【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉热场工装夹具
[0001]本技术涉及直拉单晶
,特别是涉及一种单晶炉热场工装夹具。
技术介绍
[0002]单晶炉拉晶结束之后,为了提高单晶炉的生产效率,一般在停炉6-8个小时后,要打开直拉单晶炉,对直拉单晶炉进行清理。由于热场的保温性能良好,停炉冷却一段时间后,埚邦的温度仍然在100至200℃,不借助拆卸工具,人工很难进行拆开清理作业。因此,需要带很厚的高温手套。高温手套虽然有保护人手不受高温烫伤的作用,但高温手套很厚且笨重,会影响操作人员的灵活性且有被烫伤的风险,会造成工作效率低。
[0003]伴随现有直拉单晶炉的大尺寸热场,匹配的埚邦重量也由10kg增加至30kg。并且拆炉后石英坩埚与埚邦会粘附到一起,重量会超过50kg,只有人工穿戴高温手套拆取(黏在埚帮上的石英坩埚会因热胀冷缩产生裂痕需要一点一点剥下来),很容易出现因为埚邦掉落导致人员烫伤的安全事故,且耗时长,不利于提高人员操作的安全性。
[0004]如图1所示,图1为现有技术中一种典型的单晶炉热场工装夹具的示意图。埚邦夹具由不锈钢加工 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉热场工装夹具,其特征在于,包括由两个弧形圈构成的埚邦外圈(1)、固定于所述埚邦外圈(1)两侧的手柄(3),以及固定于所述埚邦外圈(1)里层的埚邦内环(2),所述埚邦内环(2)为具有设定厚度的聚四氟乙烯内环。2.根据权利要求1所述的单晶炉热场工装夹具,其特征在于,所述埚邦内环(2)的内壁开设有花纹。3.根据权利要求2所述的单晶炉热场工装夹具,其特征在于,所述花纹为菱形网状花纹。4.根据权利要求3所述的单晶...
【专利技术属性】
技术研发人员:卢亮,张涛,金浩,肖贵云,邓清香,
申请(专利权)人:晶科能源有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。