蒸发源装置以及蒸镀设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种蒸发源装置及蒸镀设备，蒸发源装置包括：坩埚，所述坩埚包括顶部、底部以及连接所述顶部和所述底部的侧部，所述顶部设有开口；第一加热组件，设置于所述坩埚的周侧；第一冷却组件，设置于所述第一加热组件靠近所述坩埚的一侧；其中，所述第一冷却组件包括多个独立控制的冷却单元，多个所述冷却单元沿所述坩埚底部朝向所述坩埚顶部的方向依次排列。本发明专利技术可以解决现有技术中因蒸发源装置内的有机材料受到过多非必要的加热而发生降解、变性等问题。性等问题。性等问题。

【技术实现步骤摘要】
蒸发源装置以及蒸镀设备


[0001]本专利技术涉及显示装置的制造
，特别是涉及一种蒸发源装置以及蒸镀设备。

技术介绍

[0002]目前，蒸镀工艺被广泛应用于电子器件的镀膜生产中，所用的设备为包括蒸发源装置的蒸镀设备，其原理是将待成膜的源材料放置于真空环境中，通过加热使得源材料加热到一定温度发生蒸发或升华，气化后的源材料凝结沉积在待成膜的基板表面从而完成镀膜。例如，在有机电致发光显示器(OLED)的制备工艺中，需要利用蒸镀设备进行蒸镀工艺，以在待镀基板上形成各个有机发光单元。然而现有的蒸镀设备在蒸镀时存在源材料受到非必要的加热而发生降解、变性等问题，导致蒸镀形成的OLED器件寿命短、性能差。

技术实现思路

[0003]针对上述技术问题，本专利技术提供一种蒸发源装置以及蒸镀设备，以解决现有技术中因蒸发源装置的定向加热功能差导致有机材料会受到过多非必要的加热而存在的有机材料降解阻碍OLED器件性能差和寿命低的问题。
[0004]为达上述目的，本专利技术提供一种蒸发源装置，所述蒸发源装置包括：坩埚，所述坩埚包括顶部、底部以及连接所述顶部和所述底部的侧部，所述顶部设有开口；第一加热组件，设置于所述坩埚的周侧；第一冷却组件，设置于所述第一加热组件靠近所述坩埚的一侧；其中，所述第一冷却组件包括多个独立控制的冷却单元，多个所述冷却单元沿所述坩埚底部朝向所述坩埚顶部的方向依次排列。
[0005]优选地，所述蒸发源装置还包括第二冷却组件，所述第二冷却组件设置于所述坩埚底部外侧；优选地，所述第二冷却组件和所述坩埚底部一体成型。
[0006]优选地，所述第一冷却组件设置于所述坩埚的侧部中；和/或，所述第二冷却组件设置于所述坩埚的底部中。
[0007]优选地，沿所述坩埚底部朝向所述坩埚顶部的方向，所述冷却单元排列的密度逐渐变小。
[0008]优选地，沿所述坩埚底部朝向所述坩埚顶部的方向，所述冷却单元的冷却能力逐渐变小。
[0009]优选地，所述蒸发源装置还包括第二加热组件，所述第二加热组件位于所述坩埚顶部外侧。
[0010]优选地，所述第一加热组件包括多个独立控制的加热单元，所述加热单元沿所述坩埚底部朝向所述坩埚顶部的方向依次排列。
[0011]优选地，沿所述坩埚底部朝向所述坩埚顶部的方向，所述加热单元排列的密度逐渐变大。
[0012]优选地，每一所述冷却单元和所述加热单元还包括温度传感器，用于获取对应的所述冷却单元和所述加热单元位置处的温度。
[0013]本专利技术还提供一种蒸镀设备，该蒸镀设备包括如上所述的蒸发源装置。
[0014]与现有技术相比，本专利技术通过在坩埚外面增加可以独立工作的多组冷却结构，可以在不改变原来加热丝加热条件的情况下，实现定向冷却有机材料以及区域温度精细控制的目的，从而保证蒸发表面附近的有机材料处于较高的蒸发温度，而蒸发表面附近以下的有机材料处于较低的温度。从而，可以最大程度地减少蒸发时有机材料的非必要受热，以及温度对有机材料性能造成的不良影响。而如果蒸镀时，有机材料的性能损失降低，则又可以带来以下两个有益的效果：（1）相同条件下，利用改造后的线蒸发源蒸镀制备的OLED器件的性能更优、寿命更长，因此，此技术方案可以达到进一步提高OLED器件性能和延长OLED器件寿命的效果。
[0015]（2）坩埚中有机材料的单次添加量可以进一步增加，从而延长蒸镀时长，降低加料(PM)频率，进而达到进一步提高产线产能的目的。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为现有技术中的蒸发源装置的示意图。
[0018]图2为本专利技术一实施例的蒸发源装置的示意图。
[0019]图3为图2中的蒸发源装置的壳体的内部结构的示意图。
[0020]图4为本专利技术另一实施例的坩埚的示意图。
具体实施方式
[0021]为使对本专利技术的目的、构造、特征、及其功能有进一步的了解，兹配合实施例详细说明如下。需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，附图所示的各元件的形状、大小、方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术的
技术实现思路
，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0022]如图1所示，现有的蒸发源装置1，包括壳体2、坩埚3以及设置于坩埚3与壳体2之间的加热丝4，在蒸镀时，有机材料放在坩埚3内，然后三组加热丝4对有机材料进行加热，使有机材料蒸发从坩埚3的喷嘴部5喷出。有机材料的蒸发是从蒸发表面开始的，因此，理论上讲，只需要加热位于蒸发表面附近的有机材料即可。但是，由于目前垂直方向的加热丝4仅分成了上下两段，定向加热功能较差，造成位于有机材料蒸发表面之下的材料会受到过多的非必要加热。而以上问题的存在会进一步引起以下两个不利影响：（1）有机材料对高温较为敏感，当受到过多的非必要加热时，会导致有机材料的降解，从而降低OLED器件的性能和寿命；（2）蒸镀时，坩埚中的有机材料一次加入量不能太大，从而导致蒸镀时每间隔一定的时间就需要停机重新加入有机材料，进而影响产线产能的进一步提高。
[0023]请参见图2和图3，图2为本专利技术一实施例的蒸发源装置的示意图，图3为图2中的蒸
发源装置的壳体的内部结构的示意图。本专利技术提供一种蒸发源装置10，蒸发源装置10包括坩埚12、第一加热组件13以及第一冷却组件14。除此之外，在坩埚12外侧还可设置有壳体11，壳体11的顶部111设置有开口112，坩埚12设置于壳体11内。坩埚12包括顶部122、底部123以及连接所述顶部122和所述底部123的侧部121，所述顶部122设有开口125，坩埚12的内部形成有用于放置蒸镀材料的腔室124，且坩埚12的顶部122上的开口125与壳体11上的开口112连通，由于蒸镀材料的喷发，其中上述蒸镀材料例如为有机材料。
[0024]另外，上述第一加热组件13设置于坩埚12的周侧，并位于壳体11内。其中，上述坩埚12的周侧可以理解为坩埚12侧部121一周的外侧，如果坩埚12的横截面为多边形结构，坩埚12的侧部121由多个侧壁围绕形成，那么坩埚12的周侧可以为坩埚12某一侧壁或多个侧壁的外侧；如果坩埚12的横截面为圆形结构，则坩埚12的周侧为坩埚12的环形侧壁的外侧。
[0025]其中，较佳地，为了保证腔室124中蒸镀材料的受热均匀性，第一加热组件13环绕地设置于坩埚12的周侧。
[0026]第一冷却组件14设置于第一加热组件13靠近坩埚12的一侧；其中，第一冷却组件包括多个独立控制的冷却单元，多个冷却单元沿坩埚12底部123朝向坩埚12顶部122的方向依次排列。例如本实施方式中，第一冷却组件14包括4个冷却单元1411、1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发源装置包括：坩埚，所述坩埚包括顶部、底部以及连接所述顶部和所述底部的侧部，所述顶部设有开口；第一加热组件，设置于所述坩埚的周侧；第一冷却组件，设置于所述第一加热组件靠近所述坩埚的一侧；其中，所述第一冷却组件包括多个独立控制的冷却单元，多个所述冷却单元沿所述坩埚底部朝向所述坩埚顶部的方向依次排列。2.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发源装置还包括第二冷却组件，所述第二冷却组件设置于所述坩埚底部外侧；优选地，所述第二冷却组件和所述坩埚底部一体成型。3.如权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，所述第一冷却组件设置于所述坩埚的侧部中；和/或所述第二冷却组件设置于所述坩埚的底部中。4.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，沿所述坩埚底部朝向所述坩埚顶部的方向，所述冷却单元排列的密度逐渐变小。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：张欢欢，秦双亮，林超，李玉武，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：发明
国别省市：