一种测卷绕镀膜机Plasma温度的装置制造方法及图纸

一种测卷绕镀膜机Plasma温度的装置，包括依次设置的放卷室、放卷辊轴、放卷导向辊、镀膜鼓、收卷导向轴、收卷辊轴，镀膜鼓外套设有镀膜室，镀膜室内均匀设置气体挡板，气体挡板将镀膜室和镀膜鼓之间隔成若干个镀膜腔室，每个镀膜腔室安装有靶材；在镀膜腔室的两个气体挡板靠近镀膜鼓的位置上设置Mask挡板，Mask挡板上均匀设置有热电偶，热电偶与测温仪相连。采用上述技术方案，本实用新型专利技术的有益效果是：1.提供一种专业的测量镀膜机Plasma温度的方法，此方法比感温纸测试方法精确，灵敏度高；2.可根据需要，测试一定时间内Plasma温度变化情况；3.成本低，可多次使用。可多次使用。可多次使用。

【技术实现步骤摘要】
一种测卷绕镀膜机Plasma温度的装置


[0001]本技术属于大型卷绕镀膜机
，具体地说涉及大型卷绕镀膜机的Plasma温度的系统。

技术介绍

[0002]工业上在真空中把金属、合金或化合物进行溅射，使其沉积在在被涂覆的材料上的方法称为真空镀膜法。在材料表面上镀上一层薄膜，就能使该材料具有许多新的物理和化学性能。磁控溅射技术是制备薄膜材料的重要方法之一。它是利用带电粒子在电场加速后撞击被溅射的物质，即我们通常说的靶材，然后将靶材原子溅射出来使其以一定速度沉积到基材表面，从而形成固定膜材。
[0003]基片温度是决定薄膜结构的重要因素，温度的高低会对薄膜结构造成重要影响。一般来说，基片温度越高，越容易发生原子吸附、迁移和重排，增强凝聚过程，提高结晶度；但如果基片温度过高，可能导致热损伤、大内应力和金属电极的热迁移。这是由于温度直接影响沉积原子在基片上的活动能力，从而决定了薄膜的成分、结构、晶粒平均大小、晶面取向以及不完整的数量、种类和分布。因此有必要对卷绕镀膜过程中的基片温度进行测量，从而合理控制基片温度的大小，进而合理的指导生产过程中的温度大小。但卷绕镀膜过程中，基片是从放卷室经腔室到收卷室，其间一直处于转动过程，如果直接测量基片温度，多有不便，目前大多数用测量plasma的温度来代替基片的温度。
[0004]工业生产中的大型卷绕镀膜机，如图1所示，1放卷室；2放卷辊轴；3导向辊；4镀膜鼓；5第一镀膜腔室；6第二镀膜腔室；7第三镀膜腔室；8第四镀膜腔室；9第五镀膜腔室；10第六镀膜腔室；11收卷辊轴；12收卷室。其中6-10每一个镀膜腔室里面都安装有靶材，其与镀膜鼓之间有间距，空间狭小。其在工作状态下设备内的导向辊3和镀膜鼓4都是在某一设定的速度下运转，从而传导基材运动，并且靶材和镀膜鼓的间距大都在10cm以内，而我们要测的温度点正好位于靶材和镀膜鼓之间的区域，因此如果增加固定装置，基本不可能。为便于测量同时不影响镀膜鼓的正常作业，针对这种大型的卷绕镀膜机，业界大多采用感温纸来测量基片温度。

技术实现思路

[0005]现在业内一般采用感温纸来测量基片温度。卷绕镀膜生产过程中，直接用高温胶带把感温纸贴在基片表面，等到镀膜完成以后，直接把感温纸从基片上撕下来，然后观察其温度即可。虽然测量很方便，但仍然有灵敏度不够、不精确等缺陷。
[0006]本技术的目的是针对工业生产中的大型卷绕镀膜机的特点，提供一种测卷绕镀膜机Plasma温度的装置。
[0007]本技术的目的通过以下技术方案来实现：
[0008]一种测卷绕镀膜机Plasma温度的装置，包括依次设置的放卷室、放卷辊轴、放卷导向辊、镀膜鼓、收卷导向轴、收卷辊轴，镀膜鼓外套设有镀膜室，镀膜室内均匀设置气体挡
板，气体挡板将镀膜室和镀膜鼓之间隔成若干个镀膜腔室，每个镀膜腔室安装有靶材；在镀膜腔室的两个气体挡板靠近镀膜鼓的位置上设置Mask挡板，Mask挡板上均匀设置有热电偶，热电偶与测温仪相连。
[0009]上述测卷绕镀膜机Plasma温度的装置，所述热电偶与镀膜鼓镀膜面平行。
[0010]上述测卷绕镀膜机Plasma温度的装置，所述镀膜鼓并列设置两个，分别为第一镀膜鼓和第二镀膜鼓，两个镀膜鼓之间设置过渡导向轮。
[0011]上述测卷绕镀膜机Plasma温度的装置，所述热电偶通过高温胶粘贴在Mask挡板上。
[0012]上述测卷绕镀膜机Plasma温度的装置，所述热电偶的型号为K。
[0013]采用上述技术方案，本技术的有益效果是：
[0014]1.提供一种专业的测量镀膜机Plasma温度的方法，此方法比感温纸测试方法精确，灵敏度高；
[0015]2.可根据需要，测试一定时间内Plasma温度变化情况；
[0016]3.成本低，可多次使用；
[0017]4.每张感温纸只能使用一次，且价格昂贵。
[0018]本技术针对工业中大型卷绕镀膜机工作中一致处于运动状态，且设备空间有限，不易添加设备进行测量，特技术此方法进行测量。
附图说明
[0019]图1是本传统卷绕镀膜机结构示意图。
[0020]图2是本技术能够测Plasma温度的卷绕镀膜机构示意图。
[0021]图3是本技术第二种结构示意图。
[0022]图4是本技术Mask挡板结构示意图。
[0023]图5是本技术镀膜鼓与一个靶材室对应的热电偶对应投影点。
具体实施方式
[0024]以下结合附图2到图5具体详细地说明本技术的结构及工作过程。
[0025]传统卷绕镀膜机的结构和工作过程如下如图1：
[0026]放卷室1、放卷辊轴2、导向辊3、镀膜鼓4、第一镀膜腔室5、第二镀膜腔室6、第三镀膜腔室7、第四镀膜腔室8、第五镀膜腔室9、第六镀膜腔室10、收卷辊轴11、收卷室12依次设置。其中6-10每一个镀膜腔室里面都安装有靶材，其与镀膜鼓之间有间距，空间狭小。靶材区域，在每个靶材靶材工作时，其上方区域会形成固定的等离子体区域。材料已一定的速度从放卷室1依次经放卷辊轴2、导向辊3、镀膜鼓4、第一镀膜腔室5、第二镀膜腔室6、第三镀膜腔室7、第四镀膜腔室8、第五镀膜腔室9、第六镀膜腔室10、收卷辊轴11最后到收卷室12，作业过程中，需打开溅射靶材，镀膜鼓可升温，可降温，可转动，鼓温会影响成膜结构。靶材：工作时，圆形靶材处于旋转状态，可根据需要安装不同的靶材，溅射出原子沉积到基材表面形成薄膜。要测量Plasma温度，热电偶只能固定在靶材区域上方，但其上方空间狭小，不能再增加更多的设备，另外如果增加设备，也会妨碍溅射，影响成膜均匀性。
[0027]本技术测卷绕镀膜机Plasma温度的装置，如图2-5所示，包括依次设置的放卷
室、放卷辊轴、放卷导向辊、镀膜鼓、收卷导向轴、收卷辊轴，镀膜鼓4外套设有镀膜室13，镀膜室13内均匀设置气体挡板14，气体挡板将镀膜室和镀膜鼓之间隔成若干个镀膜腔室，每个镀膜腔室安装有靶材；
[0028]在镀膜腔室的两个气体挡板靠近镀膜鼓的位置上设置Mask挡板15，Mask挡板上均匀设置有热电偶16；
[0029]热电偶与测温仪相连。
[0030]镀膜机抽真空，待真空达到要求值，进行开靶作业；
[0031]设定不同的靶位功率，同时通入氩气，通过测温仪得到不同功率下的Plasma温度。
[0032]上述测卷绕镀膜机Plasma温度的方法，所述热电偶与镀膜鼓镀膜面平行。
[0033]上述测卷绕镀膜机Plasma温度的方法，镀膜鼓并列设置两个，分别为第一镀膜鼓4和第二镀膜鼓17，两个镀膜鼓之间设置过渡导向轮18。
[0034]上述测卷绕镀膜机Plasma温度的方法，所述热电偶通过高温胶粘贴在Mask挡板上。
[0035]上述测卷绕镀膜机Plasma温度的方法，所述热电偶的型号为K。
[0036]上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种测卷绕镀膜机Plasma温度的装置，包括依次设置的放卷室、放卷辊轴、放卷导向辊、镀膜鼓、收卷导向轴、收卷辊轴，镀膜鼓（4）外套设有镀膜室（13），镀膜室（13）内均匀设置气体挡板（14），气体挡板将镀膜室和镀膜鼓之间隔成若干个镀膜腔室，每个镀膜腔室安装有靶材；其特征在于：在镀膜腔室的两个气体挡板靠近镀膜鼓的位置上设置Mask挡板（15），Mask挡板上均匀设置有热电偶（16），热电偶与测温仪相连。2.根据权利要求1所述的测卷绕镀膜机Plasm...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭海滨，徐娟，郑辉，刘河潮，杨琼，徐彦，杨红新，
申请(专利权)人：华北水利水电大学，
类型：新型
国别省市：