空间滤波器透镜调整架制造技术

一种空间滤波器透镜调整架，包括一维平移调节机构、角度调节装置、透镜镜框组件和波纹管调节组件，所述的波纹管调节组件由波纹管前法兰和波纹管后法兰分别与波纹管焊接而成，其特点是本实用新型专利技术利用一个调节套筒单独实现光轴方向的调整，设计在空间滤波器的真空系统之外，与角度调节机构分离，实现了平移调节与角度调节的非联动，不影响透镜的调焦。改进了三拉三顶机构，将其中一个槽型块设计成了球关节的结构且安装于法兰上的开孔之中，以改善三拉三顶机构因为长时间的重力影响而出现的微小移动现象。本实用新型专利技术具有结构新颖、外形美观、制造成本低、使用调节方便等优点。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及高功率激光装置，特别是一种空间滤波器透镜调整架。主要用于空间滤波器装置中透镜的一维平移和两维角度转动的调节。
技术介绍
空间滤波器是高功率激光装置中重要的组成部件之一，其中透镜元件的调节对于激光光束的输出质量影响很大。空间滤波器的两个透镜和位于象面的滤波小孔需要严格地共轴和共焦，若空间滤波器失调，两块透镜将会给光束带来象差，因此在空间滤波器中透镜通常需要进行多维调节。通常是一维平移(沿光轴Z)和两维角度调节，对于比较大型的系统，往往还需要三维平移(沿光轴和垂直于光轴的X、Y轴)和两维角度调节。传统的实现一维平移和两维角度转动调节的透镜调整结构是直接利用三拉三顶结构，请参见图1，即在前面一个法兰116上均布(间隔60°)安装三个带球头的丝杆和三个不带球头的丝杆，两种丝杆间隔安装，在后法兰118上对应有球头的孔位开三个孔，分别嵌入一个V型块、一个槽型块和一个平垫块，用于控制球头的转动，无球头的丝杆直接用螺纹连接在后法兰118上，穿过前法兰116上的通孔用球面垫圈和螺母控制其角度位置。前法兰116与后法兰118之间用波纹管117连接。角度调节机构后面利用动密封结构实现一维平移。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种空间滤波器透镜调整架，包括一维平移调节机构、角度调节装置、透镜镜框组件和波纹管调节组件，所述的波纹管调节组件由波纹管前法兰（１１６）和波纹管后法兰（１１８）分别与波纹管（１１７）焊接而成，其特征在于：所述的一维平移调节机构，包括 一Ｚ向调节套（１０１），该Ｚ向调节套（１０１）和Ｚ向调节法兰（１２０）之间用梯形螺纹连接，一螺纹压圈（１０２）将角度调节板（１０４）压装在所述的Ｚ向调节套（１０１）的一端的内部，该角度调节板（１０４）外侧开Ｖ型槽，一球头螺钉（１０３）从所述的Ｚ向调节套（１０１）外深入所述的角度调节板（１０４）外侧的Ｖ型槽中，所述的Ｚ向调节法兰（１２０）与波纹管后法兰...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：高洁，庞向阳，蔡志坚，朱健强，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]