【技术实现步骤摘要】
一种可再生冷泵
[0001]本技术涉及半导体制造
，具体涉及一种可再生冷泵。
技术介绍
[0002]冷泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵。冷泵可以获得抽气速率最大、极限压力最低的清洁真空，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。冷泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板，冷板主要通过低温冷凝、低温吸附和低温捕集进行低温抽气。
①
低温冷凝：气体分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的气体层上，其平衡压力基本上等于冷凝物的蒸气压。
②
低温吸附：气体分子以一个单分子层厚(10
－8
厘米数量级)被吸附到涂在冷板上的吸附剂表面上。
③
低温捕集：在抽气温度下不能冷凝的气体分子，被不断增长的可冷凝气体层埋葬和吸附。
[0003]然而，当冷泵工作一段时间后，冷板被气体凝结的固体所覆盖，表面温度升高，对气体吸附作用减弱甚至停止，失去抽气作用。因此实际使用时，冷泵工作一段时间后就需要将...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种可再生冷泵，包括冷泵壳体(1)，其特征在于，还包括，加热组件(2)，包括石英外壳(21)及设置于所述石英外壳(21)内的加热丝(24)，所述加热丝(24)延伸至所述石英外壳(21)外，所述石英外壳(21)设置有进气口(22)和出气口(23)，所述出气口(23)与冷泵壳体(1)连通，所述出气口(23)适于与气源连通，以使来自所述气源的气体进入所述石英外壳(21)内进行加热后，进入冷泵壳体(1)内参与冷泵再生。2.根据权利要求1所述的可再生冷泵，其特征在于，所述石英外壳(21)的内壁或外壁设置有反射涂层。3.根据权利要求2所述的可再生冷泵，其特征在于，所述反射涂层的材质为银或铝。4.根据权利要求3所述的可再生冷泵，其特征在于，还包括传输管道(25)，所述传输管道(25)设置于所述进气口(22)与所述出气口(23)之间，...
【专利技术属性】
技术研发人员：产桂方，张民井，洪耀，
申请(专利权)人：枣庄睿诺电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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