一种用于超纯水输送的非金属离心泵制造技术

本实用新型专利技术公开了输送泵技术领域中一种用于超纯水输送的非金属离心泵，包括离心泵和供水装置等，通过设置供水装置，在离心水泵在启动前，供水装置向离心泵的泵壳和吸水管内输水，代替人力灌水，避免人力参与，以减少与纯水的接触，纯水由进水管进入至供水外壳内，并由出水管排出至离心泵内，通过外部液压缸工作，带动活塞移动，活塞杆在活塞室内移动，循环给予第一出水室和第二出水室压力，使开关阀板不断打开和封闭对应的通水孔，从而使水分别沿第一出水室和第二出水室不断的涌进出水管，一定时间后，启动离心泵，然后停止外部液压缸工作即可。即可。即可。

【技术实现步骤摘要】
一种用于超纯水输送的非金属离心泵


[0001]本技术涉及输送泵
，具体领域为一种用于超纯水输送的非金属离心泵。

技术介绍

[0002]近年来随着人工智能、物联网和5G通信等创新技术的持续发展和快速应用，我国半导体产业持续增长，半导体工业用水要求极为严苛，以满足日益小型但高速、高效的高端芯片制造要求。芯片的制造已经在纳米线宽下进行高精度的蚀刻、光刻及制作冲洗等，因此要求相对应的冲洗芯片用的超纯水的纯度越来越高、越来越苛刻，现有离心泵，是利用叶轮旋转而使水发生离心运动来工作的，离心水泵在启动前，必须使泵壳和吸水管内充满水，此过程一般由人力灌水，然后启动电机，使泵轴带动叶轮和水做高速旋转运动，水发生离心运动，被甩向叶轮外缘，经蜗形泵壳的流道流入水泵的压水管路，对于超纯水的输送，其过程中应尽量避免人力参与，以减少与纯水的接触，现提出一种用于超纯水输送的非金属离心泵。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种用于超纯水输送的非金属离心泵，以解决
技术介绍
中提到的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于超纯水输送的非金属离心泵，包括离心泵，所述离心泵的进水端连通设置有供水装置，所述供水装置包括供水外壳，所述供水外壳对称的侧壁上分别连通设置有进水管和出水管，所述出水管与所述离心泵的进水端法兰连接，所述供水外壳的内侧壁上对称固定连接有活塞隔板，两个所述活塞隔板与所述供水外壳的侧壁共同组成活塞室，所述活塞室的内部设置有活塞，所述供水外壳的内部且位于所述活塞室的两侧分别连通设置有第一出水室和第二出水室，所述第一出水室和所述第二出水室上均设置有通水孔，所述第一出水室和所述第二出水室的内部且位于所述通水孔处均活动连接有开关阀板。
[0005]优选的，两个所述活塞隔板相对的侧壁上分别对称固定连接有限位板。
[0006]优选的，所述活塞包括活塞板，所述活塞板位于所述活塞室的内部，所述活塞板的侧壁上固定连接活塞杆的一端，所述活塞杆的另一端穿出所述供水外壳与液压缸的输出端固定连接。
[0007]优选的，所述供水外壳的外侧壁上且位于所述活塞杆的穿出处螺纹连接有密封塞。
[0008]优选的，所述开关阀板包括对称设置的阀板体，两个所述阀板体之间固定连接有连接杆，所述供水外壳的内侧壁上固定连接有用于支撑所述连接杆的支撑环，所述连接杆滑动连接于所述支撑环的内侧壁上。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果是：一种用于超纯水输送的非金属离心
泵，通过设置供水装置，在离心水泵在启动前，供水装置向离心泵的泵壳和吸水管内输水，代替人力灌水，避免人力参与，以减少与纯水的接触，纯水由进水管进入至供水外壳内，并由出水管排出至离心泵内，通过外部液压缸工作，带动活塞移动，活塞杆在活塞室内移动，循环给予第一出水室和第二出水室压力，使开关阀板不断打开和封闭对应的通水孔，从而使水分别沿第一出水室和第二出水室不断的涌进出水管，一定时间后，启动离心泵，然后停止外部液压缸工作即可。
附图说明
[0010]图1为本技术第一状态下主体结构示意图；
[0011]图2为本技术第二状态下主体结构示意图；
[0012]图3为本技术离心泵仰视图；
[0013]图4为本技术侧面剖视图。
[0014]图中：1-离心泵、2-供水装置、201-供水外壳、202-进水管、203-出水管、204-活塞隔板、205-活塞室、206-活塞、2061-活塞板、2062-活塞杆、207-限位板、208-第一出水室、209-第二出水室、210-通水孔、211-开关阀板、2111-阀板体、2112-连接杆、2113-支撑环、3-密封塞。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0016]关于方向的描述(上、下、左、右、前、后)，是以说明书附图图1所示的结构为参考所进行的描述，但本技术的实际使用方向并不限于此。
[0017]实施例：
[0018]请参阅图1-4，本技术提供一种技术方案：请参阅图3，一种用于超纯水输送的非金属离心泵，包括离心泵1，所述离心泵1为输送纯水的主要动力部件，其为现有离心泵，通过电机带动泵轴转动，从而带动叶轮和水做高速旋转运动，水发生离心运动，被甩向叶轮外缘，经蜗形泵壳的流道流入水泵的压水管路，所述离心泵1的进水端连通设置有供水装置，所述供水装置的设置用于在离心水泵在启动前，向所述离心泵1的泵壳和吸水管内输水，代替人力灌水，避免人力参与，以减少与纯水的接触，请参阅图1和2，所述供水装置包括供水外壳201，所述供水外壳201用于承载其内部构件，所述供水外壳201对称的侧壁上分别连通设置有进水管202和出水管203，所述出水管203与所述离心泵1的进水端法兰连接，纯水由所述进水管202进入至所述供水外壳201内，并由所述出水管203排出至所述离心泵1内，所述供水外壳201的内侧壁上对称固定连接有活塞隔板204，两个所述活塞隔板204与所述供水外壳201的侧壁共同组成活塞室205，所述活塞室205的内部设置有活塞206，所述供水外壳201的内部且位于所述活塞室205的两侧分别连通设置有第一出水室208和第二出水室209，所述第一出水室208和所述第二出水室209上均设置有通水孔210，所述第一出水室208和所述第二出水室209的内部且位于所述通水孔210处均活动连接有开关阀板211，所述
活塞206的输入端与外部液压缸的输出端固定连接，外部液压缸工作，带动所述活塞206移动，所述活塞杆206在所述活塞室205内移动，循环给予所述第一出水室208和所述第二出水室209压力，使所述开关阀板211不断打开和封闭对应的所述通水孔210，从而使水分别沿所述第一出水室208和所述第二出水室209不断的涌进所述出水管203，一定时间后，启动所述离心泵1，然后停止外部液压缸工作即可。
[0019]请参阅图1，具体而言，两个所述活塞隔板204相对的侧壁上分别对称固定连接有限位板207。所述限位板207的设置用于限定所述活塞206的位移范围。
[0020]请参阅图2，具体而言，所述活塞206包括活塞板2061，所述活塞板2061位于所述活塞室205的内部，所述活塞板2061的侧壁上固定连接活塞杆2062的一端，所述活塞杆2062的另一端穿出所述供水外壳201与液压缸的输出端固定连接。外部液压缸工作，带动所述活塞杆2062移动，所述活塞杆2062移动带动所述活塞板2061在所述活塞室205内移动。
[0021]请参阅图2，具体而言，所述供水外壳201的外侧壁上且位于所述活塞杆2062的穿出处螺纹连接有密封塞3。所述密封塞本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于超纯水输送的非金属离心泵，包括离心泵(1)，其特征在于：所述离心泵(1)的进水端连通设置有供水装置，所述供水装置包括供水外壳(201)，所述供水外壳(201)对称的侧壁上分别连通设置有进水管(202)和出水管(203)，所述出水管(203)与所述离心泵(1)的进水端法兰连接，所述供水外壳(201)的内侧壁上对称固定连接有活塞隔板(204)，两个所述活塞隔板(204)与所述供水外壳(201)的侧壁共同组成活塞室(205)，所述活塞室(205)的内部设置有活塞(206)，所述供水外壳(201)的内部且位于所述活塞室(205)的两侧分别连通设置有第一出水室(208)和第二出水室(209)，所述第一出水室(208)和所述第二出水室(209)上均设置有通水孔(210)，所述第一出水室(208)和所述第二出水室(209)的内部且位于所述通水孔(210)处均活动连接有开关阀板(211)。2.根据权利要求1所述的一种用于超纯水输送的非金属离心泵，其特征在于：两个所述活塞隔板(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓宇峰，高静，王晓燕，
申请(专利权)人：沃威沃水技术中国有限公司，
类型：新型
国别省市：