一种可调焦永磁透镜制造技术

本实用新型专利技术涉及一种可调焦永磁透镜，该永磁透镜包括壳体、设置在壳体内的固定磁钢机构、环绕设置在固定磁钢机构外的转动磁钢机构、以及与转动磁钢机构传动连接的驱动机构，转动磁钢机构包括与驱动机构传动连接的主动转动磁钢组以及与主动转动磁钢组传动连接的多个从动转动磁钢组，主动转动磁钢组及多个从动转动磁钢组沿周向环绕设置在固定磁钢机构外。与现有技术相比，本实用新型专利技术实现了永磁透镜的电动调焦，且调焦不改变主磁极的理论位置，磁性方向保持不变，只改变磁性的大小。因而，对于基于此方案的多个多极磁透镜所组成的系统中，每个磁透镜单元可以独立调整磁场参数，而不会影响其它多极磁透镜的工作参数。

【技术实现步骤摘要】
一种可调焦永磁透镜
本技术属于永磁透镜
，涉及一种可调焦永磁透镜。
技术介绍
磁透镜是指能够把匀速带电粒子束会聚，并且把这样的束程中的物体形成像的轴对称磁场。这样的磁场(磁透镜)可以由螺线管、电磁铁或永磁体产生。粒子－光学装置一般设置磁透镜或静电透镜，将带电粒子束聚焦到样品上，这些装置希望能在不同束能量下使用，但是不希望粒子束的焦点位置会相对样品移动。磁透镜使用永磁材料，具有结构紧凑的优点，但传统的永磁透镜不能调焦，只得与静电透镜结合，才保持焦点位置恒定。其缺点是体积大还需要高压，不但有高压击穿的危险，还要使有专用的高压电源。所以，对于在真空场合使用的磁透镜，更需要可调焦永磁四极透镜。螺线管电磁铁式磁四极是由四个螺线管电磁铁极头所组成的，通过电流来调整磁场强度的大小。其缺点是：需要配置大功率的低压大电流精密电源，设备尺寸大且散热困难，功耗高。在《永磁四极透镜在加速器束流输送与聚焦中的应用》一文中提出采用内外2圈磁四极相对旋转调节磁四极的磁场梯度，双层磁四极的内外圈相对转动时，透镜实现了调焦。但内外圈各自产生的磁场在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可调焦永磁透镜，其特征在于，该永磁透镜包括壳体(1)、设置在壳体(1)内的固定磁钢机构(21)、环绕设置在固定磁钢机构(21)外的转动磁钢机构以及与转动磁钢机构传动连接的驱动机构，所述的转动磁钢机构包括与驱动机构传动连接的主动转动磁钢组(2)以及与主动转动磁钢组(2)传动连接的多个从动转动磁钢组(3)，所述的主动转动磁钢组(2)及多个从动转动磁钢组(3)沿周向环绕设置在固定磁钢机构(21)外。/n

【技术特征摘要】
1.一种可调焦永磁透镜，其特征在于，该永磁透镜包括壳体(1)、设置在壳体(1)内的固定磁钢机构(21)、环绕设置在固定磁钢机构(21)外的转动磁钢机构以及与转动磁钢机构传动连接的驱动机构，所述的转动磁钢机构包括与驱动机构传动连接的主动转动磁钢组(2)以及与主动转动磁钢组(2)传动连接的多个从动转动磁钢组(3)，所述的主动转动磁钢组(2)及多个从动转动磁钢组(3)沿周向环绕设置在固定磁钢机构(21)外。


2.根据权利要求1所述的一种可调焦永磁透镜，其特征在于，所述的固定磁钢机构(21)由2n个磁钢围成一周组合而成，在固定磁钢机构(21)的中心区域产生偶数极磁场，其中，n为正整数。


3.根据权利要求1所述的一种可调焦永磁透镜，其特征在于，所述的主动转动磁钢组(2)及从动转动磁钢组(3)均包括管体(4)、设置在管体(4)内的转动磁钢(5)、设置在转动磁钢(5)两端的轴伸(6)、设置在轴伸(6)与管体(4)之间的轴伸轴承(7)以及套设在其中一个轴伸(6)端部的齿轮(8)，所述的从动转动磁钢组(3)的齿轮(8)与主动转动磁钢组(2)或相邻的从动转动磁钢组(3)的齿轮(8)啮合。


4.根据权利要求3所述的一种可调焦永磁透镜，其特征在于，所述的转动磁钢(5)为径向圆柱体磁钢。


5.根据权利要求3所述的一种可调焦永磁透镜，其特征在于，所述的主动...

【专利技术属性】
技术研发人员：张慧欣，张诗渊，汪小青，赵根明，
申请(专利权)人：上海杰灵磁性器材有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31