一种功率模块制造技术

本发明专利技术实施例公开了一种功率模块，包括：至少一个功率器件以及围绕所述功率器件的隔离沟槽；其中，所述功率器件至少包括沿所述功率模块厚度方向上，设置在所述功率模块一侧的第一金属电极以及设置在所述功率模块另一侧的第二金属电极；所述隔离沟槽沿所述功率模块厚度方向上至少从所述第一金属电极延伸至所述第二金属电极；如此，所述隔离沟槽为所述功率器件提供了足够的耐压，增强了所述功率器件之间的隔离效果；基于所述隔离沟槽的设置，所述功率模块可以具有更高的集成度以及更小的结构尺寸，为功率模块的封装布局提供了有利条件。件。件。

【技术实现步骤摘要】
一种功率模块


[0001]本专利技术涉及半导体领域，尤其涉及一种功率模块。

技术介绍

[0002]IPM(Intelligent Power Module，智能功率模块)广泛应用于交流电机变频调速和直流电机斩波调速以及各种高性能电源、工业电气自动化、新能源等领域，有着广阔的市场应用。IPM是一种先进的功率开关器件，本质上是集成了功率器件及其驱动电路的模块；IPM在能源管理领域起到其他集成电路难以企及的重要作用，器件性能直接影响能源系统的利用效率。
[0003]现有的IPM中通常包含多种电子元器件，并且每种电子元器件可能需要多颗；因此，IPM中电子元器件的总数量较多，过多的电子元器件给IPM的封装布局和封装成本带来了很大压力，此外，IPM中包含的各功率器件之间的隔离与耐压问题也成为本领域现阶段亟需解决的技术问题之一。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本专利技术的主要目的在于提供一种功率模块。
[0005]为达到上述目的，本专利技术的技术方案是这样实现的：
[0006]本专利技术实施例提供了一种功率模块，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种功率模块，其特征在于，包括：至少一个功率器件以及围绕所述功率器件的隔离沟槽；其中，所述功率器件至少包括沿所述功率模块厚度方向上，设置在所述功率模块一侧的第一金属电极以及设置在所述功率模块另一侧的第二金属电极；所述隔离沟槽沿所述功率模块厚度方向上至少从所述第一金属电极延伸至所述第二金属电极。2.根据权利要求1所述的功率模块，其特征在于，所述功率器件包括绝缘栅型场效应晶体管和/或逆导型绝缘栅双极型晶体管。3.根据权利要求2所述的功率模块，其特征在于，所述功率器件为绝缘栅型场效应晶体管时，所述第一金属电极为漏极，所述第二金属电极为源极；所述功率器件为逆导型绝缘栅双极型晶体管时，所述第一金属电极为集电极，所述第二金属电极为发射极。4.根据权利要求1或3所述的功率模块，其特征在于，所述功率器件还包括设置在所述第二金属电极同...

【专利技术属性】
技术研发人员：兰昊，冯宇翔，
申请(专利权)人：美的集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：