一种PET柔性功能膜镀膜系统技术方案

本发明专利技术涉及原子层沉积技术领域，特别是涉及一种PET柔性功能膜镀膜系统。本发明专利技术所提供的PET柔性功能膜镀膜系统包括流体反应源输入管道、镀膜装置和第一配料装置，镀膜装置包括镀膜装置本体、镀膜装置流体引入管道和镀膜装置流体引出管道，第一配料装置包括第一配料装置本体、第一配料装置流体引入管道和第一配料装置流体引出管道，镀膜装置流体引入管道和第一配料装置流体引入管道均与流体反应源输入管道流体连通。本发明专利技术所提供的PET柔性功能膜镀膜系统有利于三维钝体表面生长过程中层流条件的建立、空气动力学界面层分离的抑制、以及镀膜过程的迅速完成，并能够节约原子层沉积原料2倍以上，且可实现快速镀膜。且可实现快速镀膜。且可实现快速镀膜。

【技术实现步骤摘要】
一种PET柔性功能膜镀膜系统


[0001]本专利技术属于镀膜
，特别是涉及一种PET柔性功能膜镀膜系统。

技术介绍

[0002]在现代科学技术的发展中，特别是纳米科学技术的发展中，几乎所有的相关应用都涉及以实现各种表面功能为目的的纳米镀膜技术，特别是可以在原子尺度进行厚度控制的纳米镀膜技术。在镀膜方法的选取上，液相条件的湿化学方法虽然成本低廉，却难以形成等厚且均匀致密的高质量纳米镀膜层。目前被广泛采用的纳米镀膜技术都是基于气相条件下的纳米镀膜技术，例如物理气相沉积、化学气相沉积以及原子层沉积等。其中原子层沉积技术由于具有独特的表面自限制生长机理，其应用范围在近年来随着半导体及微电子产业的发展得到了迅速拓展。
[0003]基于原子层沉积的镀膜技术采用反应物分子有序交替输运、表面自限制性生长、步进式表面覆盖等方式和机理来控制物体表面的气相化学反应，从而实现纳米/亚纳米尺度内薄膜生长速率的精确控制。目前，在需要制备超薄、高均匀性和保型性极好的各种薄膜材料的应用中，原子层沉积技术具有不可替代的地位。正因如此，原子层沉积技术有着广泛的应用领域，本专利技术所述PET柔性功能膜镀膜系统正是原子层沉积技术的其中一种下位应用，也是原子层沉积技术在柔性功能膜镀膜方向法人一种用途探索。据不完全统计，原子层沉积技术的应用在过去的十年中成指数增长，目前这种方法已经被广泛应用于半导体及相关产业，例如：集成电路、传感器、III-V器件、微/纳机电系统制造业、光学器件和光电工程、防锈耐磨材料和可再生能源应用（比如：太阳能）。其他大规模的应用包括防腐、能源存储和生产（例如：先进薄膜电池和燃料电池）、柔性电子水分或者气体密封涂层、针对医疗设备和植入体的生物相容性涂层、水净化、先进的照明设备（例如：LED）、生态包装材料、装饰涂料、玻璃防裂层、防水涂料等。
[0004]在传统的PET柔性功能膜镀膜系统中，为了保证整个腔体在薄膜生长过程中层流条件的建立、维持以及湍流回流的抑制，在薄膜生长步骤内，气体流量通常被限定在较小的数值（传统PET柔性功能膜镀膜系统的流量一般设定在100-500sccm之间）。此流量虽然能保证薄膜生长时的最佳空气动力学环境，但难以实现反应副产物迅速排出所需要的气体流量。传统PET柔性功能膜镀膜系统只设定一个统一气体流量，无法对表面沉积过程和反应副产物清空过程实行分别流量控制。同时，我们也发现，比传统PET柔性功能膜镀膜系统更大的气体流量（≥1000sccm）更利于反应副产物的迅速及有效排出。所以，如果能够提供一种更先进的沉积系统，则能够进一步推动原子层沉积技术的发展和应用。

技术实现思路

[0005]鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种PET柔性功能膜镀膜系统，用于解决现有技术中的问题。
[0006]为达到上述目的，本专利技术采用以下技术方案予以实现：
一种PET柔性功能膜镀膜系统，所述PET柔性功能膜镀膜系统包括流体反应源输入管道3、镀膜装置1、第一配料装置2和至少一个流体反应源供应装置4，所述镀膜装置1包括镀膜装置本体11、用于将流体反应源引入镀膜装置本体11的镀膜装置流体引入管道12和用于将流体引出镀膜装置本体11的镀膜装置流体引出管道13，所述第一配料装置2包括第一配料装置本体21、用于将流体反应源引入第一配料装置本体21的第一配料装置流体引入管道22和用于将流体引出第一配料装置本体21的第一配料装置流体引出管道23，所述镀膜装置流体引入管道12和第一配料装置流体引入管道22均与流体反应源输入管道3流体连通，所述流体反应源供应装置4包括反应源阵列41、用于将含有反应源的流体引出反应源阵列41的反应源阵列流体引出管道42，所述反应源阵列流体引出管道42与镀膜装置本体11流体连通；所述流体反应源包括有三甲基铝、四氯化钛和纯水中的至少一种。
[0007]进一步的根据本专利技术所述的一种PET柔性功能膜镀膜系统，其中还包括用于将流体反应源引入镀膜装置本体11的副产物清除流体引入管道5，所述副产物清除流体引入管道5上设有流量控制装置，所述副产物清除流体引入管道5的流量参照τ=V/F，其中，τ不大于500毫秒，V为镀膜装置本体11的体积，F为副产物清除流体引入管道5的流体流量。
[0008]进一步的根据本专利技术所述的一种PET柔性功能膜镀膜系统，其中所述第一配料装置流体引入管道22和/或第一配料装置流体引出管道23上设有流量控制装置，第一配料装置流体引入管道22的流量小于副产物清除流体引入管道5的流量；和/或，所述镀膜装置流体引入管道12上设有流量控制装置，镀膜装置流体引入管道12的流量参照F≤1359.5PФ/T，其中F为镀膜装置流体引入管道12中的流体流量，单位为sccm，P代表镀膜装置本体11内压强，单位为Torr，T代表镀膜装置本体11内的温度，单位为K，Ф代表调控腔111入口横截面的周长，单位为厘米，镀膜装置本体11内的最大雷诺数为1600。
[0009]进一步的根据本专利技术所述的一种PET柔性功能膜镀膜系统，其中所述镀膜装置流体引出管道13上设有流量控制装置，镀膜装置流体引出管道13的流量不大于镀膜装置流体引入管道12的流量；和/或，至少部分的管道上还设有加热装置。
[0010]进一步的根据本专利技术所述的一种PET柔性功能膜镀膜系统，其中还包括第二配料装置6，所述第二配料装置6包括第二配料装置本体61、用于将流体引入第二配料装置本体61的第二配料装置流体引入管道62和用于将流体引出第二配料装置本体61的第二配料装置流体引出管道63，所述第二配料装置本体61通过第二流体配料装置流体引入管道62与镀膜装置本体11流体连通；第二配料装置流体引入管道62和/或第二配料装置流体引出管道63上设有流量控制装置；和/或，所述第二配料装置6的流量与副产物清除流体引入管道5的流量相配合。
[0011]进一步的根据本专利技术所述的一种PET柔性功能膜镀膜系统，其中镀膜装置本体11包括调控腔111和反应腔112，所述调控腔111与镀膜装置流体引入管道12流体连通，所述调控腔111以流体流动方向延伸形成反应腔112，所述反应腔112与镀膜装置流体引出管道13流体连通。
[0012]进一步的根据本专利技术所述的一种PET柔性功能膜镀膜系统，其中包括两个以上流体反应源供应装置4，至少部分的流体反应源供应装置4中，反应源阵列41各自通过独立的反应源阵列流体引出管道42与镀膜装置本体11流体连通；和/或，所述流体反应源供应装置4还包括用于将流体反应源引入反应源阵列41的反应源阵列流体引入管道43；和/或，所述
反应源阵列流体引入管道43和/或反应源阵列流体引出管道42上设有流量控制装置。
[0013]进一步的根据本专利技术所述的一种PET柔性功能膜镀膜系统，其中还包括尾气处理装置7，所述尾气处理装置7包括尾气处理装置本体71和用于将流体反应源引入尾气处理装置本体71的尾气处理装置流体引入管道72，所述尾气处理装置本体71与镀膜装置流体引出管道13和/或第一配料装置流体引出管道23和/或第二配本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PET柔性功能膜镀膜系统，其特征在于，所述PET柔性功能膜镀膜系统包括流体反应源输入管道（3）、镀膜装置（1）、第一配料装置（2）和至少一个流体反应源供应装置（4），所述镀膜装置（1）包括镀膜装置本体（11）、用于将流体反应源引入镀膜装置本体（11）的镀膜装置流体引入管道（12）和用于将流体引出镀膜装置本体（11）的镀膜装置流体引出管道（13），所述第一配料装置（2）包括第一配料装置本体（21）、用于将流体反应源引入第一配料装置本体（21）的第一配料装置流体引入管道（22）和用于将流体引出第一配料装置本体（21）的第一配料装置流体引出管道（23），所述镀膜装置流体引入管道（12）和第一配料装置流体引入管道（22）均与流体反应源输入管道（3）流体连通，所述流体反应源供应装置（4）包括反应源阵列（41）、用于将含有反应源的流体引出反应源阵列（41）的反应源阵列流体引出管道（42），所述反应源阵列流体引出管道（42）与镀膜装置本体（11）流体连通；所述流体反应源包括有三甲基铝、四氯化钛和纯水中的至少一种。2.如权利要求1所述的一种PET柔性功能膜镀膜系统，其特征在于，还包括用于将流体反应源引入镀膜装置本体（11）的副产物清除流体引入管道（5），所述副产物清除流体引入管道（5）上设有流量控制装置，所述副产物清除流体引入管道（5）的流量参照τ=V/F，其中，τ不大于500毫秒，V为镀膜装置本体11的体积，F为副产物清除流体引入管道（5）的流体流量。3.如权利要求1所述的一种PET柔性功能膜镀膜系统，其特征在于，所述第一配料装置流体引入管道（22）和/或第一配料装置流体引出管道（23）上设有流量控制装置，第一配料装置流体引入管道（22）的流量小于副产物清除流体引入管道（5）的流量；和/或，所述镀膜装置流体引入管道（12）上设有流量控制装置，镀膜装置流体引入管道（12）的流量参照F≤1359.5PФ/T，其中F为镀膜装置流体引入管道（12）中的流体流量，单位为sccm，P代表镀膜装置本体（11）内压强，单位为Torr，T代表镀膜装置本体（11）内的温度，单位为K，Ф代表调控腔（111）入口横截面的周长，单位为厘米，镀膜装置本体（11）内的最大雷诺数为1600。4.如权利要求1所述的一种PET柔性功能膜镀膜系统，其特征在于，所述镀膜装置流体引出管道（13）上设有流量控制装置，镀膜装置流体引出管道（13）的流量不大于镀膜装置流体引入管道（12）的流量；和/或，至少部分的管道上还设有加热装置。5.如权利要求1所述的一种PET柔性功能膜镀膜系统，其特征在于，还包括第二配料装置（6），所述第二配料装置（6）包括第二配料装置本体（61）、用于将流体引入第二配料装置本体（61）的第二配料装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪源源，
申请(专利权)人：西安跃亿智产信息科技有限公司，
类型：发明
国别省市：