一种发热膜式液体加热器及其均温加热方法技术

本发明专利技术公开了一种发热膜式液体加热器及其均温加热方法，筒体两端设端头固定板，热管设筒体内，两端头固定板上分别贯穿设管道口，管道口内设连接管，两连接管内端均设密封连接组件，热管外侧涂覆发热膜层，发热膜层左右两侧连接设电极层，电极层与外接电源相连，发热膜层外侧涂覆绝缘层，热管内固定连接分流柱，热管内侧和分流柱之间配合形成加热腔，分流柱左右两端及其内侧均设分流槽，分流槽两外端侧与连接管相连通，分流槽与加热腔相连通。发热膜层通电产生热量，热量向内传导至热管和分流柱上，热量向外传导至筒体；液体经连接管和分流槽流入加热腔中。改善对加热腔中流过的液体流的加热均匀性。流的加热均匀性。流的加热均匀性。

【技术实现步骤摘要】
一种发热膜式液体加热器及其均温加热方法


[0001]本专利技术涉及一种高洁净度、受精密控温的液体加热器，尤其是涉及一种发热膜式液体加热器及其均温加热方法。

技术介绍

[0002]半导体工业中的很多场合需要使用高洁净度、受精密控温的液体，常常需要在液体管线系统中设置管线式加热器对液体流进行精密地加热及控温，特别是需要适用于高洁净度场合的管线式加热器对液体进行温度调节。例如在浸没式光刻机系统中，为了实现更好的光刻效果和更高的曝光质量，需要在投影物镜与晶圆基板间填充稳定流动的浸没液体；为保证浸没液体流对穿过其中的激光束影响最小，要求浸没液体流的温度被精密调控以保证其光学性质均匀；通常在浸没液体流入浸没单元前，需要设置加热器、冷凝器和热交换器等对浸没液体流进行温度控制。而现有的加热器缺少对液体流加热均匀性的针对性设计，导致浸没液体流经现有的加热器被加热后，浸没液体流内部间会因与发热元件的接触时间差异和传热时间过短造成浸没液体流在空间上存在一定温差，而具有温差的浸没液体则会影响后续的温度测量和反馈调节精度，并最终影响光刻机曝光成像质量。
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种发热膜式液体加热器，包括热管，其特征在于：热管外侧涂覆有发热膜层，发热膜层与外接电源电性连接实现通电加热功能；热管的轴向两端设置连接管；热管内部空间内设置分流柱，分流柱沿热管的轴向延伸，热管内侧和分流柱之间配合形成加热腔，分流柱的轴向两端设有分流槽，分流槽连通加热腔与连接管内部的贯通空间。2.按照权利要求1所述的发热膜式液体加热器，其特征在于：所述发热膜层包含石墨烯材料。3.按照权利要求1所述的发热膜式液体加热器，其特征在于：所述热管轴向两端设置密封端盖，密封端盖与连接管固定连接，密封端盖向热管的轴向端面压紧，密封端盖与热管的轴向端面之间设置密封圈。4.按照权利要求1所述的发热膜式液体加热器，其特征在于：所述热管的两端设置密封连接组件，密封连接组件包括密封端盖、紧压挡板、预紧螺栓、紧固螺母、预紧弹簧和紧固连接件，热管外侧和筒体内侧设置紧固连接件，两个密封端盖分别设于左右两个连接管的内端外侧处并与连接管固定连接，两个紧压挡板设于其对应所在一端的密封端盖外侧，左右两端侧的两个密封端盖内侧间连接设有热管，紧固连接件贯穿左右两侧的紧压挡板，紧固螺母通过螺纹与紧固连接件靠右一端固定连接并压紧于右侧紧压挡板的外端面，预紧螺母同时将套设于紧固连接件的预紧弹簧压紧于左侧紧压挡板的外端面，紧固螺母、紧固连接件、预紧螺母和预紧弹簧配合以在热管和密封端盖的轴向两端施加预紧力，实现热管和密封端盖间紧密连接。5.按照权利要求4所述的发热膜式液体加热器，其特征在于：所述紧固连接件是至少两根沿周向均布的杆。6.按照权利要求4所述的发热膜式液体加热...

【专利技术属性】
技术研发人员：付新，罗政，赵艺文，杜森，徐宁，
申请(专利权)人：浙江启尔机电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：