一种基于滑动弧放电激发微波等离子体的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种基于滑动弧放电激发微波等离子体的装置，包括微波发生器、微波波导管、非金属放电管，还包括高压电源、金属电极和气旋装置，微波发生器发射微波，在微波波导管内产生微波电场；非金属放电管固定在微波波导管内；高压电源连接两根金属电极；两根金属电极对称弯折分布在气旋装置中；气旋装置出风口与非金属放电管的一端相对。所述两根金属电极的端部未伸入到微波波导管内部。所述非金属放电管的一端固定在气旋装置表面，另一端伸出至微波波导管外。本实用新型专利技术基于滑动弧放电激发微波等离子体的装置，激发成功率高、激发稳定、装置简单、使用方便，且能够实现大气压下微波等离子体的激发和维持，能够大规模应用于工业生产中。

【技术实现步骤摘要】
一种基于滑动弧放电激发微波等离子体的装置
本技术属于微波等离子体激发
，特别涉及一种基于滑动弧放电激发微波等离子体的装置。
技术介绍
微波在波导内传播，在电磁功率足够大的情况下，会导致强烈的气体电离从而产生微波等离子体。微波等离子体具有无需电极、瞬时高温、能量密度高等优点，因而在固废处理、气废处理、冶金、金属焊接等方面具有的应用前景。而微波等离子体的激发场强为777kV/m，激发场强要远高于维持场强。在常规应用中，整个腔体是由波导、过渡波导与压缩波导组成，虽然压缩波导能够在一定程度上提高电场强度，但达不到激发场强的要求。所以在微波等离子体激发的过程中，还需要进行辅助激发。目前，辅助激发的方法有三种。一种是金属探针法，即使用金属丝或者金属喷头形式的点火方式。现有的可供参考的文件为公开号为CN104507249A的技术申请文件，其公开了一种矩形波导微波等离子体源发生装置，在矩形波导谐振腔反应区内设置一个铜质探针激发微波等离子体。但由于反应区温度极高，铜质探针使用一次即熔融或烧蚀，其过程伴随着金属污染的问题，且在微波等离子体意外熄灭时无本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于滑动弧放电激发微波等离子体的装置，其特征在于，包括微波发生器、微波波导管、非金属放电管，还包括高压电源、金属电极和气旋装置，其中：/n微波发生器，发射微波，在微波波导管内产生微波电场；/n非金属放电管，固定在微波波导管内；/n高压电源，连接两根金属电极；/n两根金属电极，对称弯折分布在气旋装置中；/n气旋装置，其出风口与非金属放电管的一端相对。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于滑动弧放电激发微波等离子体的装置，其特征在于，包括微波发生器、微波波导管、非金属放电管，还包括高压电源、金属电极和气旋装置，其中：
微波发生器，发射微波，在微波波导管内产生微波电场；
非金属放电管，固定在微波波导管内；
高压电源，连接两根金属电极；
两根金属电极，对称弯折分布在气旋装置中；
气旋装置，其出风口与非金属放电管的一端相对。


2.根据权利要求1所述的基于滑动弧放电激发微波等离子体的装置，其特征在于，所述两根金属电极的端部未伸入到微波波导管内部。


3.根据权利要求2所述的基于滑动弧放电激发微波等离子体的装置，其特征在于，所述非金属放电管的一端固定在气旋装置表面，另一端伸出至微波波导管外，中间部分横穿微波波导管内部。


4.根据权利要求3所述的基于滑动弧放电激发微波等离子体的装置，其特征在于，所述高压电源的参数在10kV-30kV之间，工作频率为从直流到几十kHz的高频交流正弦波。


5.根据权利要求3所述的基于滑动弧放电激发微波等离子体的装置，其特征在于，所述气旋装置包括圆筒型的气旋外壳和气泵，气旋外壳一端封闭，另一端设置出风口，两根金属电极通过高压绝缘介质从封闭端深入气旋外壳内部；气旋外壳上沿圆周分布有若干导气孔，分别与气泵接通。
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【专利技术属性】
技术研发人员：夏道路，张贵新，揭子尧，刘程，
申请(专利权)人：清华苏州环境创新研究院，清华大学，
类型：新型
国别省市：江苏;32