一种溅射镀膜上料口制造技术

为了解决真空室的上料口的自动化程度低且密封性能较差的问题，本实用新型专利技术提出一种溅射镀膜上料口，包括上料门1，活动压件2、传动装置3，其特征在于：所述上料门1的上端和下端均设有传动装置3，所述传动装置3包括齿轮31、齿条32和气缸33，气缸33上设有推杆34，推杆34的一端与气缸33固定连接，齿条32的带齿面与齿轮31啮合，上下传动装置3的齿轮31中心通过支撑杆4连接固定，支撑杆4上设有多个间隔相同的活动压件2，通过气缸33推动齿条32向前或者向后运动从而带动齿轮31运转来实现齿轮31轴上的上料门1的打开或者闭合，并且上料门1上设有多个间隔相同的活动压件2，使得上料门1开关更加简便，且闭合的时候压紧度更高。且闭合的时候压紧度更高。且闭合的时候压紧度更高。

【技术实现步骤摘要】
一种溅射镀膜上料口


[0001]本技术涉及溅射镀膜
，较为具体的，涉及到一种溅射镀膜上料口。

技术介绍

[0002]目前，真空磁控溅射镀膜机是对金属、玻璃和塑料表面进行镀膜的专用设备，其可适用于镀制耐磨损的涂层。现有技术的真空磁控溅射镀膜机，包括真空抽气系统、真空室、真空室的上料口、设置在真空室中的工件转架以及设置在真空室体上的磁控溅射装置，可利用物理气相沉积(以下简称“PVD”)技术在工件表面沉积一层几个微米薄的金属层。随着生活水平的提高，人们对于具有更加广泛用途和性能的涂层需求也越来越大。
[0003]目前真空室的上料口的自动化程度低且密封性能较差，打开上料口需要一段时间，使得镀膜基片容易受到室内空气中灰尘等污染物的影响，从而影响镀膜产品的溅射镀膜效果。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，为了解决真空室的上料口的自动化程度低且密封性能较差，打开上料口需要一段时间，使得镀膜基片容易受到室内空气中灰尘等污染物的影响，从而影响镀膜产品的溅射镀膜效果的问题，本技术提出一种溅射镀膜上料口，气缸上的推杆与齿条固定连接，通过气缸推动齿条向前或者向后运动从而带动齿轮运转来实现齿轮轴上的上料门的打开或者闭合，并且上料门上设有多个间隔相同的活动压件，使得上料门开关更加简便，且闭合的时候压紧度更高。
[0005]一种溅射镀膜上料口，包括上料门1，活动压件2、传动装置3，其特征在于：所述上料门1的上端和下端均设有传动装置3，所述传动装置3包括齿轮31、齿条32和气缸33，气缸33上设有推杆34，推杆34的一端与气缸 33固定连接，推杆34的另一端与齿条32的一端固定连接，齿条32与推杆34的中心线在同一直线上；齿条32的一侧为带齿面的，另外相对的一侧为光滑面，齿条32的带齿面与齿轮31啮合，上料门1的上端的传动装置3的齿轮中心和上料门1的下端的传动装置3的齿轮31中心之间通过支撑杆4连接固定，支撑杆4上设有多个间隔相同的活动压件2，活动压件2的一端连接支撑杆4，另一端与上料门1外壁固定连接，通过气缸33推动齿条32向前或者向后运动从而带动齿轮31运转来实现齿轮31轴上的上料门1的打开或者闭合，并且上料门1上设有多个间隔相同的活动压件2，使得上料门1 开关更加简便，且闭合的时候压紧度更高。
[0006]进一步的，上料门1的靠近溅射镀膜机处的内壁设有一圈密封圈，密封圈围绕整个上料门1内壁的边缘，加强了溅射镀膜机内部的密封性。
[0007]进一步的，活动压件2包括凸块21和条块22，凸块21和条块22一体成型，凸块21中心与支撑杆4铰接，条块22的长度与上料门1的宽度相同，并且通过螺母与上料门1外壁固定。
[0008]进一步的，传动装置3的齿轮31的靠近上料门1处的支撑杆4上设有第二限位固定
块6，第二限位固定块6上固定有限位杆7，限位杆7的一端与第二限位固定块6固定连接，另外一端靠在齿条32的光滑面，对齿条32起到一个限位作用。
[0009]进一步的，限位杆7靠近齿条32端套接有活动轮8，当齿条32运动的时候，活动轮8做与齿条32运动方向一致的圆周运动，从而减小齿条32与活动轮8表面的摩擦力。
[0010]进一步的，齿轮31上的齿较为优选的为斜齿，斜齿噪音小且斜齿对于直齿而言在相同的精度下，斜齿的表现比直齿更好。
[0011]进一步的，活动压件2一般为4～6个，根据进料口的长度进行对活动压件2进行增加或者减少。
[0012]进一步的，活动压件2与支撑杆4套接处的下方均套接有一第一限位固定块5，防止活动压件2围绕支撑杆4运动的时候发生位移使得上料门1与上料门1框错位而导致密封性不好。
[0013]本技术的有益效果：本技术提出一种溅射镀膜上料口，气缸33 上的推杆34与齿条32固定连接，通过气缸33推动齿条32向前或者向后运动从而带动齿轮31运转来实现齿轮31轴上的上料门1的打开或者闭合，并且上料门1上设有多个间隔相同的活动压件2，使得上料门1开关更加简便，且闭合的时候压紧度更高。
附图说明
[0014]图1为本技术的溅射镀膜上料口的结构示意图。
[0015]图2为本技术的溅射镀膜上料口的传动装置结构示意图。
[0016]主要元件符号说明
[0017]上料门1活动压件2凸块21条块22传动装置3齿轮31齿条32气缸33推杆34支撑杆4第一限位固定块5第二限位固定块6限位杆7活动轮8
[0018]如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本技术。
具体实施方式
[0019]如图1所示，为本技术的溅射镀膜上料口的结构示意图；如图2所示，为本技术的溅射镀膜上料口的传动装置结构示意图。
[0020]一种溅射镀膜上料口，包括上料门1，活动压件2、传动装置3，其特征在于：所述上料门1的上端和下端均设有传动装置3，所述传动装置3包括齿轮31、齿条32和气缸33，气缸33上设有推杆34，推杆34的一端与气缸 33固定连接，推杆34的另一端与齿条32的一端固定连接，齿条32与推杆 34的中心线在同一直线上；齿条32的一侧为带齿面的，另外相对的一侧为光滑面，齿条32的带齿面与齿轮31啮合，上料门1的上端的传动装置3的齿轮中心和上料门1的下端的传动装置3的齿轮31中心之间通过支撑杆4连接固定，支撑杆4上设有多个间隔相同的活动压件2，活动压件2的一端连接支撑杆4，另一端与上料门1外壁固定连接，通过气缸33推动齿条32向前或者向后运动从而带动齿轮31运转来实现齿轮31轴上的上料门1的打开或者闭合，并且上料门1上设有多个间隔相同的活动压件2，使得上料门1 开关更加简便，且闭合的时候压紧度更高。
[0021]所述上料门1的靠近溅射镀膜机处的内壁设有一圈密封圈，密封圈围绕整个上料门1内壁的边缘，加强了溅射镀膜机内部的密封性。
[0022]所述活动压件2包括凸块21和条块22，凸块21和条块22一体成型，凸块21中心与支撑杆4铰接，条块22的长度与上料门1的宽度相同，并且通过螺母与上料门1外壁固定。
[0023]所述传动装置3的齿轮31的靠近上料门1处的支撑杆4上设有第二限位固定块6，第二限位固定块6上固定有限位杆7，限位杆7的一端与第二限位固定块6固定连接，另外一端靠在齿条32的光滑面，对齿条32起到一个限位作用。
[0024]所述限位杆7靠近齿条32端套接有活动轮8，当齿条32运动的时候，活动轮8做与齿条32运动方向一致的圆周运动，从而减小齿条32与活动轮 8表面的摩擦力。
[0025]所述齿轮31上的齿较为优选的为斜齿，斜齿噪音小且斜齿对于直齿而言在相同的精度下，斜齿的表现比直齿更好。
[0026]所述活动压件2一般为4～6个，根据进料口的长度进行对活动压件2进行增加或者减少。
[0027]所述活动压件2与支撑杆4套接处的下方均套接有一第一限位固定块5，防止活动压件2围绕支撑杆4运动的时候发生位移使得上料门1与上料门1 框错位而导本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种溅射镀膜上料口，包括上料门(1)，活动压件(2)、传动装置(3)，其特征在于：所述上料门(1)的上端和下端均设有传动装置(3)，所述传动装置(3)包括齿轮(31)、齿条(32)和气缸(33)，气缸(33)上设有推杆(34)，推杆(34)的一端与气缸(33)固定连接，推杆(34)的另一端与齿条(32)的一端固定连接，齿条(32)与推杆(34)的中心线在同一直线上；齿条(32)的一侧为带齿面的，另外相对的一侧为光滑面，齿条(32)的带齿面与齿轮(31)啮合，上料门(1)的上端的传动装置(3)的齿轮中心和上料门(1)的下端的传动装置(3)的齿轮(31)中心之间通过支撑杆(4)连接固定，支撑杆(4)上设有多个间隔相同的活动压件(2)，活动压件(2)的一端连接支撑杆(4)，另一端与上料门(1)外壁固定连接。2.如权利要求1所述的溅射镀膜上料口，其特征在于：上料门(1)的靠近溅射镀膜机处的内壁设有一圈密封圈，密封圈围绕整个上料门(1)内壁的边缘。3.如权利要求1所述的溅射镀膜上料口，其特征在于：活动压件(2)...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩阳，
申请(专利权)人：苏州锐世讯光学科技有限公司，
类型：新型
国别省市：