一种双阀盖真空挡板阀制造技术

本实用新型专利技术提供了一种双阀盖真空挡板阀，属于高真空挡板阀领域。该双阀盖真空挡板阀，包括阀体和密封组件。所述阀体下端开设有出气口，所述阀体侧壁开设有进气口。所述第一阀盖覆盖于所述出气口上端面，所述第二阀盖与所述驱动件活动端固定连接，所述第一阀盖通过伸缩杆与所述驱动件活动端固定连接；在拉动第二阀盖时，需要克服的气压较小，当第一阀盖两侧的气压平衡后，驱动件才会拉动第一阀盖，所以只需要采用小功率的驱动机构即可打开出气口。小功率的驱动机构成本低，体积也必然更小，使得双阀盖真空挡板阀的占用空间变小，由此便降低了双阀盖真空挡板阀对安装位置的要求，使其更加方便进行安装和使用。加方便进行安装和使用。加方便进行安装和使用。

【技术实现步骤摘要】
一种双阀盖真空挡板阀


[0001]本技术涉及高真空挡板阀领域，具体而言，涉及一种双阀盖真空挡板阀。

技术介绍

[0002]目前，高真空挡板阀用于接通或切断真空管路中的气流。适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体。高真空挡板阀按轴封结构可分GD-J型橡胶轴封和GD-J(b)型波纹管轴封两种。按通导形式可分GD-J为角通型式，GD-S为带预抽口的三通型式；
[0003]大部分真空镀膜设备的粗真空管道，由于受到两侧气压差的缘故，在开启的瞬间则会产生高速气流，并致使腔壁膜层脱落并附着在被镀工件上，现有的通过先导阀来降低前期的气流量，但增加了设备体积的同时，也不便于安装。

技术实现思路

[0004]为了弥补以上不足，本技术提供了一种双阀盖真空挡板阀，旨在改善高真空挡板阀开启的瞬间则会产生高速气流的问题。
[0005]本技术是这样实现的：
[0006]本技术提供的一种双阀盖真空挡板阀，包括阀体和密封组件。
[0007]所述阀体上端固定有驱动件，所述阀体下端开设有出气口，所述阀体侧壁开设有进气口。
[0008]所述密封组件包括第一阀盖和第二阀盖，所述第一阀盖覆盖于所述出气口上端面，所述第二阀盖与所述阀体内壁滑动连接，所述阀体侧壁开设有导气通孔，所述第二阀盖与所述导气通孔端口密封连接，所述导气通孔与所述出气口通过连通管道连接，所述第二阀盖与所述驱动件活动端固定连接，所述第一阀盖通过伸缩杆与所述驱动件活动端固定连接。
[0009]在本技术的一种实施例中，所述阀体内滑动插接有阀杆，所述阀杆的上端与所述驱动件活动端固定连接，所述第二阀盖侧壁固定有连接板，所述连接板的一端与所述阀杆固定连接，所述伸缩杆连接于所述阀杆下端。
[0010]在本技术的一种实施例中，所述阀杆表面套有波纹管，所述波纹管的一端与所述阀杆表面固定密封，所述波纹管的另一端与所述阀体内壁密封连接。
[0011]在本技术的一种实施例中，所述阀杆下端开设有限位槽，所述伸缩杆的一端滑动插接于所述限位槽内，所述限位槽内滑动卡接有限位块，所述伸缩杆的一端与所述限位块固定连接。
[0012]在本技术的一种实施例中，所述限位槽内固定有弹性件，所述弹性件的一端与所述限位块固定连接，所述波纹管为金属波纹管。
[0013]在本技术的一种实施例中，所述进气口端口处固定有第一法兰，所述出气口端口处固定有第二法兰，所述驱动件为电动推杆，所述弹性件为弹簧。
[0014]在本技术的一种实施例中，所述第一阀盖下表面固定有密封垫，所述密封垫
与所述出气口上端面边缘处密封连接，所述密封垫为丁腈橡胶垫。
[0015]在本技术的一种实施例中，所述导气通孔端面同心设置有密封圈，所述密封圈固定在所述阀体内壁表面，所述密封圈为氟橡胶圈。
[0016]在本技术的一种实施例中，所述连通管道包括第一连通管和第二连通管，所述第一连通管与所述导气通孔连接，所述第二连通管的一端与所述出气口连通，所述第一连通管与所述第二连通管连通。
[0017]在本技术的一种实施例中，所述第一连通管与所述第二连通管侧壁连接，所述第二连通管的一端螺纹连接有堵头。
[0018]本技术的有益效果是：本技术通过上述设计得到的一种双阀盖真空挡板阀，使用时，采用了第一阀盖和第二阀盖双阀盖的设计，在拉动第二阀盖时，需要克服的气压较小，而无需考虑第一阀盖所承受的气压，当第一阀盖两侧的气压平衡后，驱动件才会拉动第一阀盖，所以只需要采用小功率的驱动机构即可打开出气口。小功率的驱动机构成本低，体积也必然更小，使得双阀盖真空挡板阀的占用空间变小，由此便降低了双阀盖真空挡板阀对安装位置的要求，使其更加方便进行安装和使用。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0020]图1是本技术实施方式提供的阀体结构示意图；
[0021]图2为本技术实施方式提供的阀体内部结构示意图；
[0022]图3为本技术实施方式提供的导气通孔结构示意图；
[0023]图4为本技术实施方式提供的伸缩杆结构示意图。
[0024]图中：100-阀体；110-驱动件；111-伸缩杆；130-进气口；150-出气口；170-导气通孔；190-阀杆；191-波纹管；193-限位槽；195-限位块；197-弹性件；300-密封组件；310-第一阀盖；330-第二阀盖；331-连接板；333-密封圈；350-连通管道；351-第一连通管；353-第二连通管；355-堵头。
具体实施方式
[0025]为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的。实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。
[0026]因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。
[0027]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0028]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0029]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0030]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双阀盖真空挡板阀，其特征在于，包括阀体(100)，所述阀体(100)上端固定有驱动件(110)，所述阀体(100)下端开设有出气口(150)，所述阀体(100)侧壁开设有进气口(130)；密封组件(300)，所述密封组件(300)包括第一阀盖(310)和第二阀盖(330)，所述第一阀盖(310)覆盖于所述出气口(150)上端面，所述第二阀盖(330)与所述阀体(100)内壁滑动连接，所述阀体(100)侧壁开设有导气通孔(170)，所述第二阀盖(330)与所述导气通孔(170)端口密封连接，所述导气通孔(170)与所述出气口(150)通过连通管道(350)连接，所述第二阀盖(330)与所述驱动件(110)活动端固定连接，所述第一阀盖(310)通过伸缩杆(111)与所述驱动件(110)活动端固定连接。2.根据权利要求1所述的一种双阀盖真空挡板阀，其特征在于，所述阀体(100)内滑动插接有阀杆(190)，所述阀杆(190)的上端与所述驱动件(110)活动端固定连接，所述第二阀盖(330)侧壁固定有连接板(331)，所述连接板(331)的一端与所述阀杆(190)固定连接，所述伸缩杆(111)连接于所述阀杆(190)下端。3.根据权利要求2所述的一种双阀盖真空挡板阀，其特征在于，所述阀杆(190)表面套有波纹管(191)，所述波纹管(191)的一端与所述阀杆(190)表面固定密封，所述波纹管(191)的另一端与所述阀体(100)内壁密封连接。4.根据权利要求3所述的一种双阀盖真空挡板阀，其特征在于，所述阀杆(190)下端开设有限位槽(193)，所述伸缩杆(111)的一端滑动插...

【专利技术属性】
技术研发人员：张青帅，
申请(专利权)人：上海畅桥真空系统制造有限公司，
类型：新型
国别省市：