本申请涉及多面体光学元件检测设备技术领域，尤其是涉及一种支撑装置以及多面体光学元件的面型检测装置。支撑装置更适用于对非规则形状多面体光学元件的夹持，其中，支撑装置包括支撑构件、吸附构件以及调节构件，在实际应用过程中，所述支撑构件具有容纳空间，所述吸附构件位于所述容纳空间内，并通过所述调节构件设置在所述支撑构件上，所述吸附构件用于固定所述多面体光学元件。并利用吸附构件的吸附端吸附多面体光学元件，以此达到固定所述多面体光学元件的作用。面体光学元件的作用。面体光学元件的作用。
【技术实现步骤摘要】
支撑装置以及多面体光学元件的面型检测装置
[0001]本申请涉及多面体光学元件检测设备
，尤其是涉及一种支撑装置以及多面体光学元件的面型检测装置。
技术介绍
[0002]多面体光学元件各个组成面的面型的加工中需通过使用干涉仪测量每个面的面型值来辅助完成面型加工，通常规则六面体光学元件检测每个面的面型方法是将待测件放置在三维调整载物台上使待检测面几何中心靠近干涉仪出光口光路中心轴上，再通过简单调整三维载物台上待检测面位置与干涉仪出光窗口面倾角，使干涉仪出光窗口面与待检测面的平行，找到最佳干涉纹效果后测量得出面型值。
[0003]然而在实际检测过程中，多面体光学元件多数呈非规则形状，当将非规则形状的多面体光学元件放置在三维调整载物台上时，无法保证待检测面与干涉仪出光窗口面平行，最终导致面型值测试结果有误差。
技术实现思路
[0004]本申请的目的在于提供一种支撑装置以及多面体光学元件的面型检测装置，在一定程度上解决了现有技术中因无法保证非规则形状的多面体光学元件的待检测面与干涉仪出光窗口平行的技术问题。
[0005]本申请提供了一种支撑装置，包括：支撑构件、吸附构件以及调节构件；
[0006]所述支撑构件具有容纳空间，所述容纳空间用于放置多面体光学元件；
[0007]所述吸附构件位于所述容纳空间内，并通过所述调节构件设置在所述支撑构件上，所述调节构件能够改变所述吸附构件相对所述多面体光学元件的位置，以使所述吸附构件能够固定所述多面体光学元件。
[0008]在上述技术方案中，进一步地，所述支撑构件包括第一支撑部以及第二支撑部；
[0009]所述第一支撑部为筒状结构，所述第二支撑部设置在所述第一支撑部的一端，以使所述第一支撑部与所述第二支撑部围设有所述容纳空间。
[0010]在上述技术方案中，进一步地，所述第一支撑部的轴向方向的第一端朝向第二端呈渐缩状；
[0011]所述第二支撑部设置在所述第一支撑部的第二端。
[0012]在上述技术方案中，进一步地，所述第一支撑部与所述第二支撑部上均间隔设置有多个所述吸附构件。
[0013]在上述技术方案中，进一步地，所述调节构件包括第一调节部以及第二调节部；
[0014]所述第一调节部穿过所述支撑构件并朝向所述容纳空间延伸形成有所述第二调节部。
[0015]在上述技术方案中，进一步地，所述所述支撑构件上开设有通孔，所述通孔的内侧壁上设置有内螺纹；所述第一调节部的外侧壁上设置有外螺纹；
[0016]所述内螺纹与所述外螺纹相适配；
[0017]旋转位于所述容纳空间外的所述第一调节部的部分，以改变位于所述容纳空间内的所述第一调节部的部分的长度。
[0018]在上述技术方案中，进一步地，所述吸附构件还包括转动部；所述转动部转动设置在所述第二调节部上，所述吸附部通过连接件设置在所述转动部上，以使所述吸附部能够相对所述第二调节部旋转。
[0019]在上述技术方案中，进一步地，所述吸附构件还包括转动部；
[0020]所述转动部设置在所述第二调节部上，所述吸附部通过连接件设置在所述转动部上；
[0021]所述转动部能够在所述第二调节部上旋转，通过所述连接件以使所述吸附部旋转。
[0022]本申请还提供一种多面体光学元件的面型检测装置，包括光准直器、干涉仪、调整机构、上述的支撑装置；
[0023]所述支撑装置设置在所述调整机构的驱动端，驱动所述调整机构，以带动所述支撑装置转动；
[0024]所述光准直器和所述干涉仪沿第一方向间隔排布；
[0025]所述光准直器的发射信号垂直于所述多面体光学元件的待检测面且用于对所述多面体光学元件的待检测面找平校准；
[0026]所述干涉仪的发射信号垂直于找平校准后的所述多面体光学元件的待检测面，且用于检测所述待检测面的面型值。
[0027]在上述技术方案中，进一步地，所述调整机构为五维度调整架，所述五维度调整架的型号为CM-920504M。
[0028]与现有技术相比，本申请的有益效果为：
[0029]本申请提供的支撑装置尤其适用于对非规则形状多面体光学元件的夹持(如果是规则形状的多面体光学元件，那么直接放置在三维载物台上即可)，其中，支撑装置包括支撑构件、吸附构件以及调节构件，在实际应用过程中，所述支撑构件具有容纳空间，所述吸附构件位于所述容纳空间内，并通过所述调节构件设置在所述支撑构件上，当所述吸附构件用于吸附和固定非规则形状多面体光学元件时，通过所述调节构件，调整所述吸附构件的吸附端的位置，以使吸附构件的吸附端准确固定非规则形状多面体光学元件的端面。
[0030]本申请还提供一种多面体光学元件的面型检测装置，包括光准直器、干涉仪、调整机构、上述的支撑装置；
[0031]所述支撑装置设置在所述调整机构的驱动端，驱动所述调整机构，以带动所述支撑装置转动；
[0032]所述光准直器的发射信号垂直于所述多面体光学元件的待检测面且用于对所述多面体光学元件的待检测面找平校准；
[0033]所述干涉仪的发射信号垂直于找平校准后的所述多面体光学元件的待检测面，且用于检测所述待检测面的面型值。
[0034]基于上述对所述支撑装置的分析可知，所述多面体光学元件的面型检测装置在实际的检测过程中，第一步：需要对多面体光学元件的其中一个待检测面进行找平校准，在对
待检测面进行找平校准时，首先利用支撑装置将多面体光学元件固定起来，并大致保证所述光准直器发射的信号垂直于所述待检测面，然后光准直器向待检测面发射信号，如果所述光准直器的反馈信号不是90
°
，那么通过所述调节构件，调整所述吸附构件的吸附端的位置，进而实现对待检测面位置的微调，然后，再次通过光准直器进行找平校准，直到光准直器的反馈信号是90
°
；第二步，调整干涉仪出光窗口面平行于第一步调整后的待检测面进而测出待检测面的面型值。
附图说明
[0035]为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0036]图1为本申请实施例一提供的支撑装置的结构示意图；
[0037]图2为本申请实施例一提供的支撑装置上设置的吸附构件以及调节构件结构示意图；
[0038]图3为本申请实施例二提供的多面体光学元件的面型检测装置的结构示意图。
[0039]附图标记：
[0040]100-支撑构件；101-吸附构件；102-调节构件；103-容纳空间；104-多面体光学元件；105-第一支撑部；106-第二支撑部；107-第一调节部；108-第二调节部；109-通孔；110-吸附部；111-转动部；112-本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种支撑装置，其特征在于，包括：支撑构件、吸附构件以及调节构件；所述支撑构件具有容纳空间，所述容纳空间用于放置多面体光学元件；所述吸附构件位于所述容纳空间内，并通过所述调节构件设置在所述支撑构件上，所述调节构件能够改变所述吸附构件相对所述多面体光学元件的位置，以使所述吸附构件能够固定所述多面体光学元件。2.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑构件包括第一支撑部以及第二支撑部；所述第一支撑部为筒状结构，所述第二支撑部设置在所述第一支撑部的一端，以使所述第一支撑部与所述第二支撑部围设有所述容纳空间。3.根据权利要求2所述的支撑装置，其特征在于，所述第一支撑部的轴向方向的第一端朝向第二端呈渐缩状；所述第二支撑部设置在所述第一支撑部的第二端。4.根据权利要求2所述的支撑装置，其特征在于，所述第一支撑部与所述第二支撑部上均间隔设置有多个所述吸附构件。5.根据权利要求2所述的支撑装置，其特征在于，所述调节构件包括第一调节部以及第二调节部；所述第一调节部穿过所述支撑构件并朝向所述容纳空间延伸形成有所述第二调节部。6.根据权利要求5所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑构件上开设有通孔，所述通孔的内侧壁上设置有内螺纹；所述第一调节部的外侧壁上设置有外螺纹...
【专利技术属性】
技术研发人员：马建，张晓周，
申请(专利权)人：成都东骏激光股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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