本实用新型专利技术公开了一种电子级三氧化硫气体除雾装置，包括第一除雾器和第二除雾器，所述第二除雾器位于第一除雾器的上方，所述第一除雾器的下方设有第一冲洗管道，所述第一除雾器和第二除雾器之间设有两个第二冲洗管道，两个所述第二冲洗管道相远离的一侧和第一冲洗管道靠近的第一除雾器的一侧均设有若干通过软管连接的喷头，所述喷头的两侧均设有第一转轴和第一固定板，所述第一固定板与相对应的第一冲洗管道或者第二冲洗管道固定连接。本实用新型专利技术所述的一种电子级三氧化硫气体除雾装置，第一除雾器和第二除雾器可以对三氧化硫气体除雾，需要对第一除雾器和第二除雾器进行清理时，可以使得喷头来回摆动，使得清洗效果更佳，便于实际使用。便于实际使用。便于实际使用。
【技术实现步骤摘要】
一种电子级三氧化硫气体除雾装置
[0001]本技术涉及除雾设备
，特别涉及一种电子级三氧化硫气体除雾装置。
技术介绍
[0002]电子级硫酸又称超纯硫酸，属于超净高纯试剂。是工业上用量最大的湿电子化学，主要用于硅晶片的清洗、光刻、腐蚀，印刷电路板的腐蚀和清洗，可有效除去晶片上杂志颗粒、无机残留物和碳沉积物。除雾器主要是由波形叶片、板片、卡条等固定装置组成，在湿法脱硫，吸收塔在运行过程中，易产生粒径为10-60微米的“雾”，“雾”不仅含有水分，它还溶有硫酸、硫酸盐、二氧化硫等，同时也造成风机、热交换器及烟道的玷污和严重腐蚀。在生产制造中，三氧化硫蒸发后要进入除雾器除杂，然而，杂质容易在除雾器表面结垢，而现有技术中也只是通过喷头对除雾器进行喷水清洗，清洗效果不佳。
技术实现思路
[0003]本技术的主要目的在于提供一种电子级三氧化硫气体除雾装置，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：
[0005]一种电子级三氧化硫气体除雾装置，包括第一除雾器和第二除雾器，所述第二除雾器位于第一除雾器的上方，所述第一除雾器的下方设有第一冲洗管道，所述第一除雾器和第二除雾器之间设有两个第二冲洗管道，两个所述第二冲洗管道相远离的一侧和第一冲洗管道靠近的第一除雾器的一侧均设有若干通过软管连接的喷头，所述喷头的两侧均设有第一转轴和第一固定板，所述第一固定板与相对应的第一冲洗管道或者第二冲洗管道固定连接，所述第一转轴与喷头固定连接，所述第一转轴的一端贯穿第一固定板，且所述第一转轴与第一固定板的贯穿处设有轴承，相邻两个所述第一转轴之间通过联轴器连接，其中一个所述第一转轴的一端固定连接有齿轮，所述齿轮的下方设有活动板，所述活动板的顶部固定连接有与齿轮相配合的齿板，所述活动板的底部设有支撑组件，所述活动板的顶部设有驱动组件，所述第一除雾器、第二除雾器、第一冲洗管道和第二冲洗管道通过外接除雾管道固定连接。
[0006]优选的，所述支撑组件包括设置于活动板底部的支撑板，所述支撑板的顶部开设有滑槽，所述滑槽内设有滑块，所述滑块的顶部与活动板的底部固定连接，所述支撑板与相对应的第一冲洗管道或者第二冲洗管道固定连接，所述第一冲洗管道和第二冲洗管道上均固定连接有支撑柱，所述支撑柱的一端与支撑板固定连接。
[0007]优选的，所述滑槽和滑块的横截面为T形结构。
[0008]优选的，所述驱动组件包括设置于活动板顶部的矩形环，所述矩形环与活动板固定连接，所述第一冲洗管道和第二冲洗管道上均固定连接有第二固定板，所述第二固定板的一侧固定连接有电机，所述电机的输出端设有第二转轴，所述第二转轴的一端固定连接
有转盘，所述转盘的一侧固定连接有驱动杆，且所述驱动杆位于矩形环内。
[0009]优选的，所述电机外接控制开关和电源。
[0010]与现有技术相比，本技术具有如下有益效果：通过设置第一除雾器、第二除雾器、第一冲洗管道、第二冲洗管道、喷头、第一转轴、联轴器、第一固定板、轴承、齿轮、活动板、齿板、支撑组件和驱动组件的配合作用，第一除雾器和第二除雾器可以对三氧化硫气体除雾，需要对第一除雾器和第二除雾器进行清理时，可以使得喷头来回摆动，使得清洗效果更佳，便于实际使用。
附图说明
[0011]图1为本技术一种电子级三氧化硫气体除雾装置的整体结构示意图；
[0012]图2为本技术一种电子级三氧化硫气体除雾装置矩形环的结构示意图；
[0013]图3为图1中A处的局部放大示意图。
[0014]图中：1、第一除雾器；2、第二除雾器；3、第一冲洗管道；4、第二冲洗管道；5、喷头；6、第一转轴；7、联轴器；8、第一固定板；9、轴承；10、齿轮；11、活动板；12、齿板；13、支撑板；14、滑槽；15、滑块；16、支撑柱；17、第二固定板；18、电机；19、第二转轴；20、转盘；21、驱动杆；22、矩形环。
具体实施方式
[0015]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0016]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0017]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0018]如图1-3所示，一种电子级三氧化硫气体除雾装置，包括第一除雾器1和第二除雾器2，第二除雾器2位于第一除雾器1的上方，第一除雾器1的下方设有第一冲洗管道3，第一除雾器1和第二除雾器2之间设有两个第二冲洗管道4，两个第二冲洗管道4相远离的一侧和第一冲洗管道3靠近的第一除雾器1的一侧均设有若干通过软管连接的喷头5，喷头5的两侧均设有第一转轴6和第一固定板8，第一固定板8与相对应的第一冲洗管道3或者第二冲洗管道4固定连接，第一转轴6与喷头5固定连接，第一转轴6的一端贯穿第一固定板8，且第一转轴6与第一固定板8的贯穿处设有轴承9，相邻两个第一转轴6之间通过联轴器7连接，其中一个第一转轴6的一端固定连接有齿轮10，齿轮10的下方设有活动板11，活动板11的顶部固定连接有与齿轮10相配合的齿板12，活动板11的底部设有支撑组件，活动板11的顶部设有驱
动组件，第一除雾器1、第二除雾器2、第一冲洗管道3和第二冲洗管道4通过外接除雾管道固定连接；
[0019]支撑组件包括设置于活动板11底部的支撑板13，支撑板13的顶部开设有滑槽14，滑槽14内设有滑块15，滑块15的顶部与活动板11的底部固定连接，支撑板13与相对应的第一冲洗管道3或者第二冲洗管道4固定连接，第一冲洗管道3和第二冲洗管道4上均固定连接有支撑柱16，支撑柱16的一端与支撑板13固定连接；滑槽14和滑块15的横截面为T形结构，避免滑块15脱离滑槽14；驱动组件包括设置于活动板11顶部的矩形环22，矩形环22与活动板11固定连接，第一冲洗管道3和第二冲洗管道4上均固定连接有第二固定板17，第二固定板17的一侧固定连接有电机18，电机18的输出端设有第二转轴19，第二转轴19的一端固定连接有转盘20，转盘20的一侧固定连接有驱动杆21，且驱动杆21位于矩形环22内；电机18外接控制开关和电源。
[0020本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电子级三氧化硫气体除雾装置，其特征在于：包括第一除雾器(1)和第二除雾器(2)，所述第二除雾器(2)位于第一除雾器(1)的上方，所述第一除雾器(1)的下方设有第一冲洗管道(3)，所述第一除雾器(1)和第二除雾器(2)之间设有两个第二冲洗管道(4)，两个所述第二冲洗管道(4)相远离的一侧和第一冲洗管道(3)靠近的第一除雾器(1)的一侧均设有若干通过软管连接的喷头(5)，所述喷头(5)的两侧均设有第一转轴(6)和第一固定板(8)，所述第一固定板(8)与相对应的第一冲洗管道(3)或者第二冲洗管道(4)固定连接，所述第一转轴(6)与喷头(5)固定连接，所述第一转轴(6)的一端贯穿第一固定板(8)，且所述第一转轴(6)与第一固定板(8)的贯穿处设有轴承(9)，相邻两个所述第一转轴(6)之间通过联轴器(7)连接，其中一个所述第一转轴(6)的一端固定连接有齿轮(10)，所述齿轮(10)的下方设有活动板(11)，所述活动板(11)的顶部固定连接有与齿轮(10)相配合的齿板(12)，所述活动板(11)的底部设有支撑组件，所述活动板(11)的顶部设有驱动组件，所述第一除雾器(1)、第二除雾器(2)、第一冲洗管道(3)和第二冲洗管道(4)通过外接除雾管道固定连接。2.根据权利要求1所述的一种电子级三氧化硫气体除雾装置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘奕丰，胡侃中，吴俊贤，李文斌，郑义达，骆彦成，
申请(专利权)人：福建天甫电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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