有源矩阵数字微流控芯片基板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种有源矩阵数字微流控芯片基板，包括基板和设置在基板上的晶体管；晶体管的源极、源极引出线、漏极、漏极引出线同层设置于基板上，源极和源极引出线为一体成型结构，漏极和漏极引出线也为一体成型结构，有源层设置于源极和漏极之间；位于源极、源极引出线、漏极、漏极引出线和有源层上表面涂覆有绝缘层，绝缘层上表面设置有栅极引出线，位于有源层位置处设置有栅极，栅极和栅极引出线为一体成型结构；栅极和栅极引出线上表面涂覆有介电层，介电层上表面涂覆有疏水层。本实用新型专利技术避免了传统有源矩阵数字微流控芯片基板采取底栅结构的源级、漏极在制作时对有源层蚀刻的影响，大大提高了晶体管器件的稳定性。大大提高了晶体管器件的稳定性。大大提高了晶体管器件的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
有源矩阵数字微流控芯片基板


[0001]本技术涉及数字微流控
，尤其是涉及一种有源矩阵数字微流控芯片基板。

技术介绍

[0002]随着MEMS技术的发展，介电润湿数字微流控技术已取得在其加工技术以及微流体操控方面的重大进展，其可实现液滴的配发、转移、混合、分离等处理且能同时对多个液滴进行不同操作，可以将生物、医学等分析过程的样品制备、反应、检测等操作单元集成到一块微米尺度的芯片上，全自动完成分析全过程，具有试剂消耗较少，检测时间短，灵敏度及集成度高等优点，开始在生物、医学及化学分析等领域展现出巨大优势并得到了广泛关注与应用。
[0003]目前，传统的有源矩阵数字微流控芯片基板采用底栅晶体管结构，即栅极设置在底层。然而，底栅晶体管结构设计存在结构复杂，数据信号线对液滴驱动影响较大且器件性能不稳定的问题。同时，底栅晶体管结构的有源矩阵数字微流控芯片基板，在制作时至少需要4道光刻工艺，每道光刻工艺都需要膜层沉积、涂胶、光刻、显影、蚀刻、剥离工序，加工过程复杂，生产成本较高。中国专利号CN210279192U、名称为《一种数字微流控芯片基本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种有源矩阵数字微流控芯片基板，包括基板和设置在所述基板上的晶体管；其特征是：所述晶体管的源极、源极引出线、漏极、漏极引出线同层设置于基板上，所述源极和源极引出线为一体成型结构，所述漏极和漏极引出线也为一体成型结构，有源层设置于源极和漏极之间；位于所述源极、源极引出线、漏极、漏极引出线和有源层上表面涂覆有绝缘层，所述绝缘层上表面设置有栅极引出线，位于有源层位置处设置有栅极...

【专利技术属性】
技术研发人员：霍亚洲，杨柳青，吴玥，张东锋，刘聪，王超，
申请(专利权)人：安图实验仪器郑州有限公司，
类型：新型
国别省市：