液滴喷出装置及喷出方法、电光学装置及其制造方法制造方法及图纸

提供液滴喷出装置、液滴喷出方法、电光学装置的制造方法、和电光学装置及电子仪器，即使是大型工件，液滴喷出装置也能够对工件容易喷出液滴，能够提高工件的生产效率。本发明专利技术的液滴喷出装置（１０），从喷头（１２０）的喷嘴向工件（Ｗ）喷出液体，具备：工作台（２０），其用于搭载工件（Ｗ）；第（１）移动部（４１），其可以将工作台（２０）向第（１）方向（Ｘ）和与第（１）方向（Ｘ）大致正交的第（２）方向（Ｙ）移动；多个承载器（５０），其具备喷头（１２０）；和第（２）移动部（４２），其可以将各承载器（５０）沿着第（２）方向（Ｙ）方向相互移动并定位。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种将液体从喷头的喷嘴向工件喷出的液滴喷出装置、液滴喷出方法、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子仪器。
技术介绍
液滴喷出装置可以作为描绘系统来使用，该描绘系统是以用喷墨式将液滴向工件喷出的方式制成的。该描绘系统利用于例如在平板显示器那样的光电元件的制造中。以喷墨式喷出液体的液滴喷出装置，具有用于喷出液滴的喷头。已提出有利用这样的喷头，对于玻璃基板喷出滤色器用的墨水的装置(专利文献1)。专利文献1日本专利第3159919号公报(第4页～第6页、图1)这种液滴喷出装置，具有保持喷头的承载器(carriage)，其结构是当承载器的喷头结束玻璃基板的某一区域的描绘时，该承载器移动到下一个不同的区域。另一方面，例如平面型的显示装置向大型化发展，使用在这样的平面型显示装置中的玻璃基板随之向大型化发展。因此，在经过大型玻璃基板的整个面而喷出液体并进行描绘时，会出现具有喷头的承载器的移动距离变长、而且不能提高由液体喷出的工件的生产效率的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种解决上述课题、即使是大型工件，也能够将液滴对工件容易地喷出、能够提高工件的生产效率的液滴喷出装置、液滴喷出方法、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子仪器。上述目的通过液滴喷出装置来实现，在第1专利技术中，液滴喷出装置从喷头的喷嘴向工件喷出液体，其特征在于，具备工作台，其用于搭载上述工件；第1移动部，其可以将上述工作台向第1方向和与上述第1方向大约正交的第2方向移动；多个承载器，其具有上述喷头；第2移动部，其可以将上述各承载器沿着上述第2方向相互移动而定位。根据第1专利技术的构成，工作台是搭载工件的设备。第1移动部可以将工作台移动到第1方向、和与第1方向大致正交的第2方向。多个承载器具有喷头。第2移动部可以将各承载器沿着第2方向相互移动而定位。由此，具备喷头的多个承载器可以通过第2移动部沿着第2方向相互移动而预先定位。可以将多个承载器的各喷头的相互间的位置正确定位。并且在工作台搭载工件的状态下，向第1方向和第2方向移动时，多个承载器的喷头通过从喷头的喷嘴对工件喷出液体，可以对工件喷出液滴而进行正确的描绘。由于多个承载器的喷头能够对工件喷出液体，因此，即使是描绘面积大的大型工件，也能够以高的生产效率进行对工件的液滴喷出作业。第2专利技术，其特征在于，在第1专利技术的构成中，上述喷头具有多个上述喷嘴，多个上述喷嘴沿着上述第2方向排列着。根据第2专利技术的构成，喷头具有多个喷嘴，多个喷嘴沿着第2方向排列着。由此，例如喷头的多个喷嘴也能够喷出各个不同种类的液体，当然多个喷嘴也可以喷出相同种类的液体。由此，可以更快地进行对工件的描绘。第3专利技术，根据第1专利技术或第2专利技术，其特征在于，上述第2移动部具有固定元件，其保持各上述承载器；可动元件，其设在各上述承载器上而将上述承载器对上述固定元件沿着上述第2方向相互移动并定位。根据第3专利技术的构成，第2移动部的固定元件是用于保持各承载器的元件。第2移动部的可动元件被设在各承载器上。该可动元件是将承载器对固定元件沿着第2方向相互移动而定位的元件。由此，各承载器可以通过第2移动部沿着第2方向相互移动而定位，而且可以预先正确地调整各承载器上的喷头的相对位置。第4专利技术，根据第1专利技术的构成，其特征在于，使用于恢复上述喷头的上述喷嘴的喷出能力的维护部，配置在上述第2方向的至少一方的位置上。在第4专利技术的构成中，用于恢复喷头的喷嘴的喷出能力的维护部，配置在第2方向的至少一方的位置上。由此，承载器的喷头只要通过第2移动部移动到第2方向，就能够通过维护部进行喷嘴的喷出能力的恢复。上述目的，在第5专利技术中通过液滴喷出方法来实现，该液滴喷出方法将液体从喷头的喷嘴喷出到工件上，其特征在于，具有工件移动工序，其将搭载上述工件的工作台移动到第1方向和与上述第1方向大致正交的第2方向上；和液体喷出工序，其从被配置在沿着上述第2方向相互移动而预先定位的多个承载器上的上述喷头的上述喷嘴对上述工件喷出上述液体。由此，具有喷头的承载器，可以通过第2移动部沿着第2方向相互移动而预先定位。可以正确地定位多个承载器的各喷头的相互间的位置。并且在工作台搭载工件的状态下，沿第1方向和第2方向移动时，多个承载器的喷头通过从喷头的喷嘴对工件喷出液体，可以对工件喷出液滴进行正确的描绘。由于多个承载器的喷头能够对工件喷出液体，因此，即使是描绘面积大的大型工件，也能够以高的生产效率进行对工件的液滴喷出作业。第6专利技术，根据第5专利技术的构成，其特征在于，上述第1方向是将上述工作台相对上述喷头移动并由此液体对上述工件描绘的描绘方向。上述第2方向是将上述工作台相对上述喷头移动一定量而进行上述工件中的上述液体的喷出位置的移行的移行方向。根据第6专利技术的构成，第1方向是将工作台相对喷头移动并通过液体对工件描绘的描绘方向。第2方向是将工作台相对喷头移动一定量而进行工件中的液体的喷出位置的移行的移行方向。由此，工件能够沿着第2方向移行并沿着第1方向进行描绘，经过工件的大约整个面而容易快速地进行描绘。第7专利技术，根据第5专利技术或第6专利技术的构成，其特征在于，不在上述液滴的喷出中使用的上述承载器沿着上述第2方向移动到维护部，并在上述维护部中进行上述喷头的上述喷嘴的喷出能力恢复。根据第7专利技术的构成，不在液滴的喷出中使用的承载器，沿着第2方向移动到维护部，并在维护部中进行喷头的喷嘴的喷出能力恢复。由此，不在液滴的喷出中使用的承载器，只要沿着第2方向向维护部侧移动，维护部就能够进行喷头的喷嘴的喷出能力的恢复。上述目的，在第8专利技术中通过液滴喷出方法来实现，该液滴喷出方法从喷头的喷嘴将液体喷出到工件上，其特征在于，具备扫描工序，其将搭载上述工件的工作台沿第1方向扫描；和喷出工序，其从被配设在沿着与上述第1方向大致正交的第2方向移动而预先定位的多个承载器上的上述喷头的上述喷嘴相对上述工件喷出上述液体，其中每当进行所定次数的上述扫描工序时，将上述工作台向上述第2方向移动所定量。由此，工作台在扫描工序中向第1方向扫描，多个承载器的喷头的喷嘴在喷出工序中对工件能够喷出液体。在这时，每当进行所定次数的扫描工序时，通过工作台向上述第2方向移动所定量，对工件喷出液体而能够正确地进行描绘。由于多个承载器的喷头可以对工件喷出液体，所以即使描绘面积大的工件，也能以高生产率来对工件进行液滴喷出作业。上述目的，在第9专利技术中，通过电光学装置的制造方法来实现，该电光学装置的制造方法，通过从喷头的喷嘴向工件喷出液体制造电光学装置，其特征在于，在将搭载上述工件的上述工作台向第1移动部与第1方向和上述第1方向大致正交的第2方向移动时，沿着上述第2方向相互移动而预先定位的多个承载器的上述喷头，通过从上述喷头的上述喷嘴对上述工件喷出上述液体制造上述电光学装置。由此，具备喷头的多个承载器可以通过第2移动部沿着第2方向相互移动并预先定位。可以正确定位多个承载器的各喷头的相互间的位置。并且，在工作台以搭载工件的状态下，向第1方向和第2方向移动时，多个承载器的喷头能够通过从喷头的喷嘴对工件喷出液体，对工件喷出液体而正确地进行描绘。由于多个承载器的喷头可以对工件喷出液体，因此，即使是描绘面积大的大型工件，也能够以高的生产率对工件进行液滴喷出作业。通过使用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液滴喷出装置，其从喷头的喷嘴向工件喷出液体，其特征在于，具备：工作台，其用于搭载上述工件；第１移动部，其可以将上述工作台向第１方向和与上述第１方向大约正交的第２方向移动；多个承载器，其具有上述喷头；和第２ 移动部，其可以将各上述承载器沿着上述第２方向相互移动而定位。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：安永植，村山嘉明，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]