一种气体吸附柱再生的方法、装置及尾气回收系统制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种气体吸附柱再生的方法，包括：将经过吸附柱净化处理后得到的部分净化气作为用于使吸附柱再生的再生气，将再生气与经过吸附柱再生处理后得到的再生废气进行换热；将换热后的再生气加热到工艺要求的温度后，输入至吸附柱内对吸附柱再生处理，排出后变成再生废气；将经过换热后的再生废气经管道排出至再生废气回收系统。本发明专利技术还提供相应的装置及系统。本发明专利技术所述的气体吸附柱再生的方法、装置及尾气回收系统，通过对再生气加热后输入吸附柱对吸附柱进行升温，使整个吸附柱内温度场分布均匀，并通过热交换器使再生废气的热能被回收利用，降低能量消耗；同时使用冷净化气对吸附柱降温，提高了系统的安全稳定性。提高了系统的安全稳定性。提高了系统的安全稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种气体吸附柱再生的方法、装置及尾气回收系统


[0001]本专利技术涉及化工气体回收及多晶硅生产
，具体涉及一种气体吸附柱再生的方法、一种气体吸附柱再生的装置，以及一种尾气回收系统。

技术介绍

[0002]目前，国内多晶硅生产系统中制备多晶硅的工艺主要采用的是改良西门子法，该工艺是将三氯氢硅和氢气通入到还原炉内，在1100℃的硅芯上反应沉积多晶硅。从还原炉出来的还原尾气进入尾气回收系统，尾气回收系统主要回收的物料有氢气、氯化氢及氯硅烷，采用的工艺是干法尾气回收，具体为经过四级冷却处理后将气相与氯硅烷液相分离开来，其中气相进入吸收塔，用来自解析塔的贫液氯硅烷吸收氢气中的氯化氢杂质，再经过吸附柱净化后返回到多晶硅还原工序继续生产多晶硅；液相进入解析塔分离轻组分以得到贫液氯硅烷，再将贫液氯硅烷送至吸收塔吸收氯化氢杂质。经干法尾气回收工艺分离出来的氢气、氯化氢及氯硅烷分别送往上下游工序使用，实现了还原尾气从敞开式生产发展到闭式循环。
[0003]在尾气回收系统的生产过程中实现了多晶硅生产闭式循环，达到了回收物料，降低生产成本的目的。其中尾本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体吸附柱再生的方法，其特征在于，包括：将经过吸附柱净化处理后得到的部分净化气作为用于使吸附柱再生的再生气，并将所述再生气与经过吸附柱再生处理后得到的再生废气进行换热；将经过换热后的再生气加热到工艺要求的温度后，输入至吸附柱内对吸附柱进行再生处理，并从吸附柱排出后变成再生废气；将经过吸附柱再生处理后得到的并经过换热后的再生废气经管道排出至再生废气回收系统。2.根据权利要求1所述的气体吸附柱再生的方法，其特征在于，所述吸附柱进行净化处理的步骤包括：将待净化气体从吸附柱的底部充入吸附柱内，从下往上穿过吸附柱内的吸附剂，并从吸附柱的顶部输出纯净的净化气，所述净化气为氢气；从吸附柱顶部输出的净化气被分成三部分，其中第一部分净化气直接输出至下一道工序，第二部分净化气作为用于使吸附柱再生的再生气，第三部分净化气作为用于给吸附柱降温及充压的冷净化气。3.根据权利要求2所述的气体吸附柱再生的方法，其特征在于，所述再生气的流量控制在净化气总量的25％-35％之间；进入吸附柱前的再生气温度控制在200℃以上。4.根据权利要求2所述的气体吸附柱再生的方法，其特征在于，所述加热到工艺要求的温度后的再生气输入至吸附柱内对吸附柱进行再生处理后，还包括：对再生完成后的吸附柱进行降温及充压，以使其转为备用状态；所述降温过程包括：在吸附柱再生完成后停止加热所述再生气及停止向吸附柱内输入所述再生气，然后向吸附柱内输入所述冷净化气，以通过所述冷净化气对吸附柱进行降温；所述充压过程包括：当吸附柱的温度降至70℃以下时，关闭吸附柱的气体出口，并使用所述冷净化气对吸附柱进行充压。5.根据权利要求1所述的气体吸附柱再生的方法，其特征在于，所述将所述再生气与经过吸附柱再生处理后得到的再生废气进行换热具体包括：所述再生气与经过吸附柱再生处理后得到的再生废气进行换热后，所述再生气的温度从常温提高至40℃以上，所述再生废气的温度由70-90℃降低至50℃以下。6.根据权利要求1所述的气体吸附柱再生的方法，其特征在于，所述加热到工艺要求的温度后的再生气输入至吸附柱内对吸附柱进行再生处理时，吸附柱内的压力控制在0.08-0.15MpaG之间。7.一种气体吸附柱再生的装置，其特征在于，包括：吸附柱、热能综合利用换热器、再生气加热器；所述吸附柱的数量至少为2个，各吸附柱并联；所述吸附柱的底部具有待净化气体入口和再生废气出口，顶部具有净化气出口和再生气入口；所述热能综合利用换热器上设置有再生气入口和对应的再生气出口，以及再生废气入口和对应的再生废气出口；所述再生气加热器上设置有再生气入口和再生气出口；输送待净化尾气的管道与吸附柱底部的待净化气体入口连接，吸附柱的顶部的净化气
出口通过管道和热能综合利用换热器的再生气入口连接；热能综合利用换热器的再生气出口通过管道和再生气加热器的再生气入口连接，再生气加热器的再生气出口通过管道和吸附柱顶部的再生气入口连接；吸附柱底部的再生废气出口通过管道与热能综合利用换热器的再生废气入口连接，热能综合利用换热器的再生废气出口通过管道和再生废气回收系统连接；热能综合利用换热器用于，将用于使吸附柱再生的再生气与经过吸附柱再生处理后得到的再生废气进行换热；其中，所述再生气为经过吸附柱净化处理后得到的部分净化气；再生气加热器用于，将经过换热后的再生气加热到工艺要求的温度后输入至吸附柱内；所述吸附柱用于，利用加热到工艺要求的温度后的再生气进行再生处理，并排出再生废气，以及将排出的再生废气经管道输出至热能综合利用换热器；热能综合利用换热器还用于，将经过换热后的所述再生废气经管道输出至再生废气回收系统。8.根据权利要求7所述的气体吸附柱再生的装置，其特征在于，所述装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘帅，苏明，何超，叶冬梅，孙荣义，陈朝霞，
申请(专利权)人：新特能源股份有限公司，
类型：发明
国别省市：