无机被膜形成用组合物及无机被膜形成方法技术

技术编号:2750311 阅读:169 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
提供一种无机被膜形成用组合物,其特征在于,其中含有(A)感光剂、(B)粉末和(C)硝酸盐,该(C)硝酸盐是从硝酸的非金属盐、硝酸铁和硝酸铈中选出的至少一种。另外还提供无机被膜的形成方法。根据本发明专利技术,可以采用低温焙烧工艺形成导电性被膜、绝缘性被膜、光吸收性被膜或荧光体被膜等各种无机被膜。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种无机被膜形成用组合物和无机被膜形成方法,特别是涉及一种适合于在CRT用玻璃面板上形成荧光体图案的无机被膜形成用组合物和无机被膜形成方法。在基板上形成所希望图案的无机被膜时,一般是使用混合了聚乙烯醇(PVA)等有机高分子化合物、重铬酸盐等感光剂、各种粉末(显示出导电性、绝缘性、光吸收性或荧光性等性质的粉末)以及分散剂等的浆液状无机被膜形成用组合物。应予说明,一般地,该组合物是负型感光性组合物。而且,将该浆液状组合物涂布到基板上并干燥后,通过用掩模有选择地进行放射线的曝光来进行光固化反应,未曝光部分用水或碱水溶液等除去,由此形成光固化图案,然后,经过热处理将光固化图案中的有机成分热分解除去,在基板上形成所希望图案的无机被膜。但是,由于在使用该组合物的无机被膜的形成中所使用的重铬酸盐是剧毒的六价铬,存在着环境污染的问题,目前正在寻求一种不使用六价铬的无机被膜的形成方法。作为不使用六价铬的无机被膜的形成方法,特开平11-24241号公报、特开平10-83077号公报、特开平8-146598号公报、特开平6-202316号公报、特开平11-84646号公报、特开平8-227153号公报、特开平8-315634号公报、特开平8-50811号公报、特开平8-315637号公报、特开昭63-64953号公报、特开昭61-158861号公报、特开平2-25847号公报等中提出了各种方法。但是,上述现有技术中所使用的材料,在将光固化图案中的有机成分热分解而除去时,需要超过500℃的高温,从工艺上的问题考虑,希望将热分解温度降低。另外,使用重铬酸盐的现有的感光性组合物,其热分解温度为400~500℃左右,为了实用化,希望获得一种在与其同等程度的温度下热分解的无机被膜形成用组合物。因此,本专利技术的目的在于,提供一种能够在低温焙烧工艺中形成导电性被膜、绝缘性被膜、光吸收性被膜或荧光体被膜等各种无机被膜的无机被膜形成用组合物和无机被膜形成方法,特别是提供一种能够在500℃以下的较低温度下形成无机被膜的无机被膜形成用组合物和无机被膜形成方法。本专利技术人等获得这样一种经验,即,所谓使用PVA-重铬酸盐类的无机被膜形成用组合物形成的光固化图案中的有机成分能够在500℃以下的较低温度下分解除去的性质,重铬酸盐具有促进热分解的作用。即,通过试验查明,随着重铬酸盐的添加量增多,光固化图案中的有机成分的分解温度降低,确认重铬酸盐具有热分解促进作用。附图说明图1示出重铬酸盐添加量与PVA的分解温度的关系,参照图1进行说明。重铬酸盐的添加量为0时,PVA的分解温度约为570℃,一旦重铬酸盐的添加量增加,则光固化后的PVA的热分解温度降低,添加10重量份时,热分解温度降低到约430℃。本专利技术人等对发挥出与该重铬酸盐的热分解促进效果同等效果的材料进行了精心的研究,结果意外地发现,硝酸盐和有机酸的金属盐存在着优良的热分解促进作用,至此完成了本专利技术。另外还发现,将硝酸盐与有机酸的金属盐混合使用,可以使热分解温度进一步降低。即,本专利技术提供一种无机被膜形成用组合物,其特征在于,其中含有(A)感光剂、(B)粉末和(C)硝酸盐,该(C)硝酸盐是从硝酸的非金属盐、硝酸铁和硝酸铈中选出的至少一种。另外,本专利技术提供的上述无机被膜形成用组合物,其特征在于,进一步含有(D)有机酸的金属盐。另外,本专利技术提供的上述无机被膜形成用组合物,其特征在于,相对于组合物中含有的固形物,(A)成分为4~24重量%,(B)成分为70~95重量%,(C)成分为0.1~20重量%。另外,本专利技术提供的上述无机被膜形成用组合物,其特征在于,(C)成分含有从硝酸铁和硝酸铈中选出的至少一种。另外,本专利技术提供一种无机被膜形成用组合物,其特征在于,其中含有(A)感光剂、(B)粉末和(D)有机酸的铁盐。另外,本专利技术提供的上述无机被膜形成用组合物,其特征在于,相对于组合物中含有的固形物,(A)成分为4~24重量%,(B)成分为70~95重量%,(D)成分为0.1~20重量%。另外,本专利技术提供一种无机被膜形成方法,其中包括将上述的无机被膜形成用组合物涂布到基板上并干燥的工序和在500℃以下将形成的干燥被膜中的有机成分热分解而除去的工序。应予说明,特开平11-116947号公报中,记载了一种含有经紫外线照射而发出蓝色光的无机荧光体和铜或铜化合物的荧光体组合物,但没有公开本专利技术中使用的(C)和(D)成分任一种。(A)感光剂作为(A)感光剂,只要是经放射线照射能发生聚合反应或交联反应等,不使无机被膜形成用组合物溶解于显影液(水、碱性水溶液、酸性水溶液、溶剂、水-溶剂混合液等)的材料即可。作为这种材料,可以举出过去作为感光剂公知的重氮基系感光剂、迭氮基系感光剂(特开平6-65415号公报、特开平8-334895号公报、特开平7-72620号公报、特开平7-234504号公报)、苯乙烯基哌啶鎓(スチルバゾリウム)系感光剂(特开昭55-135834号公报、特开平5-5990号公报)、苯乙烯基吡啶鎓系感光剂(特开平5-92955号公报、特开平4-51046号公报)、苯乙烯基喹啉鎓系感光剂(特开平4-51046号公报)、吡啶鎓内鎓系感光剂(特开平4-8706号公报)、由光聚合引发剂和含有不饱和基团的化合物构成的感光性成分(特开平8-160612号公报、特开平8-328249号公报、特开平7-319160号公报)等。对于组合物中含有的固形物而言,(A)成分使用4~24重量%。(B)粉末作为(B)粉末没有特别的限定,可以根据所要形成的无机被膜的图案的种类,使用显示出导电性、绝缘性(介电性)、光吸收性或者荧光性等性质的材料。作为具有导电性的材料,可以举出过去公知的Ag、Cu、Ni、Au、Pd、Al、Ir、Ru、Rh、Re、Os和Pt等导电性金属粉末或它们的导电性金属氧化物粉末。它们可以单独使用,或者制成合金或混合粉末来使用。作为具有绝缘性(介电性)的材料,可以使用例如陶瓷固体的微粒。作为氧化物,可以举出氧化铝、氧化钛、钛酸钡、铁氧体、三氧化二钇、氧化锆、模来石等。作为碳化物,可以举出碳化硅、碳化钨、碳化锆、碳化钛、碳化钽等。作为氮化物,可以举出氮化硅、氮化硼、氮化铝、氮化锆、氮化钛等。作为硼化物,可以举出硼化铝、硼化钛、硼化锆、硼化钽、硼化钨等。作为氢氧化物,可以举出氢氧化铝等。作为具有光吸收性的材料,除了碳黑、精制碳和碳钠米管等碳质类颜料以外,还可以举出铁黑、钴蓝、氧化锌、氧化钛和氧化铬等金属氧化物颜料、硫化锌等硫化物颜料、酞菁系颜料、金属的硫酸盐、碳酸盐、硅酸盐和磷酸盐、以及铝粉、铜粉、锌粉。另外,作为有机颜料,可以举出例如萘酚绿B等亚硝基颜料、硝基颜料、枣红10B、色淀红4R和铬酞红(chromo phthal red)等偶氮或偶氮色淀颜料、孔雀蓝色淀和若丹明色淀等色淀颜料、酞菁蓝等酞菁颜料、硫靛红和阴丹士林蓝等士林颜料、喹吖酮颜料、喹吖啶颜料、以及异氮茚基酮(isoindolynone)颜料。除了这些颜料以外,,还可以同时具备用于提高吸光性的染料。作为具有荧光性的材料,可以使用无机或有机荧光发光化合物任一种。作为无机荧光发光化合物,可以举出ZnSAg、MgWO4、CaWO4、(Ca,Zn)(本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种无机被膜形成用组合物,其特征在于,其中含有(A)感光剂、(B)粉末和(C)硝酸盐,该(C)硝酸盐是从硝酸的非金属盐、硝酸铁和硝酸铈中选出的至少一种。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:高梨博佐藤善美小畑健和
申请(专利权)人:东京应化工业株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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