一种掩模夹具制造技术

本发明专利技术公开了一种掩模夹具，一种掩模夹具，包括滑槽，滑槽的一端固定安装有握柄，滑槽的另一端位置套接有可移动夹头，握柄和可移动夹头之间安装有使装置能够将不同类型大小的掩模板固定的辅助组件，且辅助组件套接在滑槽的表面，现通过握柄与握把之间的的配合使得掩模板的一端被夹紧，在通过调节可移动夹头安装插销，然后对应卡槽，有利于将不同类型大小的掩模板夹紧，在通过辅助组件的作用下，有利于装置能够适应多种加工环境，也可以将掩模板悬空加工，且使得掩模板的四个端面能够受到力的作用，有利与辅助固定夹头和可移动夹头将掩模板夹紧。

【技术实现步骤摘要】
一种掩模夹具
本专利技术涉及掩模夹具
，具体为一种掩模夹具。
技术介绍
掩模是半导体业、集成电路制作时所需的一种模具，可将掩模上的图形经过曝光制程复制于晶圆上。掩模厂根据客户设计的图形，将图形数据转化后，利用掩模曝光机在感光石英基材上进行曝光，经显影(显影+烘烤)、蚀刻制程使其表面产生透光与不透光的极细微的逻辑图形。在掩模工艺过程中，为了手动取放掩模版后遗留手指印以及颗粒等污染物质，出现了掩模夹具，现有的掩模台上需要夹持不同类型大小和不同形状的工件，因此在现有的夹具上拥有多种的类型的夹具，在多种类型的夹具下，因此也导致了掩模台使用不方便，还因为多种类型的夹具原因，使得在加工成本上的浪费，为了降低成本，为此，我们提出一种掩模夹具。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种掩模夹具，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种掩模夹具，包括滑槽，滑槽的一端固定安装有握柄，滑槽的另一端位置套接有可移动夹头，握柄和可移动夹头之间安装有使装置能够将不同类型大小的掩模板固定的辅助组件，且辅助组本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩模夹具，包括滑槽(1)，其特征在于：所述滑槽(1)的一端固定安装有握柄(2)，所述滑槽(1)的另一端位置套接有可移动夹头(8)，所述握柄(2)和可移动夹头(8)之间安装有使装置能够将不同类型大小的掩模板固定的辅助组件(100)，且辅助组件(100)套接在滑槽(1)的表面。/n

【技术特征摘要】
1.一种掩模夹具，包括滑槽(1)，其特征在于：所述滑槽(1)的一端固定安装有握柄(2)，所述滑槽(1)的另一端位置套接有可移动夹头(8)，所述握柄(2)和可移动夹头(8)之间安装有使装置能够将不同类型大小的掩模板固定的辅助组件(100)，且辅助组件(100)套接在滑槽(1)的表面。


2.根据权利要求1所述的一种掩模夹具，其特征在于：所述握柄(2)的表面位置贯穿有螺杆(9)，所述握柄(2)的底部通过配合螺杆(9)连接有用于手动调节的握把(3)，所述握柄(2)和握把(3)之间安装有用于快速复位的第一弹簧(4)，所述握把(3)的一端在靠近滑槽(1)的底端位置安装有固定夹头(5),且螺杆(9)通过贯穿握柄(2)与握把(3)固定连接。


3.根据权利要求2所述的一种掩模夹具，其特征在于：所述滑槽(1)的表面开设有多个卡槽(7)，所述可移动夹头(8)的表面位置贯穿有插销(6)，所述插销(6)的底端位置外圆套接有限位块(10)，所述限位...

【专利技术属性】
技术研发人员：华卫群，尤春，刘维维，汪志得，顾梦星，杨长华，莫金圻，
申请(专利权)人：无锡中微掩模电子有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32