一种无机膜多级气体分离的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开的一种无机膜多级气体分离的装置，步骤：S1、在预处理单元对原料气体进行预处理。S2、预处理过的原料气进入多级膜分离组件进行分离处理，渗透气进入下级组件，渗余气回流继续完成分离。S3、在第一级组件渗余侧和最后一级组件渗透侧采集气体产品并回收利用。装置中包括预处理模块、单级膜组件、气泵、质量流量控制器和背压阀。原料预处理后经质量流量控制器进入多级膜组件，背压阀控制第一级组件渗余侧压力，将多个组件通过管线串联起来，每一级渗透气作为原料气进入下一级，第一级渗余气接背压阀控制顶部采出，其余每级组件渗余气均通过气泵返回上级组件与进料气混合，在最后一级组件渗透侧气体产品在常压下收集。集。集。

【技术实现步骤摘要】
一种无机膜多级气体分离的装置


[0001]本技术涉及一种无机膜多级气体分离的装置，特别涉及单级膜分离选择性较低的二元或多元混合气体的分离提纯。

技术介绍

[0002]气体产品作为现代工业重要的基础原料，应用范围十分广泛。除工业中常见的一般工业气体外，特种气体在电子信息、航空航天、石油化工和医疗环保等行业起着重要的作用。如超纯氮可以作为超大规模集成电路的保护器，氖同位素可以用于导弹制导等军工行业。但我国特种气体企业规模较小，自主研发的成果较少，目前我国不能规模生产亚微米级集成电路生产所用的气体，特种气体同位素分离的研究和应用尚属起步阶段，生产依存均需国外进口。混合气体的分离方法主要有低温精馏法、变压吸附法以及膜分离法。低温精馏法涉及相变分离，能耗较高，且装置规模较大，设备费用高；变压吸附法回收率低，需要不断对气体进行抽真空与压缩，也存在设备成本高、操作复杂等问题。特种气体分离提纯领域还涉及贵金属催化法、热扩散法和分子筛提纯技术等方法。但上述方法均存在成本高，能耗高，设备成本高以及操作复杂等问题。
[0003]在膜法分离气体的应用中，专利号本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种无机膜多级气体分离的装置，其特征在于，包括：预处理单元（1），用于对待分离的气体混合物进行预处理；气体分离设备，连接于预处理单元（1），用于对待分离的气体混合物中的气体组分进行分离；所述的气体分离设备中包括有多个膜组件（3），膜组件（3）相互之间为串联；上一级的膜组件（3）的渗透侧出气口（9）连接于下一级的膜组件（3）的渗余侧进气口（6）；下一级的膜组件（3）的渗余侧出气口（7）连接于上级的膜组件（3）的渗余侧进气口（6）；在最后一级的膜组件（3）的渗透侧出气口（9）连接有第一气体组分接收管路；在第一级的膜组件（3）的渗余侧出气口（7）连接有第二气体组分接收管路。2.根据权利要求1所述的无机膜多级气体分离的装置，其特征在于，所述的膜组件（3）中包括有壳体（4）以及安装于壳体（4）中的气体分离膜（5）；并且，渗余侧进气口（6）和渗余侧出气口（7）连接于壳体（4），气体分离膜（5）的渗透侧连接于渗透侧出气口（9）。3.根据权利要求2所述的无机膜多级气体...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾学红，谢继贤，王学瑞，张萍，
申请(专利权)人：南京工业大学，
类型：新型
国别省市：