一种宏微双驱式大行程高精度快刀伺服装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种宏微双驱式大行程高精度快刀伺服装置，包括：后固定板垂直固定在基座的后端，音圈电机定子部分的后端垂直固定在后固定板上，音圈电机定子部分的中心轴线与基座平行。音圈电机动子部分连接在音圈电机定子部分的前端，前固定板固定在音圈电机动子部分的前端，前固定板与基座垂直。宏动平台的后端固定在前固定板的下端，微动平台固定在宏动平台的上表面。导轨固定在宏动平台下方的基座上，导轨垂直于前固定板。宏动平台卡在导轨上，宏动平台侧面设置有锁紧装置，以便于需要时将宏动平台定位在导轨上。该装置具有单个自由度上宏动、微动调节两种驱动方式，整个装置具有大驱动行程、高定位精度、高解耦特性、刚度可调、快速响应等优点。快速响应等优点。快速响应等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种宏微双驱式大行程高精度快刀伺服装置


[0001]本专利技术涉及快刀伺服装置
，尤其涉及一种宏微双驱式大行程高精度快刀伺服装置。

技术介绍

[0002]本专利技术
技术介绍
中公开的信息仅仅旨在增加对本专利技术的总体背景的理解，而不必然被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已经成为本领域一般技术人员所公知的现有技术。
[0003]随着科学技术的进步发展，对于应用于光学激光、光纤通讯、空间研究等领域中的光学元件精度要求不断提升，然而此类精密元件具有不规则变化特征、没有固定的回转中心、形状复杂且对加工精度的要求极高。因此，针对精密复杂形面加工的快刀伺服装置得到了越来越多的关注。
[0004]现有的快刀伺服装置可以分为压电陶瓷驱动器型以及音圈电机驱动器型。压电陶瓷驱动器拥有响应速度快、加速度高、分辨率高的特点，能够满足快刀伺服系统的高频响、高精度加工要求，但一般压电陶瓷驱动器的驱动力较小进而导致整个装置的行程一般在微米级别，不能够满足快刀伺服系统毫米级的行程要求。音圈电机驱动器则可以对刀具实现大行程的运动，但是在单独使用过程中存在惯本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种宏微双驱式大行程高精度快刀伺服装置，其特征在于，包括：基座；后固定板，其垂直固定在基座的后端；音圈电机定子部分，其后端垂直固定在所述后固定板上，且音圈电机定子部分的中心轴线与所述基座平行；音圈电机动子部分，其连接在所述音圈电机定子部分的前端；前固定板，其固定在音圈电机动子部分的前端，前固定板与所述基座垂直；宏动平台，其后端固定在所述前固定板的下端，微动平台，其固定在所述宏动平台的上表面；导轨，其固定在所述宏动平台下方的基座上，导轨垂直于前固定板；所述导轨为两组，其对称分布在所述基座的两侧；所述宏动平台卡合在导轨上，且宏动平台能够在导轨上滑动；以及锁紧装置，其连接在宏动平台侧面。2.根据权利要求1所述的宏微双驱式大行程高精度快刀伺服装置，其特征在于，所述微动平台包括：微动平台框架，其固定在所述宏动平台的上表面；刀具载物台；其尾端固定在所述微动平台框架的前端，且两者垂直；切削刀具，其固定在所述刀具载物台的前端；两级杠杆放大机构，其固定在所述微动平台框架的内侧；第一压电陶瓷驱动器、第二压电陶瓷驱动器，两个所述驱动器均连接在所述两级杠杆放大机构与微动平台框架之间，且两级杠杆放大机构与刀具载物台位于微动平台框架的同一条边的两侧。3.根据权利要求2所述的宏微双驱式大行程高精度快刀伺服装置，其特征在于，所述两级杠杆放大机构由两个L型的杠杆放大机构串联而成，两个L型的杠杆放大机构与微动平台框架共同形成方形结构；其中,所述第一压电陶瓷驱动器、第二压电陶瓷驱...

【专利技术属性】
技术研发人员：王凌飞，鲁帅帅，
申请(专利权)人：山东大学深圳研究院，
类型：发明
国别省市：