一种高世代玻璃基板微波纹度的在线测量方法技术

技术编号:27264900 阅读:25 留言:0更新日期:2021-02-06 11:28
本发明专利技术公开一种高世代玻璃基板微波纹度的在线测量方法,包括以下步骤:a、沿玻璃基板的浮法流向,将玻璃基板分隔标记成一组取样矩形块,取样矩形块按照矩形阵列分布;b、每个取样矩形块的中心线作为取样线,取样线与浮法流向垂直;c、采用光学微波纹度检查机对玻璃基板所有的取样线进行扫描,每个取样线的微波纹度代表对应取样矩形块的微波纹度;d、计算所有取样矩形块微波纹度的平均值,该平均值作为玻璃基板的微波纹度平均值;所有取样矩形块中的最大微波纹度,作为玻璃基板的最大微波纹度;所有取样矩形块中的最小微波纹度,作为玻璃基板的最小微波纹度;该方法能够在线、且无损地对玻璃基板的微波纹度进行全面测量,测量效率高,准确度高。准确度高。准确度高。

【技术实现步骤摘要】
一种高世代玻璃基板微波纹度的在线测量方法


[0001]本专利技术涉及玻璃基板检测
,具体是一种高世代玻璃基板微波纹度的在线测量方法。

技术介绍

[0002]浮法工艺生产的玻璃基板垂直于浮法方向存在微波纹,玻璃制造过程需检测微波纹度以分级,玻璃面加工后需检测微波纹度以验证面加工质量。现有手段一般垂直于浮法玻璃流向取一条玻璃带用于抽测微波纹度和粗糙度。使用探针仪扫描取样玻璃带中线得到垂直与浮法流向一条线的微波纹度数值。因探针仪扫描的长度局限,扫描前通常根据探针仪的扫描长度把玻璃带切割成一组样品,样品1、样品2、样品3等。
[0003]现有的微波纹度检测手段存在如下的局限性:1、抽测样本量数量少。只能抽测某一个时间点或某个点的检测数据,不能如实反应整板玻璃的微波纹度。
[0004]2、抽测样本长度小。抽测时使用探针扫描法检测微波纹度,测试样本不大于50cmx50cm,扫描长度≤20cm,只能测量1小段的平面度,不可知整板的微波纹度。
[0005]3、抽测过程需要对玻璃做破坏性实验,导致不能过多抽检玻璃
[000本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高世代玻璃基板微波纹度的在线测量方法,其特征在于,包括以下步骤:a、沿玻璃基板的浮法流向,将玻璃基板分隔标记成一组取样矩形块,取样矩形块按照矩形阵列分布;b、每个取样矩形块的中心线作为取样线,取样线与浮法流向垂直;c、采用光学微波纹度检查机对玻璃基板所有的取样线进行扫描,每个取样线的微波纹度代表对应取样矩形块的微波纹度;...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱永迁张冲侯建伟曹志强权立振朱猛
申请(专利权)人:蚌埠中光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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