一种晶圆包装容器用固定结构及用于晶圆包装容器的盖体制造技术

本申请公开了一种晶圆包装容器用固定结构及用于晶圆包装容器的盖体，其中，固定结构设置于包装容器盖体内表面上，包括：伸缩机构，第一支撑臂和第二支撑臂，其中，伸缩机构安装于盖体内表面上，其自由端固定连接有定位座；第一支撑臂和第二支撑臂设置于伸缩机构的两侧，且分别铰接有活动臂，各活动臂还分别与定位座活动连接，所述活动臂能够随着伸缩机构的伸缩运动发生相对移动。本申请所公开的固定结构利用可移动的活动臂能够保证晶圆可以轻易地卡接到定位座上被锁住，且利用伸缩机构的伸缩性，有效解决了现有的硬质固定结构易形变造成崩断的问题，提高了置于晶圆包装容器内的晶圆在运输过程中的安全性，降低了晶圆破片情况发生的概率。发生的概率。发生的概率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆包装容器用固定结构及用于晶圆包装容器的盖体


[0001]本申请一般涉及半导体
，具体涉及一种晶圆包装容器用固定结构及用于晶圆包装容器的盖体。

技术介绍

[0002]晶圆在运输的过程中，为防止外界环境对晶圆造成污染及破坏，常常利用包装容器来装载晶圆，同时，通过在晶圆包装容器内适当地设置固定结构以避免晶圆在运输过程中发生碰撞磨损。
[0003]请参照图1和图2，示出了一种目前主流装载12英寸晶圆的料盒，该料盒的盖体上具有用于固定晶圆的锯齿状卡扣。然而，这种盖体暴露出两个主要问题：第一，盖体水平盖合料盒开口时，盖体垂直方向的一点偏移或少数片的不水平，就会导致晶圆无法准确对准卡扣，且卡扣的圆弧形结构使得晶圆容易进入相邻两个卡扣之间的缝隙中，这样就不能很好的固定晶圆；第二：为了固定住晶圆，盖体上的卡扣需要顶紧晶圆，这样就会造成盖完盖体后的运输过程，盖体的卡扣长期处于压迫形变状态，长时间的使用下去，卡扣会出现崩断状况，导致晶圆无法有效固定，从而滑出。
[0004]以上的两种问题都会造成晶圆无法固定，从而在长时间的运输中，导致晶圆因震动发生裂片，造成了严重的成本损失。

技术实现思路

[0005]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，本申请期望提供一种晶圆包装容器用固定结构及用于晶圆包装容器的盖体，以期实现对晶圆的有效固定和保护。
[0006]作为本申请的第一方面，本申请提供了一种晶圆包装容器用固定结构。
[0007]作为优选，所述固定结构设置于晶圆包装容器的盖体内表面上，在盖体盖合包装容器开口的过程中，用于随着盖体的移动抵推固定所述晶圆，包括：
[0008]伸缩机构，所述伸缩机构水平安装于盖体内表面上，其自由端固定连接有定位座；
[0009]第一支撑臂和第二支撑臂，所述第一支撑臂和所述第二支撑臂设置于所述伸缩机构的两侧，所述第一支撑臂和所述第二支撑臂的一端分别连接于盖体内表面，另一端向远离盖体的方向延伸；
[0010]所述第一支撑臂和所述第二支撑臂分别铰接有活动臂，各所述活动臂还分别与所述定位座活动连接，其中，所述活动臂能够随着所述伸缩机构的伸缩运动发生相对移动，使得所述固定结构具有展开位和收缩位。
[0011]作为优选，当所述固定结构处于展开位时，所述两个活动臂处于同一直线上，且所述活动臂的长度方向与所述伸缩机构的长度方向垂直。
[0012]作为优选，当所述固定结构处于收缩位时，所述晶圆抵接于定位座的外表面，所述活动臂连接定位座的一端随着所述伸缩机构向靠近盖体的方向移动，从而在两个活动臂之间形成用于收容所述晶圆的V 型开口。
[0013]作为优选，所述定位座用于接触晶圆的外表面上具有一弧形定位槽，所述晶圆固定卡接于所述弧形定位槽中。
[0014]作为优选，所述定位座上还设置有用于使活动臂恢复至初始位置的限位块。
[0015]作为优选，所述第一支撑臂和/或第二支撑臂连接于盖体内表面的一端与伸缩机构之间的夹角为锐角。
[0016]作为优选，所述伸缩机构为弹簧。
[0017]作为本申请的第二方面，本申请提供了一种用于晶圆包装容器的盖体。
[0018]作为优选，所述盖体的内表面上设置有至少一个第一方面所述的晶圆包装容器用固定结构。
[0019]作为优选，所述盖体的内表面上设有安装座，所述晶圆包装容器用固定结构的第一支撑臂，第二支撑臂和伸缩机构连接于所述安装座上。
[0020]本申请的有益效果：
[0021]本申请所公开的固定结构利用可移动的两个活动臂能够保证晶圆可以轻易地卡接到定位座上被锁住，且利用伸缩机构的伸缩性，有效解决了现有的硬质固定结构易形变造成崩断的问题，从而提高了置于晶圆包装容器内的晶圆在运输过程中的安全性，降低了晶圆破片情况发生的概率。
附图说明
[0022]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0023]图1为现有技术的一种固定结构与盖体盖合包装容器开口时的侧视图；
[0024]图2为现有技术的一种固定结构与盖体盖合包装容器开口时的主视图；
[0025]图3为本申请一种实施方式的固定结构与盖体未盖合包装容器开口时的主视图；
[0026]图4为图3的固定结构与盖体盖合包装容器开口时的主视图；
[0027]图5为图3的固定结构与盖体从包装容器开口取下后的主视图；
[0028]图6为本申请另一种实施方式的固定结构与盖体的主视图；
[0029]图7为本申请一种实施方式的盖体未盖合包装容器开口时的示意图；
[0030]图8为图7的盖体盖合包装容器开口时的示意图。
[0031]附图标记：盖体1，盖体内表面10，伸缩机构2，定位座3，定位槽30，限位块31，第一支撑臂41，第二支撑臂42，活动臂5，安装座6，包装容器7，开口70，框架8，晶圆9。
具体实施方式
[0032]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术，而非对该专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与专利技术相关的部分。
[0033]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0034]需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度、“厚度”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴
向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0035]需要说明的是，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
[0036]需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0037]参照图3至图5，示出了本申请一种优选的实施方式的晶圆包装容器用固定结构，该固定结构设置于晶圆包装容器的盖体内表面10 上，在盖体1盖合包装容器开口的过程中，用于随着盖体的移动抵推固定所述晶圆，包括伸缩机构2，第一支撑臂41和第二支撑臂42，其中，所述伸缩机构2安装于盖体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆包装容器用固定结构，所述固定结构设置于晶圆包装容器的盖体内表面上，在盖体盖合包装容器开口的过程中，用于随着盖体的移动抵推固定所述晶圆，其特征在于，包括：伸缩机构，所述伸缩机构安装于盖体内表面上，其自由端连接有定位座；第一支撑臂和第二支撑臂，所述第一支撑臂和所述第二支撑臂设置于所述伸缩机构的两侧，所述第一支撑臂和所述第二支撑臂的一端分别连接于盖体内表面，另一端向远离盖体的方向延伸；所述第一支撑臂和所述第二支撑臂分别铰接有活动臂，各所述活动臂还分别与所述定位座活动连接，其中，所述活动臂能够随着所述伸缩机构的伸缩运动发生相对移动，使得所述固定结构具有展开位和收缩位。2.根据权利要求1所述的晶圆包装容器用固定结构，其特征在于，当所述固定结构处于展开位时，所述两个活动臂处于同一直线上，且所述活动臂的长度方向与所述伸缩机构的长度方向垂直。3.根据权利要求1所述的晶圆包装容器用固定结构，其特征在于，当所述固定结构处于收缩位时，所述晶圆抵接于定位座的外表面，所述活动臂连接定位座的...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙彬，
申请(专利权)人：厦门通富微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：