一种显微镜物镜制造技术

本发明专利技术公开了一种显微镜物镜，包括正折射力第一透镜组、正折射力第二透镜组和负折射力第三透镜组，所述正折射力第二透镜组设于正折射力第一透镜组和负折射力第三透镜组之间；所述正折射力第一透镜组包括正折射力第一透镜和正折射力第二透镜，所述正折射力第二透镜设于正折射力第一透镜上，所述正折射力第一透镜为凹面朝向物体侧的正屈光力的弯月形设置。本发明专利技术属于光学技术领域，具体是一种显微镜物镜，能够保证具备大放大倍率、长工作距离、大数值孔径、高分辨率性能、较少镜片数目且加工简单的特点，以解决大放大倍率、长工作距离下，小数值孔径、低分辨率性能、镜片数目多且加工困难的问题。难的问题。难的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种显微镜物镜


[0001]本专利技术属于光学
，具体是指一种显微镜物镜。

技术介绍

[0002]随着近年来半导体行业的高速发展，对其表面粗糙度的要求精度越来越高。通过提高显微镜的探测精度从而达到观测要求。一般而言，由于用于工业探测需要长的工作距离，要使显微镜上观察到跟多细节，需要大放大倍率、大数值孔径。对于这样的显微镜物镜，轴上像差和倍率色差的补正是很难的，由于像差的影响会导致光学的分辨率性能下降。
[0003]专利文献CN101999090A公开了一种显微物镜：具有大放大倍率、长的工作距离的物镜，但是小数值孔径、低分辨率性能、镜片数目多且加工困难。
[0004]专利文献CN102959450A公开了一种显微物镜：具有大放大倍率、大数值孔径的物镜，但是工作距离较短，不方便实际使用和观察。
[0005]专利文献CN111158129A公开了一种显微物镜：虽然有很大的数值孔径，但是工作距离较短，不方便实际的使用和观察，并且放大倍率低，随着半导体行业制作越来越精细，观察的所需的物镜放大倍率也要更大。

技术实现思路

[0006]针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本专利技术提供一种显微镜物镜，能够保证具备大放大倍率、长工作距离、大数值孔径、高分辨率性能、较少镜片数目且加工简单的特点，以解决大放大倍率、长工作距离下，小数值孔径、低分辨率性能、镜片数目多且加工困难的问题。
[0007]本专利技术采取的技术方案如下：本专利技术一种显微镜物镜，包括正折射力第一透镜组、正折射力第二透镜组和负折射力第三透镜组，所述正折射力第二透镜组设于正折射力第一透镜组和负折射力第三透镜组之间；所述正折射力第一透镜组包括正折射力第一透镜和正折射力第二透镜，所述正折射力第二透镜设于正折射力第一透镜上，所述正折射力第一透镜为凹面朝向物体侧的正屈光力的弯月形设置。
[0008]进一步地，所述正折射力第二透镜组包括第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜和第十透镜，所述第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜和第十透镜依次设置。
[0009]进一步地，所述负折射力第三透镜组包括第十一透镜、第十二透镜、第十三透镜和第十四透镜，所述第十一透镜、第十二透镜、第十三透镜和第十四透镜依次设置。
[0010]进一步地，所述正折射力第一透镜组、正折射力第二透镜组和负折射力第三透镜组满足的条件为0.4<|f/NA/D0|<0.6，其中，f为该显微镜物镜的焦点距离；NA为该显微镜物镜的物方数值孔径；D0为从物体面到所述显微镜物镜最靠近物体的透镜面的光轴上的距离。
[0011]进一步地，所述第二透镜具有正屈光力，所述第三透镜具有正屈光力，所述第四透
镜具有正屈光力，所述第五透镜具有负屈光力，所述第六透镜具有正屈光力，所述第七透镜具有正屈光力或负屈光力，所述第八透镜具有正屈光力或负屈光力，所述第九透镜具有正屈光力，所述第十透镜具有负屈光力，所述第十一透镜具有正屈光力，所述第十二透镜具有负屈光力，所述第十三透镜具有负屈光力，所述第十四透镜具有正屈光力。
[0012]进一步地，所述正折射力第一透镜组和正折射力第二透镜组满足的条件为0.03<f1/f2<0.95；-1.5<f1/f3<-0.05；3<f1/f<6.5，其中，f1为第一透镜的焦点距离，f2为第二透镜的焦点距离，f3为第三透镜的焦点距离，f为该显微镜物镜的焦点距离。
[0013]进一步地，所述正折射力第一透镜组还满足的条件为0.2<f11/f1<2.6；2.2<f12/f1<4.6；其中，f11为第一透镜的焦点距离，f12为第二透镜的焦点距离，f1为第一透镜组的焦点距离。
[0014]进一步地，所述第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜满足的条件为1.85<N11<2.01；1.80<N12<2.00；1.41<N21<1.61；1.41<N22<1.61；1.85<N23<2.00；1.41<N24<1.61；其中，N11为第一透镜的折射率，N12为第二透镜的折射率，N21为第三透镜的折射率，N22为第四透镜的折射率，N23为第五透镜的折射率，N24为第六透镜的折射率。
[0015]进一步地，所述第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜满足的条件为V11≤50，V12≤50，V21≤90，V22≤90，V23≤50，V24≤95；其中，V11为第一透镜的阿贝数，V12为第二透镜的阿贝数，V21为第三透镜的阿贝数，V22为第四透镜的阿贝数，V23为第五透镜的阿贝数，V24为第六透镜的阿贝数。
[0016]进一步地，所述第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜满足的条件为0.06<T1/T2<0.28；0.50<T1/T3<0.80；0.47<T11/T1<0.67；0.29<T12/T1<0.49；0.02<T21/T2<0.22；0.10<T22/T2<0.31；0.05<T23/T2<0.20；0.07<T24/T2<0.28；其中，T1为第一透镜组在光轴上的长度，T2为第一透镜组在光轴上的长度，T3为第一透镜组在光轴上的长度，T11为第一透镜在光轴上的厚度，T12为第二透镜在光轴上的厚度，T21为第三透镜在光轴上的厚度，T22为第四透镜在光轴上的厚度，T23为第五透镜在光轴上的厚度，T24为第六透镜在光轴上的厚度。
[0017]采用上述结构本专利技术取得的有益效果如下：本方案一种显微镜物镜第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组进行设置，是第一透镜组具有正屈光力，第二透镜组具有正屈光力，第三透镜组具有负屈光力，使得显微镜物镜具有很好的光学性能；此外，对第一透镜组和第二透镜组的焦点距离、折射率、阿贝数以及厚度进行限定、使得显微镜物镜的场曲、畸变、像差敏感度得到进一步的改善，从而保证显微镜物镜的光学性能，使得该显微镜物镜具有大放大倍率、长工作距离、大数值孔径、高分辨率性能，减少镜片数目且降低了加工难度。
附图说明
[0018]图1为本专利技术显微镜物镜实施例一的透镜构成图；图2为本专利技术显微镜物镜实施例一的球差图；图3为本专利技术显微镜物镜实施例一的场曲图；图4为本专利技术显微镜物镜实施例一的畸变图；图5为本专利技术显微镜物镜实施例一的MTF调制传递函数图；
图6为本专利技术显本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显微镜物镜，其特征在于：包括正折射力第一透镜组、正折射力第二透镜组和负折射力第三透镜组，所述正折射力第二透镜组设于正折射力第一透镜组和负折射力第三透镜组之间；所述正折射力第一透镜组包括正折射力第一透镜和正折射力第二透镜，所述正折射力第二透镜设于正折射力第一透镜上，所述正折射力第一透镜为凹面朝向物体侧的正屈光力的弯月形设置。2.根据权利要求1所述的一种显微镜物镜，其特征在于：所述正折射力第二透镜组包括第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜和第十透镜，所述第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜和第十透镜依次设置。3.根据权利要求2所述的一种显微镜物镜，其特征在于：所述负折射力第三透镜组包括第十一透镜、第十二透镜、第十三透镜和第十四透镜，所述第十一透镜、第十二透镜、第十三透镜和第十四透镜依次设置。4.根据权利要求3所述的一种显微镜物镜，其特征在于：所述正折射力第一透镜组、正折射力第二透镜组和负折射力第三透镜组满足的条件为0.4<|f/NA/D0|<0.6，f为该显微镜物镜的焦点距离；NA为该显微镜物镜的物方数值孔径；D0为从物体面到所述显微镜物镜最靠近物体的透镜面的光轴上的距离。5.根据权利要求4所述的一种显微镜物镜，其特征在于：所述第二透镜具有正屈光力，所述第三透镜具有正屈光力，所述第四透镜具有正屈光力，所述第五透镜具有负屈光力，所述第六透镜具有正屈光力，所述第七透镜具有正屈光力或负屈光力，所述第八透镜具有正屈光力或负屈光力，所述第九透镜具有正屈光力，所述第十透镜具有负屈光力，所述第十一透镜具有正屈光力，所述第十二透镜具有负屈光力，所述第十三透镜具有负屈光力，所述第十四透镜具有正屈光力。6.根据权利要求5所述的一种显微镜物镜，其特征在于：所述正折射力第一透镜组和正折射力第二透镜组满足的条件为0.03<f1/f2<0.95；-1.5<f1/f3<-0.05；3<f1/f<6.5，f1为第一透镜的焦点距离，f2为第二透镜的焦点距离，f3为第三透镜的焦点距离，f为该显微镜物镜的焦点距离。7.根据权利要求6所述的一种显微镜物镜，其特征在于：所述正折射力第一透镜组还满足的条件为0.2<f11/f1<2.6；2.2&...

【专利技术属性】
技术研发人员：方政，林顺华，
申请(专利权)人：麦克奥迪实业集团有限公司，
类型：发明
国别省市：