一种互锁电路和激光器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种互锁电路和激光器，互锁控制电路在接收到的互锁信号为正常时，输出第一电源信号至接触器电路，使得接触器电路导通；接触器电路在上电导通后输出第二电源信号至互锁控制电路，使得互锁控制电路导通；互锁控制电路在接收到的互锁信号为异常时保持导通，并停止输出第一电源信号至接触器电路，使得接触器电路关断。本申请技术方案中在互锁信号由正常变为异常后，互锁控制电路保持导通，而接触器电路关断，形成互锁。保证设备不会因为互锁信号反复产生而反复启动关闭设备，从而避免了互锁失效。避免了互锁失效。避免了互锁失效。

【技术实现步骤摘要】
一种互锁电路和激光器


[0001]本申请属于激光
，尤其涉及一种互锁电路和激光器。

技术介绍

[0002]准分子激光器是一种面向深紫外特征应用的脉冲式气体激光器，是优秀的微电子光刻系统用激光光源。通常激光器中需要设置互锁电路，避免激光器出现故障时造成设备的损坏。
[0003]现有的互锁电路，通常只有在互锁信号产生后，断掉相关工作设备，互锁信号反复容易使设备长期启停造成危害；同时如果存在大电流，会有造成继电器粘连的可能，导致互锁失效，从而引发危险。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请实施例提供了一种互锁电路和激光器，以解决现有技术中互锁电路中互锁失效的问题。
[0005]本申请实施例的第一方面提供了互锁电路，所述互锁电路包括接触器电路及互锁控制电路；其中，
[0006]所述互锁控制电路，用于在接收到的互锁信号为正常时，输出第一电源信号至所述接触器电路，使得所述接触器电路导通；
[0007]所述接触器电路，用于在上电导通后输出第二电源信号至所述互锁控制电路，使得所述互锁控制电路导通；
[0008]所述互锁控制电路，还用于在接收到的互锁信号为异常时保持导通，并停止输出第一电源信号至所述接触器电路，使得所述接触器电路关断。
[0009]优选地，所述互锁控制电路包括第一继电器，所述第一继电器包括第一线圈、第一公共触点、第二公共触点、第一常开触点、第二常开触点、第一常闭触点及第二常闭触点；所述第一线圈的第一端接地，所述第一线圈的第二端与所述第二公共触点连接；
[0010]在第一线圈未吸合时，所述第一公共触点与所述第一常闭触点连接，所述第一公共触点还接收互锁信号；所述第二公共触点与所述第二常闭触点连接，所述第二公共触点还与所述接触器电路连接；
[0011]在所述第一线圈吸合时，所述第一公共触点与所述第一常开触点连接，所述第二公共触点与所述第二常开触点连接。
[0012]优选地，所述互锁控制电路，还用于在接收到的互锁信号由异常变为正常时，保持导通。
[0013]优选地，所述互锁电路还包括复位电路，所述复位电路用于在收到触发时发出复位信号，所述互锁控制电路接收到复位信号时断开，输出第一电源信号至所述接触器电路，使得所述接触器电路导通。
[0014]优选地，所述复位电路包括复位开关，所述复位开关的第一端与所述互锁控制电
路连接，所述复位开关的第二端与所述接触器电路连接。
[0015]优选地，所述复位开关为常开复位开关。
[0016]优选地，所述接触器电路包括第二线圈、第三常闭触点、第四常闭触点、第三常开触点、第四常开触点、第五常开触点及第六常开触点；其中
[0017]所述第三常闭触点与供电电源连接，所述第四常闭触点接地；所述第三常开触点、第四常开触点、第五常开触点及第六常开触点均与所述互锁控制电路连接，所述第六常开触点还与所述第二线圈的第一端连接，所述第二线圈的第二端接地。
[0018]优选地，所述互锁电路还包括互锁指示电路，在所述互锁控制电路在接收到的互锁信号为异常时，停止输出第一电源信号至所述接触器电路，使得所述接触器电路关断，互锁指示电路发出报警信号。
[0019]优选地，所述互锁指示电路包括指示灯，所述指示灯的第一端与供电电源连接，所述指示灯的第二端与所述第三常闭触点连接。
[0020]本申请实施例的第二方面提供了一种激光器，所述激光器包括如上所述的互锁电路。
[0021]本申请的有益技术效果在于：本申请技术方案包括接触器电路及互锁控制电路，形成了一种互锁电路。其中，互锁控制电路在接收到的互锁信号为正常时，输出第一电源信号至接触器电路，使得接触器电路导通；接触器电路在上电导通后输出第二电源信号至互锁控制电路，使得互锁控制电路导通；互锁控制电路在接收到的互锁信号为异常时保持导通，并停止输出第一电源信号至接触器电路，使得接触器电路关断。本申请技术方案中在互锁信号由正常变为异常后，互锁控制电路保持导通，而接触器电路关断，形成互锁。保证设备不会因为互锁信号反复产生而反复启动关闭设备，从而避免了互锁失效。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1是本申请实施例提供的互锁电路第一实施例的功能模块图；
[0024]图2是本申请实施例提供的互锁电路第二实施例的功能模块图；
[0025]图3是本申请实施例提供的互锁电路一实施例的电路结构示意图。
[0026]附图标号说明：
[0027][0028]具体实施方式
[0029]为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚地描述，显然，所描述的实施例是本申请一路的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
[0030]本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“包括”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含一系列步骤或单元的过程、方法或系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。此外，术语“第一”、“第二”和“第三”等是用于区别不同对象，而非用于描述特定顺序。
[0031]本实施例提供一种互锁电路，应用于一种准分子激光器。准分子激光器是一种面向深紫外特征应用的脉冲式气体激光器，是优秀的微电子光刻系统用激光光源。
[0032]参照图1，该互锁电路包括接触器电路200及互锁控制电路100。所述互锁控制电路100，用于在接收到的互锁信号为正常时，输出第一电源信号至所述接触器电路200，使得所述接触器电路200导通。
[0033]所述接触器电路200，用于在上电导通后输出第二电源信号至所述互锁控制电路100，使得所述互锁控制电路100导通。需要说明的是，该接触器电路200中包括有接触器，该接触器电路200可以控制电源给互锁控制电路100供电。
[0034]所述互锁控制电路100，还用于在接收到的互锁信号为异常时保持导通，并停止输出第一电源信号至所述接触器电路200，使得所述接触器电路200关断。本实施例中，该互锁控制电路100包括有继电器，该继电器能够在互锁信号异常时，保持导通状态，使得接触器电路200不会因为互锁信号反复而引起设备的反复供放电。
[0035]本申请技术方案设置了所述互锁电路包括接触器电路200及互锁控制电路100；其中，所述互锁控制电路100在接收到的互锁信号为正常时，输出第一电源信号至所述接触器电路20本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种互锁电路，其特征在于，所述互锁电路包括接触器电路及互锁控制电路；其中，所述互锁控制电路，用于在接收到的互锁信号为正常时，输出第一电源信号至所述接触器电路，使得所述接触器电路导通；所述接触器电路，用于在上电导通后输出第二电源信号至所述互锁控制电路，使得所述互锁控制电路导通；所述互锁控制电路，还用于在接收到的互锁信号为异常时保持导通，并停止输出第一电源信号至所述接触器电路，使得所述接触器电路关断。2.如权利要求1所述的互锁电路，其特征在于，所述互锁控制电路包括第一继电器，所述第一继电器包括第一线圈、第一公共触点、第二公共触点、第一常开触点、第二常开触点、第一常闭触点及第二常闭触点；所述第一线圈的第一端接地，所述第一线圈的第二端与所述第二公共触点连接；在第一线圈未吸合时，所述第一公共触点与所述第一常闭触点连接，所述第一公共触点还接收互锁信号；所述第二公共触点与所述第二常闭触点连接，所述第二公共触点还与所述接触器电路连接；在所述第一线圈吸合时，所述第一公共触点与所述第一常开触点连接，所述第二公共触点与所述第二常开触点连接。3.如权利要求1所述的互锁电路，其特征在于，所述互锁控制电路，还用于在接收到的互锁信号由异常变为正常时，保持导通。4.如权利要求3所述的互锁电路，其特征在于，所述互锁电路还包括复位电路，所述复位电路用于在收到触发时发出复位信号...

【专利技术属性】
技术研发人员：张兵，徐向宇，江锐，曹沛，袁钊，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：