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一种单晶炉快速冷却装置制造方法及图纸

技术编号:27280628 阅读:30 留言:0更新日期:2021-02-06 11:47
本实用新型专利技术属于单晶炉辅助设备领域,尤其是一种单晶炉快速冷却装置,针对现有的单晶炉冷却用冷水机工作时会发生较大的震动,导致工作噪音较大,容易造成噪音污染,环保性较差;稳定性较差,容易在地面上发生晃动,实用性较差的问题,现提出如下方案,其包括支撑箱的顶壁的四角均开设有活动孔,活动孔的内部间隙配合有垂直的活动柱,四个活动柱的顶端固定连接有支撑板,支撑板的顶壁上安装有冷水机本体,支撑箱的外顶壁的四角分别与支撑板的底壁的四角连接有弹簧,本实用新型专利技术设计新颖,工作时发生的震动较小,工作噪音较小,可避免造成噪音污染,环保性优良,稳定性较高,不易在地面上发生晃动,实用性较高。实用性较高。实用性较高。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉快速冷却装置


[0001]本技术涉及单晶炉辅助设备
,尤其涉及一种单晶炉快速冷却装置。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。使用单晶炉的过程中,需要通过冷水机对单晶炉进行冷却。
[0003]但是现有的单晶炉冷却用冷水机工作时会发生较大的震动,导致工作噪音较大,容易造成噪音污染,环保性较差;为了方便移动,冷水机的底部一般会安装万向轮,但是方便移动的同时,万向轮的安装也导致现有的单晶炉冷却用冷水机的稳定性较差,容易在地面上发生晃动,实用性较差,为此我们提出一种单晶炉快速冷却装置。

技术实现思路

[0004]本技术提出的一种单晶炉快速冷却装置,解决了现有的单晶炉冷却用冷水机工作时会发生较大的震动,导致工作噪音较大,容易造成噪音污染,环保性较差;为了方便移动,冷水机的底部一般会安装万向轮,但是方便移动的同时,万向轮的安装也导致现有的单晶炉冷却用冷水机的稳定性较差,容易在地面上发生晃动,实用性较差的问题。
[0005]为了实现上述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉快速冷却装置,包括支撑箱(1),其特征在于,所述支撑箱(1)的顶壁的四角均开设有活动孔(19),所述活动孔(19)的内部间隙配合有垂直的活动柱(20),四个所述活动柱(20)的顶端固定连接有支撑板(3),所述支撑板(3)的顶壁上安装有冷水机本体(4),所述支撑箱(1)的外顶壁的四角分别与所述支撑板(3)的底壁的四角连接有弹簧(2),所述支撑箱(1)的两侧内侧壁上分别通过轴承转动连接有第一丝杆(8)和水平的第二丝杆(14),所述第一丝杆(8)与第二丝杆(14)固定连接,所述支撑箱(1)的内顶壁的两侧均滑动连接有垂直的传动板(12),两个所述传动板(12)分别螺旋配合连接在所述第一丝杆(8)的外圈和所述第二丝杆(14)的外圈,所述支撑箱(1)的底壁的两侧均开设有升降孔(17),所述升降孔(17)的内部间隙配合有垂直的升降柱(10),所述升降柱(10)的顶端延伸至支撑箱(1)的内部且固定连接有水平的连接板(9),所述连接板(9)的顶端铰接有呈倾斜设置的连接杆(11),两个所述连接杆(11)的顶端分别铰接在两个所述传动板(12)的底端,两个所述升降柱(10)的底端延伸至支撑箱(1)的下方且固定连接有水平的升降板(5),所述升降板(5)的底壁上固定有压地板(6),位于两...

【专利技术属性】
技术研发人员:宋波
申请(专利权)人:宋波
类型:新型
国别省市:

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