载板升降装置和硅片处理设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种载板升降装置和硅片处理设备，载板升降装置包括：安装座；第一驱动机构，设置于安装座上，第一驱动机构上设置有适于放置载板的基座，第一驱动机构驱动基座相对安装座运动；顶升部，与基座滑动相连接；第二驱动机构，与第一驱动机构相连接，第二驱动机构随同基座同步运动；第二驱动机构上设置有推动部，第二驱动机构驱动推动部推动顶升部相对基座运动。通过将第二驱动机构与第一驱动机构相连接，优化了第一驱动机构和第二驱动机构之间的结构关系，使第二驱动机构可以随同基座的升降同步升降，以实现协同工作。进而实现提升载板升降装置工作效率，降低应用该载板升降装置的生产线的成本预算，提升气密可靠性的技术效果。

【技术实现步骤摘要】
载板升降装置和硅片处理设备
本专利技术涉及光伏设备
，具体而言，涉及一种载板升降装置和一种硅片处理设备。
技术介绍
等离子体增强化学的气象沉积法(PECVD，PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)是太阳能和半导体所广泛应用的薄膜制备方法，尤其是太阳能行业对平板式PECVD尺寸要求越来越大，对单机产能要求也越来越高。平板式PECVD系统通常包括具备真空传输机械手的传输腔、多个相同制成工艺或者不同制成工艺的工艺反应腔、基板装卸载腔、预热处理腔、冷却腔等。如何快速完成各处理腔尤其是工艺反应腔基板的传输并到达工作工位是提升设备利用率提高产能的重要途径和关键环节。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术或相关技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术的第一方面提出一种载板升降装置。本专利技术的第二方面提出一种硅片处理设备。有鉴于此，本专利技术的第一方面提供了一种载板升降装置，载板升降装置包括：安装座；第一驱动机构，设置于安装座上，第一驱动机构上设置有适于放置载板的基座，第一驱动机构驱动基座相对安装座运动；顶升部，与基座滑动相连接；第二驱动机构，与第一驱动机构相连接，第二驱动机构随同基座同步运动；第二驱动机构上设置有推动部，第二驱动机构驱动推动部推动顶升部相对基座运动。在该技术方案中，限定了一种载板升降装置，该载板升降装置用于在加工工件的过程中将装有工件的载板提升或降低至预定工位，以满足工件在加工过程中的位置需求，其中工件优选为硅片。载板升降装置包括安装座、第一驱动机构、顶升部和第二驱动机构。安装座为载板升降装置的主体框架结构，用于定位和支撑载板升降装置上的其他结构。第一驱动机构设置在安装座上，第一驱动机构用于驱动其上设置的基座相对安装座上升或降低，以实现基座的升降。顶升部为设置在基座上的二段推进结构，用于在基座平面的基础上进一步推动载板运动，顶升部与基座滑动相连接。第二驱动机构与第一驱动机构相连接，具体可与基座或第一驱动机构上与基座同步运动的结构相连接，以确保第二驱动机构可以随同基座同步升降，第二驱动机构上设置有推动部，第二驱动机构可驱动推动部推动顶升部以使顶升部相对基座滑动。综合来说，第一驱动机构驱动基座相对安装座运动，第二驱动机构在与基座同步运动的基础上通过驱动推动部推动顶升部使顶升部相对基座运动。通过为基座和顶升部分别设置独立的第一驱动机构和第二驱动机构，可以显著提升基座和顶升部的工作效率，相较于通过设置固定的行程限位机构来推动顶升部运动的方案来说，为顶升部设置独立的第二驱动机构可以解放顶升部的行程限制，使载板升降装置可以满足较为复杂的工况，高效完成基板上工匠的装卸。从整个生产线的角度来说，通过设置第一驱动机构和第二驱动机构，可以使载板在不同的高度装载和卸载硅片，使载板可主动迎合硅片装夹机械臂的高度需求，从而免去为机械臂设置升降机构，进而缩减成本提升硅片装卸效率。通过将第二驱动机构与第一驱动机构相连接，进一步优化了第一驱动机构和第二驱动机构之间的结构关系，使第二驱动机构可以随同基座的升降同步升降，以实现协同工作。相较于基座和推动部分别独立控制的方案来说：一方面同步运动的第二驱动机构可以显著降低基座与推动部之间的干涉可能性，并降低推动部的控制难度，精简控制程序；另一方面，设置与基座同步运动的第二驱动机构可以降低密封波纹管的布置难度，缩减密封波纹管的运动总长，从而提升密封可靠性。进而实现优化载板升降装置结构，提升载板升降装置工作效率，提升产品适用范围，降低应用该载板升降装置的生产线的成本预算，提升气密可靠性的技术效果。具体地，顶升部优选为顶销，基座上设置有通孔，并在通孔上设置与顶销外部轮廓相匹配的定位槽。在推动部未推动顶销时，部分顶销暴露在基座外部，当推动部推动上述暴露在外部的顶销时，顶销相对基座升起，以推动基座上的载板相对基座升起。另外，本专利技术提供的上述载板升降装置还可以具有如下附加技术特征：在上述技术方案中，优选地，第一驱动机构包括：定位板，第二驱动机构与定位板相连接；第一支撑轴，第一支撑轴的两端分别连接定位板和基座；第一驱动部，设置于安装座上，第一驱动部与定位板相连接，第一驱动部驱动定位板相对安装座运动。在该技术方案中，对第一驱动机构的结构做出了具体限定。第一驱动机构包括定位板、第一支撑轴、和第一驱动部。第一驱动部设置在安装座上，定位板与第一驱动部相连接，以通过第一驱动部驱动定位板升降。第一支撑轴连接基座和定位板，在支撑基座以保证基座平稳的同时传递运动趋势，使基座随同定位板相对安装座同步升降，第二驱动机构与定位板相连接。工作过程中，第一驱动部驱动定位板升降，定位板带动第二驱动机构和第一支撑柱升降，第一支撑柱带动基座同步升降。通过设置定位板一方面可以便于第一支撑轴的布置，确保第一支撑轴可以平稳支撑基座，以避免基座倾斜。另一方面可以借助定位板为第二驱动机构流出足够的布置空间，使第二驱动机构随同定位板同步升降并精简结构。进而实现优化第一驱动机构结构，提升基座升降可靠性的技术效果。具体地，第一支撑轴为多个，多个第一支撑轴在定位板上均匀分布，通过设置多个第一支撑轴一方面可以降低每个支撑轴所承受的压力，避免支撑轴弯折，另一方面可以确保基座表面与水平面齐平，从而提升硅片加工的可靠性，提升硅片品质。在上述任一技术方案中，优选地，推动部位于基座和定位板之间，第二驱动机构包括：第二支撑轴，与推动部相连接；第二驱动部，设置于定位板上，第二驱动部与第二支撑轴相连接，第二驱动部驱动推动部相对定位板运动。在该技术方案中，推动部设置在基座和定位板之间，并具体限定了第二驱动机构的结构。第二驱动机构包括第二支撑轴和第二驱动部。第二驱动部设置在定位板上，第二支撑部的动力输出端与第二支撑轴相连接，第二支撑轴的端部与推动部相连接。工作过程中，第二驱动部推动第二支撑轴和推动部相对定位板升降。上升过程中，推动部接触顶升部并推动顶升部相对基座运动。通过将推动部布置在基座和定位板之间，可以降低第二驱动机构的布置难度，精简结构，使第二驱动机构可以在最短的行程内推动顶升部相对基座运动。通过将第二驱动部和第二支撑轴设置在定位板上，可以将第二支撑轴的行程限定在基座和定位板之间，从而缩短第一驱动和第二驱动机构在升降过程中的总行程，进而降低载板升降装置的总高度，缩短所需密封波纹管的总长度，避免密封波纹管在较长距离的伸缩过程中损坏，以实现优化载板升降装置结构，提升结构紧凑度，缩减所占空间的技术效果。在上述任一技术方案中，优选地，定位板上设置有第一通孔，第一驱动部包括：第一丝杠螺母，设置于第一通孔中，第一丝杠螺母与定位板相连接；第一滚珠丝杠，穿设于第一丝杠螺母中，第一滚珠丝杠与安装座转动相连接；第一电机，与第一滚珠丝杠相连接，第一电机驱动第一滚珠丝杠转动。在该技术方案中，对第一驱动部的结构做出了具体限定。第一驱动部包括第一丝杠螺母、第一滚珠丝杠和第一电机。定位板上设置有第一通孔，第一丝杠螺母固定在第一通孔中。第一滚珠丝杠穿设在第一丝杠螺母中，与第一丝杠螺本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种载板升降装置，其特征在于，包括：/n安装座；/n第一驱动机构，设置于所述安装座上，所述第一驱动机构上设置有适于放置载板的基座，所述第一驱动机构驱动所述基座相对所述安装座运动；/n顶升部，与所述基座滑动相连接；/n第二驱动机构，与所述第一驱动机构相连接，所述第二驱动机构随同所述基座同步运动；/n所述第二驱动机构上设置有推动部，所述第二驱动机构驱动所述推动部推动所述顶升部相对所述基座运动。/n

【技术特征摘要】
1.一种载板升降装置，其特征在于，包括：
安装座；
第一驱动机构，设置于所述安装座上，所述第一驱动机构上设置有适于放置载板的基座，所述第一驱动机构驱动所述基座相对所述安装座运动；
顶升部，与所述基座滑动相连接；
第二驱动机构，与所述第一驱动机构相连接，所述第二驱动机构随同所述基座同步运动；
所述第二驱动机构上设置有推动部，所述第二驱动机构驱动所述推动部推动所述顶升部相对所述基座运动。


2.根据权利要求1所述的载板升降装置，其特征在于，所述第一驱动机构包括：
定位板，所述第二驱动机构与所述定位板相连接；
第一支撑轴，所述第一支撑轴的两端分别连接所述定位板和所述基座；
第一驱动部，设置于所述安装座上，所述第一驱动部与所述定位板相连接，所述第一驱动部驱动所述定位板相对所述安装座运动。


3.根据权利要求2所述的载板升降装置，其特征在于，所述推动部位于所述基座和所述定位板之间，所述第二驱动机构包括：
第二支撑轴，与所述推动部相连接；
第二驱动部，设置于所述定位板上，所述第二驱动部与所述第二支撑轴相连接，所述第二驱动部驱动所述推动部相对所述定位板运动。


4.根据权利要求3所述的载板升降装置，其特征在于，所述定位板上设置有第一通孔，所述第一驱动部包括：
第一丝杠螺母，设置于所述第一通孔中，所述第一丝杠螺母与所述定位板相连接；
第一滚珠丝杠，穿设于所述第一丝杠螺母中，所述第一滚珠丝杠与所述安装座转动相连接；
第一电机，与所述第一滚珠丝杠相连接，所述第一电机驱动所述第一滚珠丝杠转动。


5.根据权利要求3所述的载板升降装置，其特征在于，所述定位板上设置有第二通孔，所述第二驱动部包括：
第二滚珠丝杠，穿设于所述第二通孔中，所述第二滚珠丝杠与所述定位板转动相连接，所述第二支撑轴套设于所述第二滚珠丝杠上；
第二丝...

【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，梁建军，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32