘要】
一种石英晶片表面污染物识别检测装置


[0001]本技术涉及生产检测出设备
,具体为一种石英晶片表面污染物识别检测装置。

技术介绍

[0002]石英晶体是硅石的一种,是目前世界上用量最大的晶体,利用石英晶体本身的物理特性制作的电子元件,具有很高的频率稳定性,广泛用于数字电路、计算机、通讯等领域,它的作用就是在电子线路中作为频率源或频率基准,随着通讯、电子技术的发展,对石英晶片的需求量也相应大幅度上升,石英晶片在晶片分频后需要进行外观的检测,外观检测的目的是剔除崩边、亮点、表面污染等影响晶体电性能的缺陷。
[0003]传统的外观测试采用人工放大镜方式肉眼观察,检测速度慢、判断有误差,工作效率低。

技术实现思路

[0004]本技术提供了一种石英晶片表面污染物识别检测装置,具备自动化识别、识别快、自动剔除不良品、作业效率高的优点,以解决现有的采用人工放大镜方式肉眼观察,检测速度慢、判断有误差,工作效率低的问题。
[0005]为实现自动化识别、识别快、自动剔除不良品、作业效率高的目的,本技术提供如下技术方案:一种石英晶片表面污染物识别检测装置,包括机架、机槽、皮带输送机、图像检测组件及工业机械臂,所述机槽固定安装于机架上,所述皮带输送机固定安装于机槽内,且皮带输送机的输送带上画印有圈定区,所述图像检测组件与工业机械臂依次固定安装于机槽的台面上。
[0006]作为本技术的一种优选技术方案,所述机架的底端横梁上固定安装有PLC电控柜,所述皮带输送机、图像检测组件及工业机械臂均与PLC电控柜电性连接。
[0007]作为本技术的一种优选技术方案,所述图像检测组件包括支架、安装板、工业高清面阵相机及电动推杆,所述安装板活动安装于支架上,所述工业高清面阵相机嵌装于安装板上,所述电动推杆固定安装于支架的顶部,且其输出端与工业高清面阵相机相连接。
[0008]作为本技术的一种优选技术方案,所述工业高清面阵相机的镜头对到圈定区上,所述圈定区呈等距均匀分布于皮带输送机的输送带上。
[0009]作为本技术的一种优选技术方案,所述电动推杆与PLC电控柜电性连接,所述工业高清面阵相机通过外接后台屏显处理系统。
[0010]作为本技术的一种优选技术方案,所述安装板的前后两侧嵌装有导柱,所述支架的前后两侧设有条形槽,所述导柱穿出条形槽外。
[0011]与现有技术相比,本技术提供了一种石英晶片表面污染物识别检测装置,具备以下有益效果:
[0012]1、该石英晶片表面污染物识别检测装置,将晶片置于皮带输送机输送带上的圈定
区内,通过皮带输送机将晶片向图像检测组件的方向输送,当工业高清面阵相机采集到晶片表面污染物的情况时反馈给后台计算机,从后台计算机储存的标准图像进行对比分析,确定晶片是否合格,若判定不合格时,后台计算机反馈信号至PLC电控柜,由PLC电控柜控制工业机械臂将不合格的晶片从皮带输送机的输送带上剔除。
[0013]2、该石英晶片表面污染物识别检测装置,通过PLC电控柜控制电动推杆,带动工业高清面阵相机向上或向下移动其位置,从而可根据工业高清面阵相机的视焦进行调整,以配合工业高清面阵相机提高清晰的分辨率。
附图说明
[0014]图1为本技术的结构示意图;
[0015]图2为本技术的局部俯视图;
[0016]图3为本技术的图像检测组件结构示意图。
[0017]图中:1、机架;2、机槽;3、皮带输送机;4、图像检测组件;5、工业机械臂;6、圈定区;7、PLC电控柜;8、支架;9、安装板;10、工业高清面阵相机;11、电动推杆;12、导柱;13、条形槽。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1-图3,本技术公开了一种石英晶片表面污染物识别检测装置,包括机架1、机槽2、皮带输送机3、图像检测组件4及工业机械臂5,所述机槽2固定安装于机架1上,所述皮带输送机3固定安装于机槽2内,且皮带输送机3的输送带上画印有圈定区6,将晶片置于皮带输送机3输送带上的圈定区6内,通过皮带输送机3将晶片向图像检测组件4的方向输送,当工业高清面阵相机10采集到晶片表面污染物的情况时反馈给后台计算机,从后台计算机储存的标准图像进行对比分析,确定晶片是否合格,若判定不合格时,后台计算机反馈信号至PLC电控柜7,由PLC电控柜7控制工业机械臂5将不合格的晶片从皮带输送机3的输送带上剔除,所述图像检测组件4与工业机械臂5依次固定安装于机槽2的台面上,通过PLC电控柜7控制电动推杆11,带动工业高清面阵相机10向上或向下移动其位置,从而可根据工业高清面阵相机10的视焦进行调整,以配合工业高清面阵相机10提高清晰的分辨率。
[0020]具体的,所述机架1的底端横梁上固定安装有PLC电控柜7,所述皮带输送机3、图像检测组件4及工业机械臂5均与PLC电控柜7电性连接。
[0021]本实施方案中,通过PLC电控柜7来控制皮带输送机3、图像检测组件4及工业机械臂5,皮带输送机3可设定输送速率在2-8cm/min之间。
[0022]具体的,所述图像检测组件4包括支架8、安装板9、工业高清面阵相机10及电动推杆11,所述安装板9活动安装于支架8上,所述工业高清面阵相机10嵌装于安装板9上,所述电动推杆11固定安装于支架8的顶部,且其输出端与工业高清面阵相机10相连接。
[0023]本实施方案中,当工业高清面阵相机10采集到晶片表面污染物的情况时反馈给后
台计算机,从后台计算机储存的标准图像进行对比分析,确定晶片是否合格。
[0024]具体的,所述工业高清面阵相机10的镜头对到圈定区6上,所述圈定区6呈等距均匀分布于皮带输送机3的输送带上。
[0025]本实施方案中,使置于皮带输送机3输送带上的圈定区6内的晶片能够被工业高清面阵相机10的镜头捕捉到。
[0026]具体的,所述电动推杆11与PLC电控柜7电性连接,所述工业高清面阵相机10通过外接后台屏显处理系统。
[0027]本实施方案中,通过PLC电控柜7控制电动推杆11,带动工业高清面阵相机10向上或向下移动其位置,从而可根据工业高清面阵相机10的视焦进行调整,电动推杆11的型号为DTIA500,工业高清面阵相机10的型号为MV-CE003-20GM。
[0028]具体的,所述安装板9的前后两侧嵌装有导柱12,所述支架8的前后两侧设有条形槽13,所述导柱12穿出条形槽13外。
[0029]本实施方案中,安装板9通过导柱12和条形槽13与支架8活动连接,在工业高清面阵相机10向上或向下移动其本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英晶片表面污染物识别检测装置,包括机架(1)、机槽(2)、皮带输送机(3)、图像检测组件(4)及工业机械臂(5),其特征在于:所述机槽(2)固定安装于机架(1)上,所述皮带输送机(3)固定安装于机槽(2)内,且皮带输送机(3)的输送带上画印有圈定区(6),所述图像检测组件(4)与工业机械臂(5)依次固定安装于机槽(2)的台面上。2.根据权利要求1所述的一种石英晶片表面污染物识别检测装置,其特征在于:所述机架(1)的底端横梁上固定安装有PLC电控柜(7),所述皮带输送机(3)、图像检测组件(4)及工业机械臂(5)均与PLC电控柜(7)电性连接。3.根据权利要求1所述的一种石英晶片表面污染物识别检测装置,其特征在于:所述图像检测组件(4)包括支架(8)、安装板(9)、工业高清面阵相机(10)及电动推杆(11),所述安装板(9)...

【专利技术属性】
技术研发人员:张斌郑宝春郑宝生
申请(专利权)人:浙江蓝晶芯微电子有限公司
类型:新型
国别省市:

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