本实用新型专利技术公开了一种激光加工装置，该加工装置包括：激光器、能量衰减模块以及减光滤镜；能量衰减模块和减光滤镜位于激光器的出光侧，且能量衰减模块和减光滤镜位于激光器与工件载台之间的光路上；激光器发出的光束经过能量衰减模块和减光滤镜，减光滤镜用于减小激光器出射光束的能量。在本实用新型专利技术实施例中，通过在激光器出射的光路上设置能量衰减模块和减光滤镜，利用减光滤镜改变激光器出射光束的能量，增大了能量衰减模块的可调范围，实现了对敏感工件的加工生产。对敏感工件的加工生产。对敏感工件的加工生产。
【技术实现步骤摘要】
一种激光加工装置
[0001]本技术涉及激光加工领域，尤其涉及一种激光加工装置。
技术介绍
[0002]激光加工其加工原理主要是利用激光器产生的高能粒子对工件的表面进行熔化和气化。由于激光光束具有很好的稳定性和抗干扰性，并且对被加工工件的限制条件如加工的形状、尺寸、环境较少，因此可对大部分金属材料和非金属材料进行高质量、高精度加工。
[0003]现有技术中采用激光光束对工件表面进行加工时，一般通过在激光器出光侧设置能量衰减器来调节激光出射的能量，当产品对激光加工的能量较敏感时，会使得激光衰减器的可调整范围很小，不利于实现激光对工件的生产加工。
技术实现思路
[0004]本技术实施例提供一种激光加工装置，提高了能量衰减模块的可调范围，实现了对敏感加工工件的加工生产。
[0005]本技术实施例提供了一种激光加工装置，包括：激光器、能量衰减模块以及减光滤镜；
[0006]所述能量衰减模块和所述减光滤镜位于所述激光器的出光侧，且所述能量衰减模块和所述减光滤镜位于所述激光器与工件载台之间的光路上；
[0007]所述激光器发出的光束经过所述能量衰减模块和所述减光滤镜，所述减光滤镜用于减小所述激光器出射光束的能量。
[0008]可选的，还包括反射镜，所述反射镜位于所述反射镜与所述工件载台之间的光路上。
[0009]可选的，还包括物镜，所述激光器与工件载台之间的光路上，且所述物镜靠近所述工件载台。
[0010]可选的，所述减光滤镜包括反射式滤光镜和\或吸收式滤光镜。
[0011]可选的，所述减光滤镜位于所述能量衰减模块与所述工件载台之间的光路上。
[0012]可选的，所述减光滤镜包括反射式滤光镜，所述激光器发出的光束经过所述能量衰减模块后通过所述反射式滤光镜，所述反射式滤光镜将光束分为反射光和透射光，所述反射光反射至光线吸收池，所述透射光透过所述反射式滤光镜达到所述工件载台。
[0013]可选的，所述减光滤镜包括吸收式滤光镜，所述激光器发出的光束经过所述能量衰减模块后通过所述吸收式滤光镜，所述吸收式滤光镜将光束分为吸收光和透射光，所述吸收光被所述吸收式滤光镜吸收，所述透射光透过所述吸收式滤光镜达到所述工件载台。
[0014]可选的，所述能量衰减模块包括旋转电机、二分之一波片和偏光片，所述旋转电机用于驱动所述二分之一波片绕其光轴方向旋转，所述激光器出射的光束经所述二分之一波片出射至所述偏光片，经所述偏光片后出射。
[0015]可选的，还包括控制模块，所述控制模块与所述旋转电机电连接，所述控制模块用于控制所述旋转电机旋转。
[0016]本技术实施例提供的激光加工装置，通过在激光加工装置的加工光路上设置能量衰减模块和减光滤镜，且减光滤镜位于能量衰减模块和工件载台之间的激光光路上，利用减光滤镜对激光光束的能量进行衰减，进而使得能量衰减模块对激光光束能量的可调节范围增大，使得激光加工装置对敏感工件进行加工时，保证能量衰减模块的可调节范围增大，实现对敏感工件的精确加工。
附图说明
[0017]图1是本技术实施例提供的现有技术中激光加工装置的结构示意图；
[0018]图2是本技术实施例提供的一种激光加工装置的结构示意图；
[0019]图3是本技术实施例提供的一种激光加工装置的中加工能量范围示意图；
[0020]图4是本技术实施例提供的另一种激光加工装置的结构示意图；
[0021]图5是本技术实施例提供的又一种激光加工装置的结构示意图。
具体实施方式
[0022]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0023]图1为现有技术中激光加工装置的结构示意图，如图1所示，激光加工装置包括激光器10'和能量衰减模块20'，通过在激光源10'侧出光侧设置能量衰减模块20'，当激光器10'出射的光线经过能量衰减模块20'后，通过调整能量衰减模块20'内部镜片角度来改变激光光束通过的能量大小。现有技术提供的激光加工装置，当激光加工装置中进行加工的工件对激光能量较为敏感时，适合加工的激光能量范围很小，此时能量衰减模块对激光光束能量的可调整范围比较小，进而无法实现对敏感加工工件的精确加工。
[0024]基于上述技术问题，本技术实施例提供一种激光加工装置，包括激光器、能量衰减模块以及减光滤镜；能量衰减模块和减光滤镜位于激光器的出光侧，且能量衰减模块和减光滤镜位于激光器与工件载台之间的光路上；激光器发出的光束经过能量衰减模块和减光滤镜，减光滤镜用于减小激光器出射光束的能量。采用上述技术方案，通过在激光加工装置中设置能量衰减模块和减光滤镜，当激光器出射的激光光束经过能量衰减模块后，通过减光滤镜，减光滤镜改变激光经过后的能量，使得能量衰减模块的可调范围增大，进而通过调整能量衰减模块改变激光源出射光束的能量实现对敏感工件的加工，提高了激光加工装置对敏感工件的加工精度，避免因能量衰减模块可调范围较小而无法实现对敏感工件的精确加工。
[0025]图2为本技术实施例提供的一种激光加工装置的结构示意图，如图2所示，激光加工装置包括激光器10、能量衰减模块20以及减光滤镜30，能量衰减模块20和减光滤镜30位于激光器10的出光侧，且能量衰减模块20和减光滤镜30位于激光器10与工件载台40之间的光路上(图2示例性设置能量衰减模块20靠近激光器10)，激光器10发出的光束经过能量衰减模块20和减光滤镜30，减光滤镜30用于减小激光器10出射光束的能量。
[0026]如图2所示，能量衰减模块20和减光滤镜30均位于激光器10的出光侧，且减光滤镜30和能量衰减模块20位于激光器10与工件载台40之间的光路上，能量衰减模块20接收激光器10出射的激光光束，并调整激光光束通过的能量的大小，假设激光器10出射的激光光束的能量为1000J，激光器10出射的激光光束到达能量衰减模块20后，如图3所示，能量衰减模块20将激光光束的能量从最小到最大分为1000等份，能量衰减模块20可以调节的激光光束能量范围为0～1000J。当激光加工装置加工的工件需要的激光的能量是50～60J时，即图3所示的E1～E2，由于能量衰减模块20与工件载台40之间的光路上设置有减光滤镜30，减光滤镜30可以对通过能量衰减模块20的激光光束的能量进行进一步衰减，假设减光滤镜30的衰减系数为80％，此时通过能量衰减模块20的激光光束再经过减光滤镜30，通过减光滤镜30的激光能量最大值为200J，而当加工工件需要的激光光束的能量是50～60J时，此时对应调节能量衰减模块20的调整数值是250～300，即图3对应的A3～A4，使得调整数值为250～300的激光能量通过减光滤镜30后达到工件载台40的激光能量刚好满足工件的加工能本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种激光加工装置，其特征在于，包括：激光器、能量衰减模块以及减光滤镜；所述能量衰减模块和所述减光滤镜位于所述激光器的出光侧，且所述能量衰减模块和所述减光滤镜位于所述激光器与工件载台之间的光路上；所述激光器发出的光束经过所述能量衰减模块和所述减光滤镜，所述减光滤镜用于减小所述激光器出射光束的能量。2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，还包括反射镜，所述反射镜位于所述激光器与所述工件载台之间的光路上。3.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，还包括物镜，所述物镜位于所述激光器与工件载台之间的光路上，且所述物镜靠近所述工件载台。4.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述减光滤镜包括反射式滤光镜和\或吸收式滤光镜。5.根据权利要求4所述的激光加工装置，其特征在于，所述减光滤镜位于所述能量衰减模块与所述工件载台之间的光路上。6.根据权利要求5所述的激光加工装置，其特征在于，所述减光滤镜包括反射式滤光...
【专利技术属性】
技术研发人员：郎经纬，董岱，杨军，郝帅，
申请(专利权)人：苏州科韵激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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