一种阴极组件检漏方法及系统技术方案

本发明专利技术提供一种阴极组件检漏方法及系统，包括如下步骤：启动检漏设备，在检漏仪自启完成、运行稳定的条件下启动检漏仪的检测状态；执行检漏操作，筛选出不合格工件；所述检漏操作依次包括大漏检测工序、小漏检测工序和氦漏检测工序；执行检漏操作时，阴极组件倒扣在下夹具上，上夹具向下移动包裹在阴极组件的连接管、支持体和端子的外部。通过大漏、小漏和氦漏三个阶段的检测手段，依次提高检测条件，对阴极组件逐步深入的检漏，最终筛选出无裂缝或漏孔的合格产品，且能够判断出泄漏的程度，分类筛选出不同泄露程度的阴极组件。与现有技术中仅通过一级检测筛选的方式相比，检测精确度更高，降低真空泵载荷，避免造成氦气浪费。避免造成氦气浪费。避免造成氦气浪费。

【技术实现步骤摘要】
一种阴极组件检漏方法及系统


[0001]本专利技术涉及产生微波设备的磁控管领域，具体而言，涉及一种磁控管阴极组件检漏方法及系统。

技术介绍

[0002]众所周知，连续波磁控管是一种重入式谐振型正交场振荡器，是微波技术中的一种高功率源。磁控管由谐振系统、阴极组件及能量输出装置等部件组成，由通电的钍钨阴极达到一定温度后开始发射电子，发射电子在正交的直流电磁场中产生高速旋转电子云(即高频场)。当电子云的旋转与谐振腔达到同步时，电子云就将能量转交给谐振系统，产生微波，然后微波由能量输出系统输出到所用部件如微波炉的波导中。
[0003]现有技术中公开号为CN101527245B的专利公开了一种磁控管结构，如图1所示，包括阳极组件、阴极组件、磁极和微波发射器，阳极组件和阴极组件构成管芯，阳极组件包括阳极筒，阳极筒两端分别设置有上磁极靴、下磁极靴，内中央设置有阳极板，阳极板上、下端面分别与上、下磁极靴端面形成不对称腔。阴极组件由本体、K侧管、下端帽组件和长引线构成。本体高度为17.5mm，K侧管高度为10.65mm，下端帽组件长度为18.5mm，长引线长度29.8mm。本体顶面还对应长引线和下端帽组件设置有两块导电片，每块导电片的表面一侧分别与长引线和下端帽组件连接，另一侧与导电引线连接，导电引线穿出本体外。
[0004]磁控管组装以后，为了把磁控管变成真空状态切断的部分，在磁控管的上端设置阴极组件，阴极组件包括管状结构的管体和由管体外部向外延伸并向下弯折的固定壁，上述阴极组件固定设置在磁控管的天线封盖上方的陶瓷环上,而陶瓷环的下部与天线封盖固定,管体的顶端在抽真空后密封，因此在安装阴极组件之前，需保证阴极组件中各个零件之间密封良好。而如何高效、精确地对阴极组件进行检漏是磁控管领域目前亟待解决的问题。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本专利技术旨在提出一种阴极组件检漏方法及系统，以解决现有技术中缺少阴极组件高效、精确检漏的方法及设备的问题。
[0006]为达到上述目的，本专利技术的技术方案是这样实现的：
[0007]一种阴极组件检漏方法，包括如下步骤：
[0008]S200、启动检漏设备，在检漏仪自启完成、运行稳定的条件下启动检漏仪的检测状态；
[0009]S300、执行检漏操作，筛选出不合格工件；
[0010]所述检漏操作依次包括大漏检测工序、小漏检测工序和氦漏检测工序；
[0011]执行检漏操作时，阴极组件(1)倒扣在下夹具(22)上，上夹具(21)向下移动包裹在阴极组件(1)的连接管(112)、支持体(13)和端子(12)的外部。
[0012]进一步的，所述S300包括如下步骤：
[0013]S310、执行大漏检测工序，在预设时间内阴极组件内部真空度达到第一预设值P1，
继续执行小漏检测工序；
[0014]S320、执行小漏检测工序时，在预设时间内阴极组件和内部真空度达到第二预设值P2时，继续执行氦漏检测工序；
[0015]S330、执行氦漏检测工序时，若氦气检测仪检测到阴极组件内部有氦气，说明对应的阴极组件有氦漏现象。
[0016]进一步的，所述S310包括：
[0017]S311、将待测的阴极组件倒扣安装在下夹具上，按下启动开关，使得上夹具扣压在下夹具上部；真空泵通过真空管道对阴极组件内部进行抽真空，同时获取阴极组件内部真空度；
[0018]S312、判断阴极组件内部真空度是否达到第一预设值P1，若是，说明阴极组件无大漏现象，继续执行小漏检测工序，进入步骤S320；若否，说明待测的阴极组件有大漏现象，控制装置控制与对应下夹具连通的真空管道关闭，同时在显示装置上显示不合格工件的位置，同时执行步骤S320。若同时检测的所有阴极组件内部真空度均不能达到第一预设值P1，说明本轮检测的阴极组件均有大漏现象，控制装置结束检漏操作，上夹具和下夹具打开，取出所有大漏的阴极组件，避免继续进行无效检测浪费时间。若同时检测的部分阴极组件内部真空度不能达到第一预设值，说明本轮检测的多个阴极组件有部分存在大漏现象，需关闭与对应下夹具连通的真空管道；另一部分无大漏，真空管道保持连通状态，继续执行进一步的检漏工序。
[0019]进一步的，S320包括：
[0020]S321、继续对阴极组件内部抽真空，同时获取阴极组件内部的真空度；
[0021]S322、判断预设时间内阴极组件内部真空度是否达到第二预设值P2，若是，说明阴极组件无小漏现象，继续执行氦漏检测工序，进入步骤S330；若否，说明待测的阴极组件有小漏现象，控制装置控制与对应上夹具连通的氦气管道关闭，同时在显示装置上显示不合格工件的位置，同时执行步骤S330。若同时检测的所有阴极组件内部真空度均不能达到第二预设值P2，说明本轮检测的无大漏现象的阴极组件均有小漏现象，控制装置结束检漏操作，上夹具和下夹具打开，取出所有大漏和小漏的阴极组件，避免继续进行无效检测浪费时间。若同时检测的所有阴极组件中有部分内部真空度不能达到第二预设值，说明本轮检测的多个阴极组件有部分存在小漏现象，需关闭与对应上夹具连通的氦气管道；另一部分无小漏，对应的氦气管道保持连通状态，继续执行进一步的检漏工序。
[0022]进一步的，所述S330包括：
[0023]控制装置控制对无小漏现象的阴极组件对应的上夹具内部进行喷氦气，判断阴极组件内部氦气浓度是否达到预设浓度或阴极组件内部真空度是否超过第二预设值，若是，说明对应的阴极组件有氦漏现象，若否，说明对应的阴极组件无氦漏现象，阴极组件气密性良好，符合标准，结束检漏操作，可以进行下一步操作。
[0024]进一步的，P1＞P2。
[0025]进一步的，在执行氦漏检测工序时，氦气通过氦气管道进入上夹具内部，即氦气包裹在阴极组件的外部，阴极组件内部为真空状态，当阴极组件存在细小裂缝时，会将部分氦气吸进阴极组件内部，进而进入下夹具内，并被氦气检测仪检测到，筛选出不合格工件。
[0026]相对于现有技术，本专利技术所述的阴极组件检漏方法，具有以下优势：
[0027]通过大漏、小漏和氦漏三个阶段的检测手段，依次提高检测条件，对阴极组件逐步深入的检漏，最终筛选出无裂缝或漏孔的合格产品，且能够判断出泄漏的程度，分类筛选出不同泄露程度的阴极组件。对于裂缝或漏孔较大的阴极组件，最先被检测到，筛选出大漏现象的阴极组件，再继续进行小漏和氦漏检测，直到筛选出符合要求的阴极组件。与现有技术中仅通过一级检测筛选的方式相比，检测精确度更高，降低真空泵载荷，避免造成氦气浪费。
[0028]本专利技术还提供了一种阴极组件检漏系统，包括阴极组件和检漏设备，检漏设备用于对阴极组件进行检漏，检漏设备包括控制装置和检漏仪，控制装置与检漏仪连接，所述检漏仪包括上夹具和下夹具，在所述下夹具上安装阴极组件，所述控制装置控制所述上夹具或下夹具升降，实现所述上夹具与下夹具之间的对接或断开。
[0029]进一步的，还包括真空设备和气源，所述真空设备对所述阴极组本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种阴极组件检漏方法，其特征在于，包括如下步骤：S200、启动检漏设备，在检漏仪自启完成、运行稳定的条件下启动检漏仪的检测状态；S300、执行检漏操作，筛选出不合格工件；所述检漏操作依次包括大漏检测工序、小漏检测工序和氦漏检测工序；执行检漏操作时，阴极组件(1)倒扣在下夹具(22)上，上夹具(21)包裹在阴极组件(1)的连接管(112)、支持体(13)和端子(12)的外部。2.根据权利要求1所述的阴极组件检漏方法，其特征在于，所述S300包括如下步骤：S310、执行大漏检测工序，在预设时间内阴极组件内部真空度达到第一预设值P1，继续执行小漏检测工序；S320、执行小漏检测工序时，在预设时间内阴极组件和内部真空度达到第二预设值P2时，继续执行氦漏检测工序；S330、执行氦漏检测工序时，若氦气检测仪检测到阴极组件内部有氦气，说明对应的阴极组件有氦漏现象。3.根据权利要求2所述的阴极组件检漏方法，其特征在于，所述S310包括：S311、将待测的阴极组件倒扣安装在下夹具上，按下启动开关，使得上夹具扣压在下夹具上部；真空泵通过真空管道对阴极组件内部进行抽真空，同时获取阴极组件内部真空度；S312、判断阴极组件内部真空度是否达到第一预设值P1，若是，说明阴极组件无大漏现象，继续执行小漏检测工序，进入步骤S320；若否，说明待测的阴极组件有大漏现象，控制装置控制与对应下夹具连通的真空管道关闭，同时在显示装置上显示不合格工件的位置，同时执行步骤S320。4.根据权利要求2所述的阴极组件检漏方法，其特征在于，所述S320包括：S321、继续对阴极组件内部抽真空，同时获取阴极组件内部的真空度；S322、判断预设时间内阴极组件内部真空度是否达到第二预设值P2，若是，说明阴极组件无小漏现象，继续执行氦漏检测工序，进入步骤S330；若否，说明待测的阴极组件有小漏现象，控制装置控制与对应上夹...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢锦平，邓武楷，
申请(专利权)人：广东格兰仕微波生活电器制造有限公司，
类型：发明
国别省市：