电激元器件光信号采集装置、光参数测试装置及设备制造方法及图纸

技术编号:27461512 阅读:15 留言:0更新日期:2021-02-25 05:21
本实用新型专利技术公开了电激元器件光信号采集装置、光参数测试装置及设备。所述电激元器件光信号采集装置包括,固定连接于机架的测试电极,用于对电激元器件导通电流;支撑部,沿第一方向正对应所述测试电极并沿第一方向运动连接于所述测试电极;采用将电激元器件主动靠近测试电极并导入电荷的方式,便于保证电激元器件相对于测试电极的平整度,从而保证测试的准确度。确度。确度。

【技术实现步骤摘要】
电激元器件光信号采集装置、光参数测试装置及设备


[0001]本技术涉及电激元器件光信号采集装置、光参数测试装置及设备。

技术介绍

[0002]电激元器件是指利用电能实现特定功能的零部件、装置或设备;对于具有光功能的电激元器件的光信号测试,需要将电激元器件导通电流,再收集其发出的光线。
[0003]LED芯粒为利用电能发光的电极元器件,常规的测试为将LED芯粒粘附于蓝膜,将该蓝膜粘附有LED芯粒的区域贴附于水平设置的载片台;但是,随着LED晶圆尺寸越来越大,LED芯粒粘附于蓝膜的面积越来越大,造成承载载片台的面积需要设置得更大,使载片台平整度加工难度增大;同时,LED芯粒越来越小,载片台的平整度需要继续提高,以保证LED芯粒的测试准确性。
[0004]常规对电激元器件进行测试,采用测试电极主动抵靠电激元器件的焊盘;对于大量电激元器件的测试难以保证所有电激元器件相对于测试电极的平整,从而影响测试。

技术实现思路

[0005]为至少部分解决上述技术问题,本技术提出一种电激元器件光信号采集装置、光参数测试装置及设备。
[0006]本技术的技术方案为:一种电激元器件光信号采集装置,
[0007]固定连接于机架的测试电极,用于对电激元器件导通电流;
[0008]支撑部,沿第一方向正对应所述测试电极并沿第一方向运动连接于所述测试电极。
[0009]进一步的,所述电激元器件光信号采集装置包括第一光信号采集部,
[0010]所述第一光信号采集部 正对应所述电激元器件发光侧设置。
[0011]进一步的,所述第一光信号采集部为设置有收光口的积分球,光线通过收光口进入积分球,所述收光口朝向支撑部;
[0012]所述支撑部包括导光部,所述导光部设置于积分球和测试电极之间;导光部的出光口连通于积分球的收光口;所述导光部运动连接于积分球。
[0013]进一步的,所述导光部包括,
[0014]导光管,所述导光管的一端为出光口;
[0015]以及与所述导光管连接的透光止抵部,所述透光止抵部的一端连通于出光口,所述透光止抵部的面积小于出光口面积。
[0016]进一步的,所述导光管穿过收光口伸入积分球内部。
[0017]进一步的,所述导光管设置有导光通道,所述导光通道一端连接于透光止抵部,所述导光通道远离透光止抵部的一端为出光口。
[0018]进一步的,所述导光通道内壁粘附有漫反射涂层。
[0019]进一步的,所述导光通道为从靠近透光止抵部到出光口逐渐变大的喇叭口状结
构。
[0020]进一步的,所述导光部与积分球之间通过滑轨滑槽连接。
[0021]进一步的,所述滑轨滑槽限定的直线运动方向平行于导光部中光线传输方向。
[0022]进一步的,导光部的出光口正对应积分球的收光口。
[0023]进一步的,所述导光部的出光口面积小于积分球的收光口面积。
[0024]一种光参数测试装置,所述光参数测试装置包括上述的电激元器件光信号采集装置,以及通过光纤连接于所述电激元器件光信号采集装置的光谱仪。
[0025]进一步的,所述积分球内部设置有挡光片,所述挡光片位于收光口和连接光纤的积分球端口之间。
[0026]一种光参数测试设备,所述光参数测试设备包括上述的电激元器件光信号采集装置。
[0027]一种光参数测试设备,所述光参数测试设备包括上述的光参数测试装置。
[0028]进一步的,测试电极包括用于分别连接电激元器件上两个第一焊盘的两根测试探针。
[0029]进一步的,所述两根测试探针安装于同一张针卡。
[0030]进一步的,所述测试探针分别安装于第一针座,所述第一针座为三维调节针座。
[0031]进一步的,所述光参数测试设备包括,
[0032]位于导光部和测试电极之间、中空设置的平面运动机构;
[0033]以及连接于所述平面运动机构的固定部。
[0034]进一步的,所述固定部设置有磁性吸附部。
[0035]进一步的,所述固定部设置有朝向测试电极的真空吸附孔。
[0036]进一步的,所述固定部设置有平行于平面运动机构调节平面的限位卡槽。
[0037]本技术的有益效果在于:采用将电激元器件主动靠近测试电极并导入电荷的方式,便于保证电激元器件相对于测试电极的平整度,从而保证测试的准确度。
附图说明
[0038]图1为本技术电激元器件示意图;
[0039]图2为本技术测试电极、支撑部与电激元器件测试前位置关系示意图;
[0040]图3为本技术测试电极与支撑部直接通过直线运动机构连接示意图;
[0041]图4为本技术测试电极与支撑部间接通过直线运动机构连接示意图;
[0042]图5为第一光信号采集部位置示意图实施例一;
[0043]图6为第一光信号采集部位置示意图实施例二;
[0044]图7为第一光信号采集部位置示意图实施例三;
[0045]图8为第一光信号采集部为积分球结构示意图;
[0046]图9为在图8的基础上设置导光管结构示意图;
[0047]图10A为导光管实施例一;
[0048]图10B为导光管实施例二;
[0049]图11A为内设锥形通道的导光管第一视角示意图;
[0050]图11B为内设锥形通道的导光管沿轴线剖面示意图;
[0051]图12为内设组合锥形通道的导光管沿轴线剖面示意图;
[0052]图13A为内设平面组合通道的导光管第一视角示意图;
[0053]图13B为内设平面组合通道的导光管沿轴线剖面示意图;
[0054]图14A为导光部与积分球之间通过滑轨滑槽连接示意图一;
[0055]图14B为导光部与积分球之间通过滑轨滑槽连接示意图二;
[0056]图15为出光口正对应收光口结构示意图;
[0057]图16为光参数测试装置结构示意图;
[0058]图17为设置有平面运动机构的光参数测试装置结构示意图;
[0059]图18A为测试前发光侧背离焊盘侧元件的位置关系示意图;
[0060]图18B为测试时发光侧背离焊盘侧元件的位置关系示意图。
具体实施方式
[0061]为便于本领域技术人员理解本技术的技术方案,下面将本技术的技术方案结合具体实施例作进一步详细的说明。
[0062]需要说明的是,本实施例的描述涉及到针对各个零部件或结构的分段详细描述,并不说明各零部件或结构不能组合;涉及的各零部件或结构按照方案能够实现的原则组合,能够构成相应的技术方案。
[0063]如图1、图2、图3和图4所示,一种电激元器件101光信号采集装置100,此处的电激元器件是指利用电能能够产生光信号的元器件或零部件,包括但不限于LED芯粒、具有发光功能的模块、或本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电激元器件光信号采集装置,其特征在于:固定连接于机架的测试电极,用于对电激元器件导通电流;支撑部,沿第一方向正对应所述测试电极并沿第一方向运动连接于所述测试电极。2.根据权利要求1所述的电激元器件光信号采集装置,其特征在于:所述电激元器件光信号采集装置包括第一光信号采集部,所述第一光信号采集部正对应所述电激元器件发光侧设置。3.根据权利要求2所述的电激元器件光信号采集装置,其特征在于:所述第一光信号采集部为设置有收光口的积分球,光线通过收光口进入积分球,所述收光口朝向支撑部;所述支撑部包括导光部,所述导光部设置于积分球和测试电极之间;导光部的出光口连通于积分球的收光口;所述导光部运动连接于积分球。4.根据权利要求3所述的电激元器件光信号采集装置,其特征在于:所述导光部包括,导光管,所述导光管的一端为出光口;以及与所述导光管连接的透光止抵部,所述透光止抵部的一端连通于出光口,所述透光止抵部的面积小于出光口面积。5.根据权利要求4所述的电激元器件光信号采集装置,其特征在于:所述导光管穿过收光口伸入积分球内部。6.根据权利要求4所述的电激元器件光信号采集装置,其特征在于:所述导光管设置有导光通道,所述导光通道一端连接于透光止抵部,所述导光通道远离透光止抵部的一端为出光口。7.根据权利要求6所述的电激元器件光信号采集装置,其特征在于:所述导光通道内壁粘附有漫反射涂层。8.根据权利要求6所述的电激元器件光信号采集装置,其特征在于:所述导光通道为从靠近透光止抵部到出光口逐渐变大的喇叭口状结构。9.根据权利要求3所述的电激元器件光信号采集装置,其特征在于:所述导光部与积分球之间通过滑轨滑槽连接。10.根据权利要求9所述的电激元器件光信号采集装置,其特征在于:所述滑轨滑槽限定的直线运动方向平行于导光部中光线传输方向。11....

【专利技术属性】
技术研发人员:韦日文杨应俊沈杰刘振辉
申请(专利权)人:矽电半导体设备深圳股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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